JPS629727Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 本考案はウエハ移し替え方法、例えば各種半導
体装置を製造するための複数個の半導体ウエハ
を、該ウエハに損傷を与えずに石英バスケツトに
所望間隔でかつ背面合せ状に効率よく移し替える
ことができるウエハ移し替え装置に関するもので
ある。

半導体素子あるいはIC等を製造する際のウエ
ハプロセス、例えば複数個の半導体ウエハ表面に
多結晶シリコン膜、または窒化膜等を化学気相堆
積法（CVD法）等により形成する工程、あるい
は不純物層を形成する拡散処理工程等において、
石英ガラス等からなるバスケツトに複数個の半導
体ウエハを所望間隔で、かつ背面合せ状に規則正
しく配設させる操作が必要である。かかる半導体
ウエハの配設操作としては、従来作業者がピンセ
ツト等でウエハを挾持し、石英バスケツトの収容
溝に一つ一つ順に背面合せ状態に配置させること
によつて行なつていた。

しかし上記従来のウエハ操作では、その作業に
長時間を費やすのみならず、ウエハの取扱い上、
その品質を損う欠点があり、かなりの熟練を必要
とするものである。

即ち、上記石英ボート内の収容溝にウエハ同志
が接触しないように配置するには細心の注意が必
要であり、またウエハ表面に損傷を与えないよう
にするためには、該ウエハの最外周縁部を挾持す
る必要があるが、その挾持具合によつては、ウエ
ハ周縁部に欠けを生じさせるか、あるいは落下破
損させることがあり、その他ウエハ面に異物が付
着する等、種々の悪影響を与え、ウエハの品質を
低下させる欠点があつた。またこの事実に起因し
て半導体装置の製造コストを上昇させてしまう不
都合があつた。さらには、近年半導体ウエハが大
径化されるにしたがい上記ピンセツト操作を著し
く困難にしていた。

本考案は上記従来の欠点に鑑みなされたもの
で、その目的は手作業のウエハ移し替えを機械に
置換えた際にその構構が簡単で済み且つウエハ収
容容器内の複数個のウエハを極めて効率よく、石
英等からなるバスケツト内に所望間隔あるいは背
面合せ状に規則正しく移し替えることのできる新
規なウエハ移し替え装置を提供することにある。

上記目的を達成するため、本考案のウエハ移し
替え方法は、複数枚のウエハを垂直に且つ隣接ウ
エハがそのウエハ表面同志を対面させた背面合せ
状態で収容するためのバスケツトホルダと、複数
枚のウエハを垂直に且つ隣接ウエハがそのウエハ
表面とウエハ背面を対面させた正規状態で収容す
るためのウエハ収容容器を備え、該ウエハ収容容
器の収容ウエハをウエハホルダへ背面合せ状態に
または該ウエハホルダの収容ウエハをウエハ収容
容器へ正規状態に移し替えるウエハ移し替え方法
であつて、前記ウエハ収容容器を180゜回転自在
に保持すると共に、ウエハ収容容器からウエハホ
ルダへのウエハ移し替え時にはまず該ウエハ収容
容器内のウエハの少なくとも一枚おきの所定ピツ
チウエハをウエハホルダへ移し替えた後、該ウエ
ハ収容容器を180゜回転させた上で該ウエハ収容
器内の残りのウエハをウエハホルダへ移し替え、
ウエハホルダからウエハ収容容器へのウエハ移し
替え時にはまず該ウエハホルダのウエハ表面が同
方向に向いた一方のウエハをウエハ収容容器へ移
し替えた後、該ウエハ収容容器を180゜回転させ
た上で該ウエハホルダの残りのウエハを該ウエハ
収容容器へ移し替えるようにしたことを特徴とす
る。

以下図面を用いて本考案に係るウエハ移し替え
装置の一実施例を詳細に説明する。

第１図に示すように本考案を実施するウエハ移
し替え装置は、共通の支持台１上の中央に例えば
24枚のウエハ４を収容するウエハ収容容器３を着
脱、回転可能に保持する回転テーブル２が載置さ
れ、該ウエハ収容容器３の両側方に平行して12枚
のウエハを収容できる石英等からなるバスケツト
７，８を保持するバスケツトホルダー５，６が取
付けられている。

しかして上記支持台１の下部には、上記回転テ
ーブル２上に配置したウエハ収容容器３とウエハ
バスケツト７内、またはウエハバスケツト８内の
各所定ウエハ端、即ち、３枚おきのウエハ端にそ
れぞれ対向して１度に６枚のウエハを押し上げる
プツシヤー群９Ａ，９Ｂを有する押し上げ手段９
およびプツシヤー群１０Ａ，１０Ｂを有するもう
片方の押し上げ手段１０が配備されている。なお
該押し上げ手段９に対し、もう一方の押し上げ手
段１０は２（ウエハ間隔）ピツチ分ずらして配置
されている。

さらに前記支持台１上部にあつては、前記押し
上げ手段９および１０を交互に押し上げてウエハ
収容容器３内より押し上げられた６枚のウエハ４
ａを一度に抱持するクランプ１２を下端にそなえ
たウエハ抱持部１１が移動機構１３に取付けら
れ、かつ両側方のウエハバスケツト７，８上面
に、ガイドバー１４を介して移動可能に構成され
ている。４ｂ，４ｃは、ウエハ収容容器３中のウ
エハ４がウエハバスケツト７，８に移し替えられ
た状態を示す。またさらに本装置では、上記回転
テーブル２を180度回転すると共に、前記押し上
げ手段９，１０が一体的に定位置より３（ウエハ
間隔）ピツチ分ずれる様に連動する機構となつて
いる。

従つて上述した構成の装置によつて、例えば24
枚のウエハが収容されているウエハ収容容器より
２個のウエハバスケツトにそれぞれ12枚のウエハ
を所定間隔で、かつ背面合せに移し替えるにはま
ず24枚のウエハ４が収容されたウエハ収容容器３
を上記支持台１上の回転テーブル２上に設置し、
該ウエハ収容容器３の両側方のバスケツトホルダ
５，６に12枚入りのウエハバスケツト７，８を設
置する。第２図はかかる状態の位置関係を示す概
略上面図である。Ｘ印はウエハ収容容器の回転中
心を示す。

次いで、一方のウエハ押し上げ手段９によつて
第３図の概略上面図で示すように、ウエハ収容容
器３内の破線で示す６枚のウエハを押し上げ、該
ウエハを抱持部１１内へ挿入し、クランプ１２に
よつて抱持した状態で矢印２１方向の一側方のウ
エハバスケツト７上へ移動機構１３によつて移送
し、前記６枚のウエハ端を前記により押し上げら
れたままになつているプツシヤー９Ａで受け、前
記抱持部１１のクランプ１２を解除する。そして
該プツシヤー９Ａを降下させてウエハバスケツト
７内にウエハを移す。次いで前記抱持部１１を元
の中央ウエハ収容容器３上に戻し、上記と同様、
ウエハ押し上げ手段１０と抱持部１１の操作によ
り前記ウエハ収容容器３内の１点鎖線で示す６枚
のウエハを矢印２２方向の他側方のウエハバスケ
ツト８内に移す。しかる後前記ウエハ収容容器３
を回転テーブル２により、Ｘ印を中心として180
度回転し、該容器３内のウエハ向きを変える。こ
の時、同時に前記ウエハ押し上げ手段９，１０が
ウエハ収容容器３に対して例えば図中、紙面上に
沿つて手前側へ３（ウエハ間隔）ピツチ連動して
ずらされる。

この状態で再び上記第３図によつて説明した操
作と同様の方法により第４図に示すように、ウエ
ハ向きを180度変えたウエハ収容容器３内の２点
鎖線で示す６枚のウエハを矢印２３方向に移送し
て前記ウエハバスケツト７内へ、また同様に３点
鎖線で示す６枚のウエハを矢印２４方向に移送し
て、もう一方のウエハバスケツト８内へそれぞれ
移し替えるようにすれば、上記複数個のウエハ表
面に損傷を与えることなく、複数のウエハバスケ
ツト７及び８内へ12枚のウエハが所望の間隔で、
かつ背面合せ状に規則正しく配設することが可能
となる。

またかかる12枚のウエハが配設された２つのウ
エハバスケツトより上記ウエハ収容容器内へウエ
ハを移し替える場合には、上述の操作を逆にして
行なえば、容易に前記ウエハバスケツト内の複数
のウエハをウエハ収容容器内へウエハ所定面を同
一方向に揃えて収納することができる。

なお上述のウエハ移し替え操作においては上記
したようにウエハ収容容器内のウエハ収容間隔と
ウエハバスケツト内のウエハ収容間隔とを同一に
することが必要とされる。

また以上の実施例では24枚入りのウエハ収容容
器より２個のウエハバスケツト内へそれぞれ12枚
のウエハを所望間隔で、かつ背面合せ状に規則正
しく移し替える場合の例について説明したが本発
明はこれに限定されるものでなく、種々のウエハ
間隔、あるいは所望方向にウエハ所定面を揃えて
容易に複数のウエハを移し替えられることはいう
までもない。

以上説明から明らかなように、本考案のウエハ
移し替え方法はウエハ収容容器の180゜回転によ
つて背面配置する一方のウエハ群のウエハ表面方
向または正規配置する一方のウエハ群のウエハ表
面方向を一括して切替えるため、ウエハを一つ一
つ順に背面配置または正規配置する従来方法に比
べウエハ移し替えが短時間で効率よく実施でき、
且つこの方法を自動装置で実現する際にもその機
構および制御回路等が単純な安価なもので実施可
能である等、その効果は著しい。

従つて半導体装置を製造する各種ウエハプロセ
ス、あるいは光学レンズの製造工程等に適用して
極めて有利である。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案に係るウエハ移し替え装置の一
実施例を説明する概略正面図、第２図、第３図及
び第４図は、本考案に係るウエハ移し替え方法を
順に示した概略説明図である。 １は支持台、２は回転テーブル、３はウエハ収
容容器、４は24枚のウエハ、４ａ，４ｂ，４ｃは
ウエハ、５，６はバスケツトホルダー、７，８は
ウエハバスケツト、９，１０は押し上げ手段、９
Ａ，９Ｂと１０Ａ，１０Ｂはプツシヤー群、１１
はウエハ抱持部、１２はクランプ、１３は移動機
構、１４はガイドバー。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 複数枚のウエハを垂直に且つ隣接ウエハがその
   ウエハ表面同士を対面させた背面合わせ状態で収
   容するためのウエハバスケツトと、複数枚のウエ
   ハを垂直に且つ隣接ウエハがそのウエハ表面とウ
   エハ背面を対面させた正規状態で収容するための
   ウエハ収容容器を備え、該ウエハ収容容器の収容
   ウエハをウエハバスケツトへ背面合わせ状態に又
   は該ウエハバスケツトの収容ウエハをウエハ収容
   容器へ正規状態に移し替えるウエハ移し替え装置
   であつて、 該ウエハ収容容器を容器中心からずれた位置を
   中心にして180度回転自在に保持する回転テーブ
   ルと、 該ウエハ収容容器の側方に平行して該ウエハバ
   スケツトを保持するバスケツトホルダと、 該回転テーブルおよびバスケツトホルダの下部
   に設けられ、該ウエハ収容容器内又はウエハバス
   ケツト内に並べられたウエハのうち所定の枚数間
   隔で位置する複数のウエハを押し上げる押し上げ
   手段と、 該回転テーブルおよびバスケツトホルダより上
   方に設けられ、両者の間をその上部で移動可能で
   あり、該押し上げ手段により押し上げられた所定
   ウエハを抱持し、両者の間で移し替えるウエハ抱
   持部とを有し、 該押し上げ手段が所定の枚数間隔を保ちつつウ
   エハの並べられた方向にずれるように構成されて
   なることを特徴とするウエハ移し替え装置。