JPS6293365U - - Google Patents
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- JPS6293365U JPS6293365U JP18154285U JP18154285U JPS6293365U JP S6293365 U JPS6293365 U JP S6293365U JP 18154285 U JP18154285 U JP 18154285U JP 18154285 U JP18154285 U JP 18154285U JP S6293365 U JPS6293365 U JP S6293365U
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- JP
- Japan
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- ground electrode
- electrode
- insulating material
- quartz
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- 239000011810 insulating material Substances 0.000 claims 2
- 239000010453 quartz Substances 0.000 claims 1
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Landscapes
- Physical Deposition Of Substances That Are Components Of Semiconductor Devices (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
第１図、第２図は本考案の一実施例のスパツタ
リング装置の構造を示す断面図である。 １…真空容器、２…絶縁物、３…ターゲツト、
４…ターゲツト電極、５…高周波電源、６…基板
、７…基板電極、９…絶縁カバー、１０…絶縁物
。
リング装置の構造を示す断面図である。 １…真空容器、２…絶縁物、３…ターゲツト、
４…ターゲツト電極、５…高周波電源、６…基板
、７…基板電極、９…絶縁カバー、１０…絶縁物
。
Claims (1)
- ターゲツト電極およびターゲツトの近傍に接地
電極を有し、該ターゲツト電極およびターゲツト
と接地電極との間隔が放電が生じない距離である
か、または該間隙に石英等の絶縁物を設置する高
周波を用いたスパツタリング装置において接地電
極表面の周囲の少なくとも一部に放電が生じない
程度に近接して絶縁物を覆つたことを特徴とする
スパツタリング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18154285U JPS6293365U (ja) | 1985-11-27 | 1985-11-27 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18154285U JPS6293365U (ja) | 1985-11-27 | 1985-11-27 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6293365U true JPS6293365U (ja) | 1987-06-15 |
Family
ID=31126506
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18154285U Pending JPS6293365U (ja) | 1985-11-27 | 1985-11-27 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6293365U (ja) |
-
1985
- 1985-11-27 JP JP18154285U patent/JPS6293365U/ja active Pending
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