JPH0281038U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0281038U JPH0281038U JP15950388U JP15950388U JPH0281038U JP H0281038 U JPH0281038 U JP H0281038U JP 15950388 U JP15950388 U JP 15950388U JP 15950388 U JP15950388 U JP 15950388U JP H0281038 U JPH0281038 U JP H0281038U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- processing apparatus
- heating element
- transparent
- cover body
- base material
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Drying Of Semiconductors (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例のプラズマ処理装置
の装置構成図、第２図は第１図のカバーの断面図
、第３図は第１図のカバーの上部からの外観図、
第４図は第３図におけるＡよりのカバーの外観図
、第５図は第３図におけるＢよりのカバーの外観
図である。 １……処理室、２，３……電極、４……高周波
電源、５……ウエハ、６……カバー、７……電流
導入端子、８……母材、９……透明導電体、１０
……電極、１１……透明絶縁体、１２……窓、１
３……モノクロメータ。
の装置構成図、第２図は第１図のカバーの断面図
、第３図は第１図のカバーの上部からの外観図、
第４図は第３図におけるＡよりのカバーの外観図
、第５図は第３図におけるＢよりのカバーの外観
図である。 １……処理室、２，３……電極、４……高周波
電源、５……ウエハ、６……カバー、７……電流
導入端子、８……母材、９……透明導電体、１０
……電極、１１……透明絶縁体、１２……窓、１
３……モノクロメータ。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 １ 真空下でプラズマを利用して試料を処理する
プラズマ処理装置において、真空室内の内壁面を
プラズマ雰囲気から隔離するカバー体を設け、該
カバー体はその母材が透明材料から成り、その母
材の表面に透明導電膜から成る発熱体を設けたこ
とを特徴とするプラズマ処理装置。 ２ 前記カバー体は、透明材料からなる母材に透
明導電膜から成る発熱体を設け、該発熱体に透明
絶縁膜を設けた第１請求項に記載のプラズマ処理
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15950388U JPH0281038U (ja) | 1988-12-09 | 1988-12-09 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15950388U JPH0281038U (ja) | 1988-12-09 | 1988-12-09 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0281038U true JPH0281038U (ja) | 1990-06-22 |
Family
ID=31440774
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15950388U Pending JPH0281038U (ja) | 1988-12-09 | 1988-12-09 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0281038U (ja) |
-
1988
- 1988-12-09 JP JP15950388U patent/JPH0281038U/ja active Pending
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