JPS6295734A - 磁気記録媒体及びその製造方法 - Google Patents
磁気記録媒体及びその製造方法Info
- Publication number
- JPS6295734A JPS6295734A JP23231785A JP23231785A JPS6295734A JP S6295734 A JPS6295734 A JP S6295734A JP 23231785 A JP23231785 A JP 23231785A JP 23231785 A JP23231785 A JP 23231785A JP S6295734 A JPS6295734 A JP S6295734A
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- JP
- Japan
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- magnetic
- magnetic recording
- film
- recording medium
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- Pending
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- Magnetic Record Carriers (AREA)
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は、磁気ドラム装置、磁気ディスク装置等の磁気
的記憶装置に用いられる磁気記録媒体およびその製造方
法に関するものである。
的記憶装置に用いられる磁気記録媒体およびその製造方
法に関するものである。
［従来の技術］
磁気記録技術においては、記録密度のより一層の高密度
化が強く要求されている。また高い面記録密度を実現す
るためには、線記録密度のみならず、トラック密度も高
くする必要がある。そのために、磁気記録媒体、磁気ヘ
ッドおよびそれらの駆動機構等の開発または改良に多大
な努力が払われている。このうち、磁気記録媒体として
は、磁気特性に優れ化学的あるいは熱的に安定であるこ
となどの特性が要求される。以１のような要求をみたす
ために、従来からγ−Ｆｅａｒ３゜ＣｒＯ２、Ｃｏ被被
着−Ｆｅ、０３などの酸化物あるいはＦｅやＧｏなどの
金属の針状結晶からなる磁性体粉末を記録媒体の面内長
手方向に配向させた、いわいる塗布型の磁気記録媒体が
一般に用いられてぃる、さらに、より以上の磁気記録特
性の向上を目的として真空蒸着、スパッタ、イオンブレ
ーティング等によって作られたγ−Ｆｅ２Ｏ３やＧｏ−
γ−Ｆｅ２Ｏ３などの酸化物連続薄膜が開発されており
、これらの薄膜媒体は優れた耐腐食性、安定性を示し、
現在最も有望な磁気記録媒体の一つとされている。
化が強く要求されている。また高い面記録密度を実現す
るためには、線記録密度のみならず、トラック密度も高
くする必要がある。そのために、磁気記録媒体、磁気ヘ
ッドおよびそれらの駆動機構等の開発または改良に多大
な努力が払われている。このうち、磁気記録媒体として
は、磁気特性に優れ化学的あるいは熱的に安定であるこ
となどの特性が要求される。以１のような要求をみたす
ために、従来からγ−Ｆｅａｒ３゜ＣｒＯ２、Ｃｏ被被
着−Ｆｅ、０３などの酸化物あるいはＦｅやＧｏなどの
金属の針状結晶からなる磁性体粉末を記録媒体の面内長
手方向に配向させた、いわいる塗布型の磁気記録媒体が
一般に用いられてぃる、さらに、より以上の磁気記録特
性の向上を目的として真空蒸着、スパッタ、イオンブレ
ーティング等によって作られたγ−Ｆｅ２Ｏ３やＧｏ−
γ−Ｆｅ２Ｏ３などの酸化物連続薄膜が開発されており
、これらの薄膜媒体は優れた耐腐食性、安定性を示し、
現在最も有望な磁気記録媒体の一つとされている。
一方、磁気記録の高い信頼性、高い面記録密度を保つの
に不可欠な磁気ヘッドの位置決め（トラッキング）の制
御（サーボ）は一般には、磁気ヘッドを目標トラックに
高速に移動させるシークサーボと、磁気ヘッドを目標ト
ラック位置に保持させる追従サーボのデュアルモードで
行われている。中でも追従サーボは、他のサーボ専用面
を用いてその位置誤差信号によって実現されている。
に不可欠な磁気ヘッドの位置決め（トラッキング）の制
御（サーボ）は一般には、磁気ヘッドを目標トラックに
高速に移動させるシークサーボと、磁気ヘッドを目標ト
ラック位置に保持させる追従サーボのデュアルモードで
行われている。中でも追従サーボは、他のサーボ専用面
を用いてその位置誤差信号によって実現されている。
しかしながら、そのサーボ専用面を用いて追従サーボを
行ってもサーボディスクとデータディスク間に生じる熱
膨張差は補正できない、これに対してデータ面にもサー
ボ信号を埋め込むデータ面サーボ方式を用いてその熱膨
張差を補正する方式も検討されているが、いまだに優れ
たデータ面サーボ方式は開発されていない。
行ってもサーボディスクとデータディスク間に生じる熱
膨張差は補正できない、これに対してデータ面にもサー
ボ信号を埋め込むデータ面サーボ方式を用いてその熱膨
張差を補正する方式も検討されているが、いまだに優れ
たデータ面サーボ方式は開発されていない。
［発明が解決しようとする問題点］
本発明は、上述の現状に鑑み、優れた磁気特性と耐腐食
性、温度安定性を有し、かつトラッキングサーボ機能も
同時に実現する新規な磁気記録媒体を提供することを目
的とする。
性、温度安定性を有し、かつトラッキングサーボ機能も
同時に実現する新規な磁気記録媒体を提供することを目
的とする。
［問題点を解決するための手段］
かかる目的を達成するために、本発明の磁気記録媒体は
、非磁性の基板上にスピネル構造を有するＦｅ３Ｏ４か
らなる領域と二ランダム構造を有するα−Ｆｅ２０３か
らなる領域とが交互に同心円状あるいはスパイラル状に
構成されており、そのうちの強磁性領域に記録用トラッ
クとトラッキングサーボ用トラックとを兼ねさせている
。
、非磁性の基板上にスピネル構造を有するＦｅ３Ｏ４か
らなる領域と二ランダム構造を有するα−Ｆｅ２０３か
らなる領域とが交互に同心円状あるいはスパイラル状に
構成されており、そのうちの強磁性領域に記録用トラッ
クとトラッキングサーボ用トラックとを兼ねさせている
。
また、本発明の磁気記録媒体の製造方法は、非磁性の基
板上にα−Ｆｅ２０３の薄膜を形成し、α−Ｆｅ２Ｏ３
薄膜を還元雰囲気中で同心円状またはスパイラル状にレ
ーザービーム熱処理して、ビーム照射部を還元し、Ｆｅ
３Ｏ４膜とする。
板上にα−Ｆｅ２０３の薄膜を形成し、α−Ｆｅ２Ｏ３
薄膜を還元雰囲気中で同心円状またはスパイラル状にレ
ーザービーム熱処理して、ビーム照射部を還元し、Ｆｅ
３Ｏ４膜とする。
［作 用］
本発明は、耐腐食性および耐魔耗性に優れいている強磁
性体として酸化物に着目し、さらにその製造方法として
薄膜製造が容易なα−ＦｅＬ０３状態を出発点としてレ
ーザービームを用いて還元雰囲気中にて局部的にそのα
−Ｆｅ２０３膜の還元温度以上に加熱することによって
強磁性のＦｅ３Ｏ４膜を部分的に形成し、磁気記録トラ
ックとするので、簡単な方法で記録トラックとトラッキ
ングサーボトラックを兼ねた磁気記録媒体を得ることが
できる。
性体として酸化物に着目し、さらにその製造方法として
薄膜製造が容易なα−ＦｅＬ０３状態を出発点としてレ
ーザービームを用いて還元雰囲気中にて局部的にそのα
−Ｆｅ２０３膜の還元温度以上に加熱することによって
強磁性のＦｅ３Ｏ４膜を部分的に形成し、磁気記録トラ
ックとするので、簡単な方法で記録トラックとトラッキ
ングサーボトラックを兼ねた磁気記録媒体を得ることが
できる。
［実施例］
以下に図面を参照して本発明の詳細な説明する。
第１図は本発明の詳細な説明する概要図である。
ＲＦ２極スパッタ法を用い、Ｓｉなどの非磁性基板１上
にＡｕを０．３４ｍの厚さにプレコートして下地層２と
した後、その基板温度を１３Ｏ℃としてアルゴンガス圧
２ＯｍＴｏｒｒ 、酸素ガス圧２ＯｍＴｏｒｒの混合雰
囲気中にて鉄ターゲツトをスパッタすることにより、下
地層２の上に０．２ ｈｒａの厚さのα−Ｆ＋４０３膜
３を形成し、さらにそうして得られたα−Ｆｅ立０３薄
膜を、出力１５ｍＷのＣＯ２レーザを用いて水素雰囲気
中で幅１５ＩＬｆｆｌのストライプ状に空気中レーザー
ビーム熱処理をすることにより、ビーム照射部分のみを
同心円状のＦｅ６０４強磁性薄膜３Ｂとした。そうして
得られた強磁性領域の結晶粒径は６００人、保磁力は３
０００ｅ、飽和磁化は３ＥｌＯｅ＋＋＋ｕ／ｃｃ、角形
比は０．８３であった。
にＡｕを０．３４ｍの厚さにプレコートして下地層２と
した後、その基板温度を１３Ｏ℃としてアルゴンガス圧
２ＯｍＴｏｒｒ 、酸素ガス圧２ＯｍＴｏｒｒの混合雰
囲気中にて鉄ターゲツトをスパッタすることにより、下
地層２の上に０．２ ｈｒａの厚さのα−Ｆ＋４０３膜
３を形成し、さらにそうして得られたα−Ｆｅ立０３薄
膜を、出力１５ｍＷのＣＯ２レーザを用いて水素雰囲気
中で幅１５ＩＬｆｆｌのストライプ状に空気中レーザー
ビーム熱処理をすることにより、ビーム照射部分のみを
同心円状のＦｅ６０４強磁性薄膜３Ｂとした。そうして
得られた強磁性領域の結晶粒径は６００人、保磁力は３
０００ｅ、飽和磁化は３ＥｌＯｅ＋＋＋ｕ／ｃｃ、角形
比は０．８３であった。
一方、α−Ｆｅ４２０３薄嗅のうち、レーザービームが
照射されない領域３ＡはＦｅ３Ｏ４に変化せず、α−Ｆ
ｅ、０３のままである。α−Ｆｅ２Ｏ３は厳密に言えば
、弱強磁性であるが、その磁性はほとんど常磁性と見な
すことができる。従ってこうして得られたＦｅ３Ｏ４と
α−Ｆｅ２０３が交互に同心円をなす記録媒体はＦｅａ
０３部分を記録トラックとトラッキングサーボトラック
を兼ねたものとして使うことができる。
照射されない領域３ＡはＦｅ３Ｏ４に変化せず、α−Ｆ
ｅ、０３のままである。α−Ｆｅ２Ｏ３は厳密に言えば
、弱強磁性であるが、その磁性はほとんど常磁性と見な
すことができる。従ってこうして得られたＦｅ３Ｏ４と
α−Ｆｅ２０３が交互に同心円をなす記録媒体はＦｅａ
０３部分を記録トラックとトラッキングサーボトラック
を兼ねたものとして使うことができる。
このようにして得られた強磁性の磁気記録トラックのト
ラッキング検出は、第２図に示すように、用いる磁気へ
ラドコア１１の幅に対して磁気記録トラック（強磁性領
域３Ｂ）の幅を小さくすることにより実現できる。すな
わち、各トラックにまず基準信号を記録して初期化する
ことにより、記録時にも再生時にも記録再生ヘッドの直
前あるいは横に一体設置されたトラッキングサーボ用ヘ
ッドの再生出力信号が最大となるようにトラッキングサ
ーボを行う、ここでサーボ用ヘッドを記録再生ヘッドの
前に一体設置する場合には記録する自身のトラックを用
いて、一方、サーボ用ヘッドを記録再生ヘッドの横に一
体設置する場合には、隣あるいはそれ以外のトラックを
用いてトラッキングサーボを行う、さらに、いったん記
録が完了すれば、その記録信号そのものがトラッキング
サーボ用信号として用いられる。
ラッキング検出は、第２図に示すように、用いる磁気へ
ラドコア１１の幅に対して磁気記録トラック（強磁性領
域３Ｂ）の幅を小さくすることにより実現できる。すな
わち、各トラックにまず基準信号を記録して初期化する
ことにより、記録時にも再生時にも記録再生ヘッドの直
前あるいは横に一体設置されたトラッキングサーボ用ヘ
ッドの再生出力信号が最大となるようにトラッキングサ
ーボを行う、ここでサーボ用ヘッドを記録再生ヘッドの
前に一体設置する場合には記録する自身のトラックを用
いて、一方、サーボ用ヘッドを記録再生ヘッドの横に一
体設置する場合には、隣あるいはそれ以外のトラックを
用いてトラッキングサーボを行う、さらに、いったん記
録が完了すれば、その記録信号そのものがトラッキング
サーボ用信号として用いられる。
強磁性領域がスパイラル状となるようにレーザービーム
熱処理しても効果は同じである。
熱処理しても効果は同じである。
ここで、第１図中の基板としては非磁性基板上にＯｒ、
ＡｕまたはＡｌｌなどの下地を形成したものあるいは、
それらの金属を基板としたものが望ましく、その下地を
レーザービーム熱処理する際のビームの反射層として用
いることにより高効率で熱処理をすることができる。
ＡｕまたはＡｌｌなどの下地を形成したものあるいは、
それらの金属を基板としたものが望ましく、その下地を
レーザービーム熱処理する際のビームの反射層として用
いることにより高効率で熱処理をすることができる。
スパッタ法はＲＦ２極スパッタ法に限らず、各種のスパ
ッタ法を用いることができるし、蒸着法によって膜を形
成してもよい。
ッタ法を用いることができるし、蒸着法によって膜を形
成してもよい。
ターゲットはＦｅだけでなく、その合金または酸化物を
使用することもできる。
使用することもできる。
レーザービームは出力１５〜ＩＯＱ ｍ％ｌｌのレーザ
ーを用い、膜面上に５〜２５ル層径に集光できる。
ーを用い、膜面上に５〜２５ル層径に集光できる。
α−Ｆ ｅＥＬｏ ３膜をレーザービーム熱処理する場
合、膜面上でのレーザービームのパワー密度、熱処理中
のビームに対する媒体の移動速度、基板の熱伝導度、膜
の組成、膜の光吸収率等によって膜の温度は大きく変化
する。特に膜および基板が決定されれば、これらの条件
中、レーザービームのパワー密度および熱処理中のビー
ムに対する媒体の移動速度の条件のみで膜の温度を制御
することが可能で、したがって、α−Ｆｅ２Ｏ３膜を還
元雰囲気中にてレーザービーム熱処理する際の還元温度
を自由に設定することができ、結果として広い範囲の結
晶学的、磁気的特性の制御が容易である。
合、膜面上でのレーザービームのパワー密度、熱処理中
のビームに対する媒体の移動速度、基板の熱伝導度、膜
の組成、膜の光吸収率等によって膜の温度は大きく変化
する。特に膜および基板が決定されれば、これらの条件
中、レーザービームのパワー密度および熱処理中のビー
ムに対する媒体の移動速度の条件のみで膜の温度を制御
することが可能で、したがって、α−Ｆｅ２Ｏ３膜を還
元雰囲気中にてレーザービーム熱処理する際の還元温度
を自由に設定することができ、結果として広い範囲の結
晶学的、磁気的特性の制御が容易である。
表１に先に述べた例である試料番号１および製造条件の
異なる試料番号２〜７について得られた強磁性領域Ｆｅ
３Ｏ４の磁気特性とその製造条件を示しである。なお、
これまでコランダム構造を有する弱強磁性のα−Ｆｅ２
Ｏ３とスピネル構造を有する強磁性のＦｅ３０ａとから
構成される磁気記録媒体とその製造方法について基本的
に述べたが、従来のスピネル構造酸化物連続薄膜におい
て開示されている少量のＡｎ 、Ｇｏ、Ｏｓ、Ｔｉ、Ｃ
ｕ、Ｖ、Ｓｉ、Ａｕ、Ｒｕなとの元素を含有しても本発
明の木質は何ら変わらない０表１の試料番号６はＣＯを
含有する場合、試料番号７はＴｉ−Ｃｕ−Ｃｏを含有す
る場合の実施例である。これらの磁気記録媒体は、すべ
て強磁性領域が記録トラックとトラッキングサーボトラ
ックを兼ねることができる。
異なる試料番号２〜７について得られた強磁性領域Ｆｅ
３Ｏ４の磁気特性とその製造条件を示しである。なお、
これまでコランダム構造を有する弱強磁性のα−Ｆｅ２
Ｏ３とスピネル構造を有する強磁性のＦｅ３０ａとから
構成される磁気記録媒体とその製造方法について基本的
に述べたが、従来のスピネル構造酸化物連続薄膜におい
て開示されている少量のＡｎ 、Ｇｏ、Ｏｓ、Ｔｉ、Ｃ
ｕ、Ｖ、Ｓｉ、Ａｕ、Ｒｕなとの元素を含有しても本発
明の木質は何ら変わらない０表１の試料番号６はＣＯを
含有する場合、試料番号７はＴｉ−Ｃｕ−Ｃｏを含有す
る場合の実施例である。これらの磁気記録媒体は、すべ
て強磁性領域が記録トラックとトラッキングサーボトラ
ックを兼ねることができる。
［発明の効果］
以上述べたように、本発明によれば、記録領域がそれ自
身でトラッキングサーボトラックとして働き、結果とし
て高い面記録密度が確保できるという優れた効果がある
。また、本発明によれば、記録媒体として酸化膜を用い
ることにより、安定性、耐腐食性に優れ、磁気的にも優
れた媒体が実現できるとともに膜形成中に基板全体を高
温加熱する必要がないため、基板の自由度が増加する効
果がある。
身でトラッキングサーボトラックとして働き、結果とし
て高い面記録密度が確保できるという優れた効果がある
。また、本発明によれば、記録媒体として酸化膜を用い
ることにより、安定性、耐腐食性に優れ、磁気的にも優
れた媒体が実現できるとともに膜形成中に基板全体を高
温加熱する必要がないため、基板の自由度が増加する効
果がある。
第１図は本発明の詳細な説明する概要図、第２図は磁気
ヘッドトラッキングを説明する図である。 １・・・非磁性基板、 ２・・・下地層、 ３ ＝・ａ−Ｆｅ、２Ｏ３膜、 ３Ａ−−・ａ −Ｆｅａ０３領域、 ３Ｂ・・・Ｆｅ３Ｏ４領域。 （Ａ） 第１図
ヘッドトラッキングを説明する図である。 １・・・非磁性基板、 ２・・・下地層、 ３ ＝・ａ−Ｆｅ、２Ｏ３膜、 ３Ａ−−・ａ −Ｆｅａ０３領域、 ３Ｂ・・・Ｆｅ３Ｏ４領域。 （Ａ） 第１図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １）非磁性の基板と、該基板上に形成され交互に同心円
状またはスパイラル状をなすＦｅ＿３Ｏ＿４（マグネタ
イト）からなる領域とα−Ｆｅ＿２Ｏ＿３（α−ヘマタ
イト）からなる領域とを有する酸化鉄薄膜からなること
特徴とする磁気記録媒体。 ２）非磁性の基板上にα−Ｆｅ＿２Ｏ＿３の薄膜を形成
し、該α−Ｆｅ＿２Ｏ＿３薄膜を還元雰囲気中で同心円
状またはスパイラル状にレーザービーム熱処理して、ビ
ーム照射部を還元し、Ｆｅ＿３Ｏ＿４膜とすることを特
徴とする磁気記録媒体の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23231785A JPS6295734A (ja) | 1985-10-19 | 1985-10-19 | 磁気記録媒体及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23231785A JPS6295734A (ja) | 1985-10-19 | 1985-10-19 | 磁気記録媒体及びその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6295734A true JPS6295734A (ja) | 1987-05-02 |
Family
ID=16937305
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23231785A Pending JPS6295734A (ja) | 1985-10-19 | 1985-10-19 | 磁気記録媒体及びその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6295734A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02263320A (ja) * | 1989-04-03 | 1990-10-26 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 磁気記録媒体の製造方法 |
| WO2000017893A3 (en) * | 1998-09-23 | 2002-09-26 | Spectrum Technologies Plc | Magnetic materials and marking |
-
1985
- 1985-10-19 JP JP23231785A patent/JPS6295734A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02263320A (ja) * | 1989-04-03 | 1990-10-26 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 磁気記録媒体の製造方法 |
| WO2000017893A3 (en) * | 1998-09-23 | 2002-09-26 | Spectrum Technologies Plc | Magnetic materials and marking |
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