JPS6295405A - 位置認識装置 - Google Patents
位置認識装置Info
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- JPS6295405A JPS6295405A JP23811585A JP23811585A JPS6295405A JP S6295405 A JPS6295405 A JP S6295405A JP 23811585 A JP23811585 A JP 23811585A JP 23811585 A JP23811585 A JP 23811585A JP S6295405 A JPS6295405 A JP S6295405A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
この発明は、IC,LSI等の半導体素子の組立工程等
において使用する。対象物の中心位置を認識する位置認
識装置に関する。
において使用する。対象物の中心位置を認識する位置認
識装置に関する。
[従来の技術]
第1図は従来並びにこの発明における位置認識装置の基
本構成を示す概略構成図で、図において(1)は、例え
ばIC,LSI等の半導体素子である対象物、(2)は
対象物(1)を撮像し画像信号を取り出すカメラ、(3
)はカメラ(2)からの画像信号(4)を白黒の2値画
像信号(5)に二値化するAD変換回路、(6)は2値
画像信号(5)による対象物(1)のパターンの中心位
置を示すデータ信号(7)を出力する認識回路で、長方
形領域設定手段(以下手段Aという)(6a)、縦基準
パターン作成手段(以下手段Bという)(6b)、横基
準パターン作成手段(以下手段Cという) (6c)、
横方向パターン−数算出手段(以下手段りという)(6
d)、縦方向パターン一致度算出手段(以下手段Eとい
う)(6e)、横力向2エツジ検出手段(以下手段Fと
いう)(6f)、横力向2エツジ検出手段(以下手段G
という) (6g)及びパターン中心位置算出手段(以
下手段Hという)(6h)を有しており、これらは認識
回路(6)に内蔵するマイクロコンピュータ等により実
行される。
本構成を示す概略構成図で、図において(1)は、例え
ばIC,LSI等の半導体素子である対象物、(2)は
対象物(1)を撮像し画像信号を取り出すカメラ、(3
)はカメラ(2)からの画像信号(4)を白黒の2値画
像信号(5)に二値化するAD変換回路、(6)は2値
画像信号(5)による対象物(1)のパターンの中心位
置を示すデータ信号(7)を出力する認識回路で、長方
形領域設定手段(以下手段Aという)(6a)、縦基準
パターン作成手段(以下手段Bという)(6b)、横基
準パターン作成手段(以下手段Cという) (6c)、
横方向パターン−数算出手段(以下手段りという)(6
d)、縦方向パターン一致度算出手段(以下手段Eとい
う)(6e)、横力向2エツジ検出手段(以下手段Fと
いう)(6f)、横力向2エツジ検出手段(以下手段G
という) (6g)及びパターン中心位置算出手段(以
下手段Hという)(6h)を有しており、これらは認識
回路(6)に内蔵するマイクロコンピュータ等により実
行される。
第2図は従来及びこの発明における位置認識装置の基本
動作を示すフローチャート、第6図はその基本動作にお
ける従来装置の認識回路(6)の手段B (6b)、手
段C(6c)1手段D (6d) +手段E (6e)
、手段F (6f)、及び手段G (6g)、の動作を
示すフローチャート、第7図は従来の位置認識装置のエ
ツジパターンマツチングと称する方式の動作説明図で、
第7図において(8)はカメラ(2)で撮像され、AD
変換回路(3)にて二値化された2値画像信号(5)を
縦横に配列されて得た長方形である対象物(1)の2値
画像を表わす長方形パターン、 (8a)(8b)はこ
の長方形パターン(8)の横方向のエツジ、(9)はこ
の横方向エツジ(5a)を含む長方形領域、(10)は
この長方形領域(9)内のパターン、黒ビットを斜線、
白ビットを白地で示している。(11)は長方形領域(
9)の縦方向の一辺と同じ長さを持ち黒1ビット(ll
a)、白1ビット(llb)の幅をもつ1g1基準パタ
ーン、(12)はこの基準パターン(11)と長方形領
域内パターン(10)との一致度を長方形領域(9)の
横方向の各ビット位置毎に示すグラフ、(13)は一致
度の最大点、 (14)は一致度の最小点、(15)(
16)はこれら一致度の最大点(13)及び最小点(1
4)から検出される横方向エツジ(8a) (8b)の
位置である。
動作を示すフローチャート、第6図はその基本動作にお
ける従来装置の認識回路(6)の手段B (6b)、手
段C(6c)1手段D (6d) +手段E (6e)
、手段F (6f)、及び手段G (6g)、の動作を
示すフローチャート、第7図は従来の位置認識装置のエ
ツジパターンマツチングと称する方式の動作説明図で、
第7図において(8)はカメラ(2)で撮像され、AD
変換回路(3)にて二値化された2値画像信号(5)を
縦横に配列されて得た長方形である対象物(1)の2値
画像を表わす長方形パターン、 (8a)(8b)はこ
の長方形パターン(8)の横方向のエツジ、(9)はこ
の横方向エツジ(5a)を含む長方形領域、(10)は
この長方形領域(9)内のパターン、黒ビットを斜線、
白ビットを白地で示している。(11)は長方形領域(
9)の縦方向の一辺と同じ長さを持ち黒1ビット(ll
a)、白1ビット(llb)の幅をもつ1g1基準パタ
ーン、(12)はこの基準パターン(11)と長方形領
域内パターン(10)との一致度を長方形領域(9)の
横方向の各ビット位置毎に示すグラフ、(13)は一致
度の最大点、 (14)は一致度の最小点、(15)(
16)はこれら一致度の最大点(13)及び最小点(1
4)から検出される横方向エツジ(8a) (8b)の
位置である。
次に従来の位置認識装置の動作を、第2図、第6図及び
第7図により説明する。第2図においてステップ(17
)で、カメラ(2)で得られた画像信号(4)をAD変
換回路(3)で2値画像信号(5)に変換し、認識回路
(6)で縦横に配列され第7図に示す長方形パターン(
8)を得る。次にステップ(18)で長方形パターン(
8)の横方向エツジ(8a) (8b)のみに注目し、
この両エツジ(8a) (8b)が含まれる長方形領域
(9)を設定する。次にステップ(19)でエツジパタ
ーンマツチングと称する第6図に示すサブルーチンを実
行する。第6図において、ステップ(19a)で黒1ビ
ット(lla)、白1ビット(llb)の幅をもち長方
形領域(9)の縦方向の一辺と同じ長さの縦基準パター
ン(11)を作成し、ステップ(19b)で縦基準パタ
ーン(11)を長方形領域(9)の左端の2ビットの上
におき、ステップ(19c)で長方形領域内パターン(
10)の重なった左端2ビットとの間の一致度を求め、
ステップ(19d)でその値を認識回路(6)内マイク
ロコンピュータのメモリに記憶する。ステップ(19e
)ですべての長方形領域内パターン(10)との一致度
をとったか判定し、すべての一致度をとっていない場合
には、ステップ(16f)で縦基準パターン(11)の
位置を横方向に1ピッ1−移動させる。上記ステップ(
19c)〜(19f)をステップ(L9e)で終了を判
定するまで続ける。すべての一致度がとり終ったら、ス
テップ(19g)でステップ(19d)で記憶された一
致度からグラフ(12)を作成し、最大点(13) 、
最小点(14)から長方形パターン(8)の対向する横
方向エツジ(8a) (8b)の位置(15)(16)
を検出し、本サブルーチンは終り、第2図のステップ(
20)に進む。ステップ(20)でエツジパターンマツ
チング(19)にて横方向エツジ(8a) (8b)が
検出されたかどうかが判定され、検出していなければス
トップし、検出していれば上記エツジ(8a)(8b)
の位置からそれの中心位置を算出する。次にステップ(
22)で今度は縦方向について注目して長方形領域を設
定し上記ステップ(19)〜(21)と同様のことをス
テップ(23)〜(25)で行ない、縦方向エツジの中
心位置を算出する。横及び縦の2方向の中心が認識され
ればステップ(26)で中心位置データ信号(7)が出
力される。第1図に示す手段A(6a)は第2図におけ
るステップ(17) (18)及び(22)で。
第7図により説明する。第2図においてステップ(17
)で、カメラ(2)で得られた画像信号(4)をAD変
換回路(3)で2値画像信号(5)に変換し、認識回路
(6)で縦横に配列され第7図に示す長方形パターン(
8)を得る。次にステップ(18)で長方形パターン(
8)の横方向エツジ(8a) (8b)のみに注目し、
この両エツジ(8a) (8b)が含まれる長方形領域
(9)を設定する。次にステップ(19)でエツジパタ
ーンマツチングと称する第6図に示すサブルーチンを実
行する。第6図において、ステップ(19a)で黒1ビ
ット(lla)、白1ビット(llb)の幅をもち長方
形領域(9)の縦方向の一辺と同じ長さの縦基準パター
ン(11)を作成し、ステップ(19b)で縦基準パタ
ーン(11)を長方形領域(9)の左端の2ビットの上
におき、ステップ(19c)で長方形領域内パターン(
10)の重なった左端2ビットとの間の一致度を求め、
ステップ(19d)でその値を認識回路(6)内マイク
ロコンピュータのメモリに記憶する。ステップ(19e
)ですべての長方形領域内パターン(10)との一致度
をとったか判定し、すべての一致度をとっていない場合
には、ステップ(16f)で縦基準パターン(11)の
位置を横方向に1ピッ1−移動させる。上記ステップ(
19c)〜(19f)をステップ(L9e)で終了を判
定するまで続ける。すべての一致度がとり終ったら、ス
テップ(19g)でステップ(19d)で記憶された一
致度からグラフ(12)を作成し、最大点(13) 、
最小点(14)から長方形パターン(8)の対向する横
方向エツジ(8a) (8b)の位置(15)(16)
を検出し、本サブルーチンは終り、第2図のステップ(
20)に進む。ステップ(20)でエツジパターンマツ
チング(19)にて横方向エツジ(8a) (8b)が
検出されたかどうかが判定され、検出していなければス
トップし、検出していれば上記エツジ(8a)(8b)
の位置からそれの中心位置を算出する。次にステップ(
22)で今度は縦方向について注目して長方形領域を設
定し上記ステップ(19)〜(21)と同様のことをス
テップ(23)〜(25)で行ない、縦方向エツジの中
心位置を算出する。横及び縦の2方向の中心が認識され
ればステップ(26)で中心位置データ信号(7)が出
力される。第1図に示す手段A(6a)は第2図におけ
るステップ(17) (18)及び(22)で。
手段B (6b)は第6図のステップ(19a)で、手
段C(6c)はステップ(23)のサブルーチンのステ
ップ(23a) (図示されない)で、手段D (6d
)はステップ(19b) (19c) (19d) (
19e) (19f)で、手段E (6e)はステップ
(23)のサブルーチンのステップ(23b)〜(23
f) (図示されない)で、手段F (6f)はステッ
プ(19g)で1手段G (6g)はステップ(23g
) (図示されない)でそれぞれ実行される。
段C(6c)はステップ(23)のサブルーチンのステ
ップ(23a) (図示されない)で、手段D (6d
)はステップ(19b) (19c) (19d) (
19e) (19f)で、手段E (6e)はステップ
(23)のサブルーチンのステップ(23b)〜(23
f) (図示されない)で、手段F (6f)はステッ
プ(19g)で1手段G (6g)はステップ(23g
) (図示されない)でそれぞれ実行される。
[発明が解決しようとする問題点]
従来の位置認識装置は以上のように基準パターン(11
)として黒1ピッ1〜、白1ビットからなる列で構成さ
れたものを使用しているため長方形パターン(8)のエ
ツジ(8a) (8b)のゆがみ状態によっては正確な
エツジ位置Os) (16)、ひいてはその中心位置が
正しく認識され得ない場合があるという問題点があった
。第8図はこの場合の一例を示す動作説明図で、この場
合は一致度の最大点は(13a)(13b)の2点、最
小点は(14a) (14b)の2点となりエツジ(8
a) (8b)の位置(15) (16)が確定されな
い。
)として黒1ピッ1〜、白1ビットからなる列で構成さ
れたものを使用しているため長方形パターン(8)のエ
ツジ(8a) (8b)のゆがみ状態によっては正確な
エツジ位置Os) (16)、ひいてはその中心位置が
正しく認識され得ない場合があるという問題点があった
。第8図はこの場合の一例を示す動作説明図で、この場
合は一致度の最大点は(13a)(13b)の2点、最
小点は(14a) (14b)の2点となりエツジ(8
a) (8b)の位置(15) (16)が確定されな
い。
この発明は以上のような問題点を解消するためになされ
たもので、長方形パターンのエツジが多少乱れてもその
中心位置を精度よく正確に認識することができる位置認
識装置を得ることを目的とする。
たもので、長方形パターンのエツジが多少乱れてもその
中心位置を精度よく正確に認識することができる位置認
識装置を得ることを目的とする。
[問題点を解決するための手段]
この発明にかかる位置認識装置は縦基準パターン及び横
基準パターンを移動方向にそれぞれ2ビット以」二の同
じ幅を持つ隣接する黒及び白のみからなる一対の列で構
成したものである。
基準パターンを移動方向にそれぞれ2ビット以」二の同
じ幅を持つ隣接する黒及び白のみからなる一対の列で構
成したものである。
[作 用]
この発明においては、基準パターンと長方形領域内パタ
ーンとの一致度を検出する際、白瓜2ピッ1〜以上の幅
の基準パターンを使用するため、白黒が変化するエツジ
付近では単に白黒の変化率だけでなく、その点の変化率
と軽くウェイト付けされた前後の変化率を加えたトータ
ルの変化率でエツジの位置を検出することとなり精度が
一段と向上する。
ーンとの一致度を検出する際、白瓜2ピッ1〜以上の幅
の基準パターンを使用するため、白黒が変化するエツジ
付近では単に白黒の変化率だけでなく、その点の変化率
と軽くウェイト付けされた前後の変化率を加えたトータ
ルの変化率でエツジの位置を検出することとなり精度が
一段と向上する。
[実施例コ
以下この発明の実施例を図について説明する。
第1図〜第5図はこの発明の一実施例を示し、第1図は
それの基本構成を示す概略構成図、第2図はそれの基本
動作を示すフローチャートで共に従来例と同じである。
それの基本構成を示す概略構成図、第2図はそれの基本
動作を示すフローチャートで共に従来例と同じである。
第3図は第2図の基本動作におけるこの実施例の横方向
のエツジパターンマツチングサブルーチンを示すフロー
チャート、第4図は第7図に示す従来例と同じ長方形パ
ターンに対するこの実施例のエツジパターンマツチング
動作説明図、第5図は第8図に示す従来例と同じパター
ンに対するこの実施例のエツジパターンマツチング動作
説明図である。
のエツジパターンマツチングサブルーチンを示すフロー
チャート、第4図は第7図に示す従来例と同じ長方形パ
ターンに対するこの実施例のエツジパターンマツチング
動作説明図、第5図は第8図に示す従来例と同じパター
ンに対するこの実施例のエツジパターンマツチング動作
説明図である。
図において(1)〜(10) 、 (12)〜(19)
(19b)〜(19g) 。
(19b)〜(19g) 。
(20)〜(26)は従来例と同様なのでこれらの詳細
な説明は省略し、従来例と異なる点のみを説明する。
な説明は省略し、従来例と異なる点のみを説明する。
第4図において(27)は縦基準パターンで黒2ビット
(27a)、白2ビット(27b)の幅をもつ長さは従
来と同様である。
(27a)、白2ビット(27b)の幅をもつ長さは従
来と同様である。
次にその動作について説明すると、第2図のステップ(
17) (18)は従来と同様で、ステップ(19)の
第3図に示すエツジパターンマツチングのサブルーチン
に入り、ステップ(19h)において従来例と異なり白
2ビット、黒2ピッ1〜の幅の縦基準パターン(27)
を作成し、後はステップ(]、9b)から、ステップ(
19c) 〜(19f)と基準パターン(27)を横方
向に1ビットづつずらしながら長方自形領域内パターン
(10)と比較しながら一致度を求めて行く。このよう
に白黒2ビットの幅の基準パターン(27)と長方自形
領域内パターン(10)を比較していくと、長方形パタ
ーン(8)のエツジ(8a)では一致度が、他のエツジ
(8b)では不一致度が積み上げられて一致度を示すグ
ラフ(12)の一致度最大点(13)、最小点(14)
が尖鋭となり明確となる。さらに、白黒1ビット幅の基
準パターン(11)を使用して最大点が(13a) (
13b)、最小点が(14a) (1/Ib)の2点生
じた第8図に示すのと同じ長方形パターン(8)に対し
ても、第5図に示すように明確な1つの最大点(13)
、最小点(14)が求まり、エツジ位fi (15)
(16)の位置が確定し、ステップ(19g)で正確に
エツジ位置が検出され、第2図のステップ(21)での
中心位置の算出も正確となる。同様にしてステップ(2
2)〜(25)における縦方向の中心位置も正確に求ま
り、ステップ(26)での中心位置データ信号出力(7
)も正しく得られる。
17) (18)は従来と同様で、ステップ(19)の
第3図に示すエツジパターンマツチングのサブルーチン
に入り、ステップ(19h)において従来例と異なり白
2ビット、黒2ピッ1〜の幅の縦基準パターン(27)
を作成し、後はステップ(]、9b)から、ステップ(
19c) 〜(19f)と基準パターン(27)を横方
向に1ビットづつずらしながら長方自形領域内パターン
(10)と比較しながら一致度を求めて行く。このよう
に白黒2ビットの幅の基準パターン(27)と長方自形
領域内パターン(10)を比較していくと、長方形パタ
ーン(8)のエツジ(8a)では一致度が、他のエツジ
(8b)では不一致度が積み上げられて一致度を示すグ
ラフ(12)の一致度最大点(13)、最小点(14)
が尖鋭となり明確となる。さらに、白黒1ビット幅の基
準パターン(11)を使用して最大点が(13a) (
13b)、最小点が(14a) (1/Ib)の2点生
じた第8図に示すのと同じ長方形パターン(8)に対し
ても、第5図に示すように明確な1つの最大点(13)
、最小点(14)が求まり、エツジ位fi (15)
(16)の位置が確定し、ステップ(19g)で正確に
エツジ位置が検出され、第2図のステップ(21)での
中心位置の算出も正確となる。同様にしてステップ(2
2)〜(25)における縦方向の中心位置も正確に求ま
り、ステップ(26)での中心位置データ信号出力(7
)も正しく得られる。
なお以上の実施例では基準パターン(27)の幅を黒2
ビット(27a)、白2ピッh (27b)としたが、
これを2ビット以上例えば黒3ビット、白3ビットとし
てもよい。ただあまりビット数を増すと、それだけメモ
リ容量が増加し、又比較時間が増加するのであまり望ま
しくない。
ビット(27a)、白2ピッh (27b)としたが、
これを2ビット以上例えば黒3ビット、白3ビットとし
てもよい。ただあまりビット数を増すと、それだけメモ
リ容量が増加し、又比較時間が増加するのであまり望ま
しくない。
[発明の効果コ
以上のようにこの発明によれば、基準パターンの幅を白
黒それぞれ2ビット以上とし前後の変化率を加味した白
黒の総合変化率を用いてエツジを検出するようにしたの
で、長方形パターンのエツジが多少乱れても正確にその
中心位置を認識でき、す る位置認識装置を得ることができる効果がある。
黒それぞれ2ビット以上とし前後の変化率を加味した白
黒の総合変化率を用いてエツジを検出するようにしたの
で、長方形パターンのエツジが多少乱れても正確にその
中心位置を認識でき、す る位置認識装置を得ることができる効果がある。
第1図はこの発明の位置認識装置の基本構成を示す概略
構成図、第2図はそれの基本動作を示すフローチャー1
−1第3図はこの発明の一実施例におけるエツジパター
ンマツチング動作を示すフローチャート、第4図、第5
図はこの発明の一実施例におけるエツジパターンマツチ
ング動作説明図、第6図は従来の位置認識装置における
エツジパターンマツチング動作を示すフローチャート、
第7図、第8図は従来装置におけるエツジパターンマツ
チング動作説明図である。 図において、(1)は対象物、(2)はカメラ、(3)
はAD変換回路、(6)は認識回路、(8)は長方形パ
ターン、(8a) (8b)はエツジ、(9)は長方形
領域、(10)は長方形内パターン、(11) (27
)は縦基準パターンである。 図中同一符号は同−或は相当部分を示す。
構成図、第2図はそれの基本動作を示すフローチャー1
−1第3図はこの発明の一実施例におけるエツジパター
ンマツチング動作を示すフローチャート、第4図、第5
図はこの発明の一実施例におけるエツジパターンマツチ
ング動作説明図、第6図は従来の位置認識装置における
エツジパターンマツチング動作を示すフローチャート、
第7図、第8図は従来装置におけるエツジパターンマツ
チング動作説明図である。 図において、(1)は対象物、(2)はカメラ、(3)
はAD変換回路、(6)は認識回路、(8)は長方形パ
ターン、(8a) (8b)はエツジ、(9)は長方形
領域、(10)は長方形内パターン、(11) (27
)は縦基準パターンである。 図中同一符号は同−或は相当部分を示す。
Claims (1)
- 対象物を撮像し画像信号を取り出すカメラ、上記画像信
号を白黒2値信号に変換するAD変換回路、及びこのA
D変換回路からの2値画像信号を縦横に配列した2値画
像信号パターンの内検出すべき対象物パターンを含む長
方形、領域を設定する手段と、この長方形領域の縦方向
の一辺と同じ長さを持つ縦基準パターンを作成する手段
と、この手段によって得られた縦基準パターンを1ビッ
トづつ横方向に移動しながら上記長方形領域内のパター
ンと比較し、各位置の両パターンの一致度を算出する手
段と、この手段により算出された一致度の最大及び最小
位置から横方向の2エッジの位置を検出する手段と、上
記長方形の横方向の一辺と同じ長さを持つ横基準パター
ンを作成する手段と、この手段によって得られた横基準
パターンを一ビットづつ縦方向に移動しながら上記長方
形領域のパターンと比較し、各位置の両パターンの一致
度を算出する手段と、この手段により算出された一致度
の最大及び最小位置から縦方向の2エッジの位置を検出
する手段と、この縦方向の2エッジの位置と上記横方向
の2エッジの位置から、これらのエッジに囲まれたパタ
ーンの中心位置を算出してその中心位置を示す信号を出
力する手段とを有する認識回路を備えた位置認識装置に
おいて、上記縦基準パターン及び横基準パターンを、移
動方向にそれぞれ2ビット以上の同じ幅をもって隣接す
る黒及び白のみからなる1対の列で構成したことを特徴
とする位置認識装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23811585A JPS6295405A (ja) | 1985-10-22 | 1985-10-22 | 位置認識装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23811585A JPS6295405A (ja) | 1985-10-22 | 1985-10-22 | 位置認識装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6295405A true JPS6295405A (ja) | 1987-05-01 |
Family
ID=17025399
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23811585A Pending JPS6295405A (ja) | 1985-10-22 | 1985-10-22 | 位置認識装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6295405A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7605992B2 (en) | 2008-01-28 | 2009-10-20 | International Business Machines Corporation | Robust LPOS detection with predictor and bit verifier |
-
1985
- 1985-10-22 JP JP23811585A patent/JPS6295405A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| US7605992B2 (en) | 2008-01-28 | 2009-10-20 | International Business Machines Corporation | Robust LPOS detection with predictor and bit verifier |
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