JPS6295246A - サ−マルヘツド - Google Patents
サ−マルヘツドInfo
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- JPS6295246A JPS6295246A JP60236841A JP23684185A JPS6295246A JP S6295246 A JPS6295246 A JP S6295246A JP 60236841 A JP60236841 A JP 60236841A JP 23684185 A JP23684185 A JP 23684185A JP S6295246 A JPS6295246 A JP S6295246A
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- Japan
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- layer
- protective layer
- thermal head
- supply conductor
- heat generating
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
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Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/315—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by selective application of heat to a heat sensitive printing or impression-transfer material
- B41J2/32—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by selective application of heat to a heat sensitive printing or impression-transfer material using thermal heads
- B41J2/335—Structure of thermal heads
Landscapes
- Electronic Switches (AREA)
- Non-Adjustable Resistors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
「技術分野」
本発明は、例えばサーマルプリンタに用いられるサーマ
ルヘッドに関し、特にその保護層の改良に関する。
ルヘッドに関し、特にその保護層の改良に関する。
「従来技術およびその問題点」
従来より、サーマルヘッドは、部分グレーズ層が形成さ
れたガラス基板上に、ＴａＯｘなどからなるアンダーコ
ート層と、Ｔａ２Ｎなどからなる発熱抵抗体層と、Ａ１
． Ｎｉなどからなる給電用導体層と、保護層とが順次
積層されて構成されていた。ここで保護層は、給電用導
体層や発熱抵抗体層を酸化による劣化から防止し、かつ
、記録紙との摩擦に対する耐久性を付与する役割をなし
ており、例えば５ｉＱ２などからなる酸化防止層と、Ｔ
ａ２０５などからなる＃摩耗層との２層で構成されたも
のが一般的であった。
れたガラス基板上に、ＴａＯｘなどからなるアンダーコ
ート層と、Ｔａ２Ｎなどからなる発熱抵抗体層と、Ａ１
． Ｎｉなどからなる給電用導体層と、保護層とが順次
積層されて構成されていた。ここで保護層は、給電用導
体層や発熱抵抗体層を酸化による劣化から防止し、かつ
、記録紙との摩擦に対する耐久性を付与する役割をなし
ており、例えば５ｉＱ２などからなる酸化防止層と、Ｔ
ａ２０５などからなる＃摩耗層との２層で構成されたも
のが一般的であった。
一方、サーマルヘッドにおいては１表面のラフな用紙に
も記録できること、高速記録を可能とすること、電池駆
動をも可能とすることなどが求められており、これらを
実現するためには、サーマルヘッドの熱効率を高めるこ
とが要求される。
も記録できること、高速記録を可能とすること、電池駆
動をも可能とすることなどが求められており、これらを
実現するためには、サーマルヘッドの熱効率を高めるこ
とが要求される。
しかしながら、上記従来のサーマルヘッドにおいては、
保護層が酸化防］ｌ：層と耐摩耗層との２層で構成され
ているので、熱伝導性が悪く、熱効率を向−ヒさせるネ
ックとなっていた。また、工程数が多いので、コスト高
となる欠点もあった。
保護層が酸化防］ｌ：層と耐摩耗層との２層で構成され
ているので、熱伝導性が悪く、熱効率を向−ヒさせるネ
ックとなっていた。また、工程数が多いので、コスト高
となる欠点もあった。
「１発明の目的」
本発明の目的は、単一の層で必要とされる耐酸化性、耐
摩耗性を満足し、かつ、熱効率を向上させるようにした
保護層を有するサーマルヘッドを提供することにある。
摩耗性を満足し、かつ、熱効率を向上させるようにした
保護層を有するサーマルヘッドを提供することにある。
「発明の構成」
本発明のサーマルヘッドは、絶縁性基板上に、少なくと
も発熱抵抗体層と、給電用導体層と、保護層とを備え、
前記保護層が、 Ｓｉ、 Ｍｏ、 Ｎの３成分を含み、
比抵抗が１００Ω−ＣＩｌｌ以下である薄膜からなるこ
とを特徴とする。
も発熱抵抗体層と、給電用導体層と、保護層とを備え、
前記保護層が、 Ｓｉ、 Ｍｏ、 Ｎの３成分を含み、
比抵抗が１００Ω−ＣＩｌｌ以下である薄膜からなるこ
とを特徴とする。
本発明のサーマルヘッドは、上記のような保護層を用い
ることにより、同じ膜厚の保護層を有する従来のサーマ
ルヘッドに比べて、より少ない印加電圧で同じ表面温度
を達成することができる。
ることにより、同じ膜厚の保護層を有する従来のサーマ
ルヘッドに比べて、より少ない印加電圧で同じ表面温度
を達成することができる。
また、本発明のサーマルヘッドで用いられる保護層は、
耐酸化性があり、耐摩耗性にも優れているので、単一の
層で構成することができ、製造工程を少なくしてコスト
低減を図ることができる。
耐酸化性があり、耐摩耗性にも優れているので、単一の
層で構成することができ、製造工程を少なくしてコスト
低減を図ることができる。
なお、保護層の組成は、特に限定されないが、ＳｉとＭ
ｏの原子比率が３〜２：１で、残部がＮで構成されるこ
とが好ましく、さらに具体的には、Ｓｌ：３０〜４０ａ
ｔ％、Ｍｏ二ｌｏ〜２０ａｔ％、Ｎ：４５〜５５ａｔ％
とすることが好ましい。
ｏの原子比率が３〜２：１で、残部がＮで構成されるこ
とが好ましく、さらに具体的には、Ｓｌ：３０〜４０ａ
ｔ％、Ｍｏ二ｌｏ〜２０ａｔ％、Ｎ：４５〜５５ａｔ％
とすることが好ましい。
本発明のサーマルヘッドは、例えば次のようにして製造
することができる。すなわち、部分グレーズ層が形成さ
れたガラス基板上に、アンダーコート層と、発熱抵抗体
層と、給電用導体層とを順次積層して形成し、給電用導
体層をエツチングしてパターン化する。そして、これら
の層上に、例えば５ｉＪ４ターゲツト上にＭｏチップを
置いた複合ターゲットを用い、ＡｒとＮ２の混合ガス雰
囲気中でスパッタリングすることにより、５ｉ−Ｎｏ−
Ｈの３° 成分からなる保護層を形成し、サーマルヘッ
ドを得ることができる。
することができる。すなわち、部分グレーズ層が形成さ
れたガラス基板上に、アンダーコート層と、発熱抵抗体
層と、給電用導体層とを順次積層して形成し、給電用導
体層をエツチングしてパターン化する。そして、これら
の層上に、例えば５ｉＪ４ターゲツト上にＭｏチップを
置いた複合ターゲットを用い、ＡｒとＮ２の混合ガス雰
囲気中でスパッタリングすることにより、５ｉ−Ｎｏ−
Ｈの３° 成分からなる保護層を形成し、サーマルヘッ
ドを得ることができる。
「発明の実施例」
第１図には、本発明によるサーマルヘッドの実施例が示
されている。
されている。
すなわち、アルミナ基板１上に、ＴａＯｘからなるアン
ダーコート層２と、Ｔａ２Ｎからなる発熱抵抗体層３と
、ＡＩからなる給電用導体層４とをスパッタリングによ
り順次積層する。そして、給電用導体層４は、エツチン
グによりパターン化し、それによって発熱ドツト部Ａを
形成する。その後、Ａ「が５ Ｘ １Ｏ−３Ｔｏｒｒ、
Ｎ２がＩ Ｘｌ０−３Ｔｏｒｒの混合ガス雰囲気中で、
直径５インチの５ｉ３Ｎａターゲツト上にＭ。
ダーコート層２と、Ｔａ２Ｎからなる発熱抵抗体層３と
、ＡＩからなる給電用導体層４とをスパッタリングによ
り順次積層する。そして、給電用導体層４は、エツチン
グによりパターン化し、それによって発熱ドツト部Ａを
形成する。その後、Ａ「が５ Ｘ １Ｏ−３Ｔｏｒｒ、
Ｎ２がＩ Ｘｌ０−３Ｔｏｒｒの混合ガス雰囲気中で、
直径５インチの５ｉ３Ｎａターゲツト上にＭ。
チップを５個置いた複合ターゲットを用いて、スパッタ
リングを行ない、５ｉ−Ｎｏ−Ｎの３成分からなる厚さ
２ ｇｍの保護層５を形成する。こうして得られたサー
マルヘッドに電力を印加し、印加した電力と発熱部のピ
ーク温度キの関係を測定した結果を第２図中ａ線に示す
。
リングを行ない、５ｉ−Ｎｏ−Ｎの３成分からなる厚さ
２ ｇｍの保護層５を形成する。こうして得られたサー
マルヘッドに電力を印加し、印加した電力と発熱部のピ
ーク温度キの関係を測定した結果を第２図中ａ線に示す
。
一方、比較のため、第１図において、保護層として２
ｇｍ厚の５ｉＱ２膜を形成したサーマルヘッドと、保護
層として２ ｇｍ厚のＳｉ３Ｎ４膜を形成したサーマル
ヘッドをそれぞれ作製し、上記と同様にして印加した電
力と発熱部のピーク温度との関係を測定した。その結果
を第２図中す線（ＳｉＯ２膜）およびＣ線（Ｓｉ３Ｎ４
膜）に示す。
ｇｍ厚の５ｉＱ２膜を形成したサーマルヘッドと、保護
層として２ ｇｍ厚のＳｉ３Ｎ４膜を形成したサーマル
ヘッドをそれぞれ作製し、上記と同様にして印加した電
力と発熱部のピーク温度との関係を測定した。その結果
を第２図中す線（ＳｉＯ２膜）およびＣ線（Ｓｉ３Ｎ４
膜）に示す。
第２図から明らかなように、保護層としてＳｉ−Ｍｏ−
Ｎを用いた本発明のサーマルヘッドは、同じ表面温度を
得るために必要な印加電力が０．２〜０．３ ｗ／ｄａ
ｔ程度少な程度中むことが分る。
Ｎを用いた本発明のサーマルヘッドは、同じ表面温度を
得るために必要な印加電力が０．２〜０．３ ｗ／ｄａ
ｔ程度少な程度中むことが分る。
次に、第１図において、保護層５として７ ｐ−ｍ厚の
５ｉ−Ｎｏ−Ｎ膜を形成したサーマルヘッドを作製した
。また、比較のため、保護層として２ ｇｍ厚の５ｉＱ
２膜と５ ｐ−ｒｎ厚のＴａＯｘ膜とを積層したサーマ
ルヘッドを作製した。これらのサーマルヘッドを用いて
ＳＳＴ試験および印字試験を行なった結果、両者はいず
れも同等な性能を示した。
５ｉ−Ｎｏ−Ｎ膜を形成したサーマルヘッドを作製した
。また、比較のため、保護層として２ ｇｍ厚の５ｉＱ
２膜と５ ｐ−ｒｎ厚のＴａＯｘ膜とを積層したサーマ
ルヘッドを作製した。これらのサーマルヘッドを用いて
ＳＳＴ試験および印字試験を行なった結果、両者はいず
れも同等な性能を示した。
なお、第１図に示すサーマルヘッドでは、便宜上ガラス
グレーズ層を省略したが、発熱部Ａに対応するアルミナ
基板１上にガラスグレーズ層を部分的に設けてよいこと
は勿論である。
グレーズ層を省略したが、発熱部Ａに対応するアルミナ
基板１上にガラスグレーズ層を部分的に設けてよいこと
は勿論である。
「発明の効果」
以−ヒ説明したように、本発明によれば、Ｓｉ−Ｍｏ−
Ｎの３成分からなる保護層を用いたので、保護層が＃酸
化性および耐摩耗性に優れており、単一の層で構成でき
、製造工程が簡略化される。また、２層構造の保護層を
有する従来のサーマルへラドに比べて熱効率を向上させ
ることができる。
Ｎの３成分からなる保護層を用いたので、保護層が＃酸
化性および耐摩耗性に優れており、単一の層で構成でき
、製造工程が簡略化される。また、２層構造の保護層を
有する従来のサーマルへラドに比べて熱効率を向上させ
ることができる。
第１図は本発明のサーマルヘッドの実施例を示す断面図
、第２図はサーマルヘッドの発熱部に印加した電力と発
熱部のピーク温度との関係を示す図表である。 図中、■はアルミナ基板、２はアンダーコート層、３は
発熱抵抗体層、４は給電用導体層、５は保護層である。
、第２図はサーマルヘッドの発熱部に印加した電力と発
熱部のピーク温度との関係を示す図表である。 図中、■はアルミナ基板、２はアンダーコート層、３は
発熱抵抗体層、４は給電用導体層、５は保護層である。
Claims (2)
- （１）絶縁性基板上に、少なくとも発熱抵抗体層と、給
電用導体層と、保護層とを備えたサーマルヘッドにおい
て、前記保護層が、Ｓｉ、Ｍｏ、Ｎの３成分を含み、比
抵抗が１００Ω−ｃｍ以下である薄膜からなることを特
徴とするサーマルヘッド。 - （２）特許請求の範囲第１項において、前記保護層は、
ＳｉとＭｏの原子比率が３〜２：１で、残部がＮで構成
されたものであるサーマルヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60236841A JPS6295246A (ja) | 1985-10-23 | 1985-10-23 | サ−マルヘツド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60236841A JPS6295246A (ja) | 1985-10-23 | 1985-10-23 | サ−マルヘツド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6295246A true JPS6295246A (ja) | 1987-05-01 |
Family
ID=17006582
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60236841A Pending JPS6295246A (ja) | 1985-10-23 | 1985-10-23 | サ−マルヘツド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6295246A (ja) |
-
1985
- 1985-10-23 JP JP60236841A patent/JPS6295246A/ja active Pending
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