JPS61139455A - サ−マルヘツド - Google Patents
サ−マルヘツドInfo
- Publication number
- JPS61139455A JPS61139455A JP59261284A JP26128484A JPS61139455A JP S61139455 A JPS61139455 A JP S61139455A JP 59261284 A JP59261284 A JP 59261284A JP 26128484 A JP26128484 A JP 26128484A JP S61139455 A JPS61139455 A JP S61139455A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- insulating
- thermal head
- insulating matter
- silicon
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/315—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by selective application of heat to a heat sensitive printing or impression-transfer material
- B41J2/32—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by selective application of heat to a heat sensitive printing or impression-transfer material using thermal heads
- B41J2/335—Structure of thermal heads
Landscapes
- Electronic Switches (AREA)
- Non-Adjustable Resistors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はサーマルヘッドの構造に関し、特に発熱抵抗体
の耐電力性と耐摩耗性とを高める抵抗体保護膜全具備さ
せ几サーマルヘッドを提供することにある。
の耐電力性と耐摩耗性とを高める抵抗体保護膜全具備さ
せ几サーマルヘッドを提供することにある。
従来、この種のサーマルヘッドは、例えば実用新案公開
公報５９−７５０５２にある如く、保護膜として二酸化
硅素と五酸化タンタルとの混合物あるいは二酸化硅素上
に五酸化タンタルを付着させ九二層膜を用いるものであ
っ次、即ち、第２図において基板２１上に付層され九抵
抗膜２２と導体膜 −２３とを所望の形状に形成し、
その上を前記保護膜２４に二って所望の形状に被覆する
ものであった。
公報５９−７５０５２にある如く、保護膜として二酸化
硅素と五酸化タンタルとの混合物あるいは二酸化硅素上
に五酸化タンタルを付着させ九二層膜を用いるものであ
っ次、即ち、第２図において基板２１上に付層され九抵
抗膜２２と導体膜 −２３とを所望の形状に形成し、
その上を前記保護膜２４に二って所望の形状に被覆する
ものであった。
しかし上述し之混合物を保護膜とするサーマルヘッドは
、印字記録をする際の記録紙の走行によって摩耗する保
護膜の摩耗速度が高く、発熱抵抗体の耐電力性は高くは
なっているが、結果的に製造されるサーマルヘッドは寿
命が短いという欠点がある。まｔ二酸化シリコン上に五
酸化タンタルを数ミクロンの厚みに付着させる従来のサ
ーマルヘッドにおいては、高電力を発熱抵抗体に印加す
ると五酸化タンタルの結晶化が生じ、製造されるサーマ
ルヘッドは発熱抵抗体の耐電力性が低くなる欠点がある
。
、印字記録をする際の記録紙の走行によって摩耗する保
護膜の摩耗速度が高く、発熱抵抗体の耐電力性は高くは
なっているが、結果的に製造されるサーマルヘッドは寿
命が短いという欠点がある。まｔ二酸化シリコン上に五
酸化タンタルを数ミクロンの厚みに付着させる従来のサ
ーマルヘッドにおいては、高電力を発熱抵抗体に印加す
ると五酸化タンタルの結晶化が生じ、製造されるサーマ
ルヘッドは発熱抵抗体の耐電力性が低くなる欠点がある
。
本発明のサーマルヘッドは、前記した保護膜の欠点金除
去せしめて耐摩耗性と耐電力性とに優れ友保護膜を簡便
に提供するものであり、例えば保護膜を第１の絶縁物質
と第２の絶縁物質とを交互に堆積させた絶縁層に工って
形成するものである。
去せしめて耐摩耗性と耐電力性とに優れ友保護膜を簡便
に提供するものであり、例えば保護膜を第１の絶縁物質
と第２の絶縁物質とを交互に堆積させた絶縁層に工って
形成するものである。
次に、本発明について図面を参照して説明する。
第１図に本発明の一実施例のサーマルヘッドの要部を示
す模式的断面図である。１１は基板であり、この上には
抵抗膜１２と導体膜１３とが順次付着されて各々所望の
形状に形成され発熱抵抗体を構成する。該７発熱抵抗体
上には第１の絶縁物質として厚み１００ＯＡの二酸化シ
リコン１４が付着され、次に厚み４０００Ａの五酸化タ
ンタル１５が第２の絶縁物質として付着され、該第１と
第２の絶縁物質とが交互に堆積されて厚み５ミクロンの
保護膜を構成する。
す模式的断面図である。１１は基板であり、この上には
抵抗膜１２と導体膜１３とが順次付着されて各々所望の
形状に形成され発熱抵抗体を構成する。該７発熱抵抗体
上には第１の絶縁物質として厚み１００ＯＡの二酸化シ
リコン１４が付着され、次に厚み４０００Ａの五酸化タ
ンタル１５が第２の絶縁物質として付着され、該第１と
第２の絶縁物質とが交互に堆積されて厚み５ミクロンの
保護膜を構成する。
このＬうに本発明においては、発熱抵抗体の保護膜とし
て第１の絶縁物質と第２の絶縁物質とを交互に堆積させ
て耐摩耗性と発熱抵抗体の耐電性とに優れたサーマルヘ
ッドを提供するものである。
て第１の絶縁物質と第２の絶縁物質とを交互に堆積させ
て耐摩耗性と発熱抵抗体の耐電性とに優れたサーマルヘ
ッドを提供するものである。
本発明はま友、保護膜構成の変形とじて、発熱抵抗体と
直接接触するａ！１の絶縁物質の第１の層のみを特別に
厚く（例えば５０００〜１ａｏ００Ａ）付層させて発明
全実施することもでき、他の変形として、第３の絶縁層
上発熱抵抗体上に付着させた後に８１！１の実施例で述
べた多層堆積の絶縁膜を保護膜として用いることもでき
る。ま几３種類以上の絶縁物質を交互に堆積させた絶縁
膜を保護膜として応用することもできる。更にはま九、
単一あるいは複数種類の絶縁物質を窒素や酸素等を含む
雰囲気中で活性スパッタリングあるいは活性蒸着等をし
て本発明を実施することもできる。
直接接触するａ！１の絶縁物質の第１の層のみを特別に
厚く（例えば５０００〜１ａｏ００Ａ）付層させて発明
全実施することもでき、他の変形として、第３の絶縁層
上発熱抵抗体上に付着させた後に８１！１の実施例で述
べた多層堆積の絶縁膜を保護膜として用いることもでき
る。ま几３種類以上の絶縁物質を交互に堆積させた絶縁
膜を保護膜として応用することもできる。更にはま九、
単一あるいは複数種類の絶縁物質を窒素や酸素等を含む
雰囲気中で活性スパッタリングあるいは活性蒸着等をし
て本発明を実施することもできる。
以上説明した工うに本発明のサーマルヘッドにおいては
、保護膜として少なくとも第１の絶縁物質と第２の絶縁
物質とが交互に薄い膜厚で堆積されているために、これ
らの絶縁物質の結晶化温度は高くなっている。従って本
構成の保護膜を用いるサーマルヘッドは、発熱抵抗体に
高電力を印加しても保護膜が結晶化することなく、ある
いは結晶化温度が従来の保護膜に較べて５０〜２００
’０高くなっているために、抵抗体の耐電力性が高くな
っている。しかも第１と第２の絶縁物質は各々混合物で
はないために、これらの絶縁物質の機能に各々に分化で
きるものである。即ち例えば第１の絶縁物質は抵抗体の
酸化防止膜として機能させ、第２の絶縁物質は耐摩耗膜
として機能させることができる。第１の実施例で述べ比
丘酸化タンタル膜の摩耗速度は二酸化シリコン膜の１／
１０程度以下であり、また混合物絶縁膜の摩耗速度の１
／３程度以下である。従って本発明の保護膜は耐摩耗性
にも優れて二本り、製造されるサーマルヘッドは寿命が
長いものである。
、保護膜として少なくとも第１の絶縁物質と第２の絶縁
物質とが交互に薄い膜厚で堆積されているために、これ
らの絶縁物質の結晶化温度は高くなっている。従って本
構成の保護膜を用いるサーマルヘッドは、発熱抵抗体に
高電力を印加しても保護膜が結晶化することなく、ある
いは結晶化温度が従来の保護膜に較べて５０〜２００
’０高くなっているために、抵抗体の耐電力性が高くな
っている。しかも第１と第２の絶縁物質は各々混合物で
はないために、これらの絶縁物質の機能に各々に分化で
きるものである。即ち例えば第１の絶縁物質は抵抗体の
酸化防止膜として機能させ、第２の絶縁物質は耐摩耗膜
として機能させることができる。第１の実施例で述べ比
丘酸化タンタル膜の摩耗速度は二酸化シリコン膜の１／
１０程度以下であり、また混合物絶縁膜の摩耗速度の１
／３程度以下である。従って本発明の保護膜は耐摩耗性
にも優れて二本り、製造されるサーマルヘッドは寿命が
長いものである。
本発明が上記した効果金星す、る以上、サーマルヘッド
は基板や発熱抵抗体あるいは導電体等の形状や材料、構
成方法、駆動用ＩＣの搭載・接続方法等も何ら限定を受
けるものではない。実験によれば第１の絶縁物質に二酸
化硅素、アルミナ、五酸化タンタルの中の一つであり、
第２の絶縁物質は五酸化タンタル、窒化硅素、炭化硅累
、硼化硅累、アルミナの中の一つであることが望ましい
が、これらの＠１の絶縁物質と第２の絶縁物の材質や堆
積させるべき個々の膜厚あるいは全保護膜の膜厚、更に
は第１とｗｃ２の絶縁物質の堆積回数等は何ら制限を受
けるべきものでにないことは当然である。
は基板や発熱抵抗体あるいは導電体等の形状や材料、構
成方法、駆動用ＩＣの搭載・接続方法等も何ら限定を受
けるものではない。実験によれば第１の絶縁物質に二酸
化硅素、アルミナ、五酸化タンタルの中の一つであり、
第２の絶縁物質は五酸化タンタル、窒化硅素、炭化硅累
、硼化硅累、アルミナの中の一つであることが望ましい
が、これらの＠１の絶縁物質と第２の絶縁物の材質や堆
積させるべき個々の膜厚あるいは全保護膜の膜厚、更に
は第１とｗｃ２の絶縁物質の堆積回数等は何ら制限を受
けるべきものでにないことは当然である。
第１図は本発明の一実施例のサーマルヘッド要部を示す
模式的断面図であり、第２図は従来のサーマルヘッドを
示す模式的断面図である。 １１・・・・・・基板、１２・・・・・・抵抗膜、１３
・・・・・・導体膜、１４・・・・・・第１の絶縁膜（
二酸化シリコン）、１５・・・・・・第２の絶縁膜（五
酸化タンタル）。 Ａｈｘｍ−Ａ ｍ−＋ 、、、、 〜 −
４ン、。
模式的断面図であり、第２図は従来のサーマルヘッドを
示す模式的断面図である。 １１・・・・・・基板、１２・・・・・・抵抗膜、１３
・・・・・・導体膜、１４・・・・・・第１の絶縁膜（
二酸化シリコン）、１５・・・・・・第２の絶縁膜（五
酸化タンタル）。 Ａｈｘｍ−Ａ ｍ−＋ 、、、、 〜 −
４ン、。
Claims (2)
- （１）互に異なる複数種類の絶縁物質が交互に堆積され
てなる絶縁層が抵抗体上に付着されていることを特徴と
するサーマルヘッド。 - （２）特許請求の範囲第１項記載のサーマルヘッドにお
いて、第１の絶縁物質は二酸化硅素、アルミナ、五酸化
タンタルから選ばれた一つであり、第２の絶縁物質は五
酸化タンタル、窒化硅素、炭化硅素、硼化硅素、アルミ
ナから選ばれた一つであることを特徴とするサーマルヘ
ッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59261284A JPS61139455A (ja) | 1984-12-11 | 1984-12-11 | サ−マルヘツド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59261284A JPS61139455A (ja) | 1984-12-11 | 1984-12-11 | サ−マルヘツド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61139455A true JPS61139455A (ja) | 1986-06-26 |
Family
ID=17359672
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59261284A Pending JPS61139455A (ja) | 1984-12-11 | 1984-12-11 | サ−マルヘツド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61139455A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02536A (ja) * | 1988-01-14 | 1990-01-05 | Tokyo Electric Co Ltd | サーマルヘッド |
-
1984
- 1984-12-11 JP JP59261284A patent/JPS61139455A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02536A (ja) * | 1988-01-14 | 1990-01-05 | Tokyo Electric Co Ltd | サーマルヘッド |
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