JPS63100335A - レ−ザエネルギ−検出装置 - Google Patents
レ−ザエネルギ−検出装置Info
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- JPS63100335A JPS63100335A JP61246711A JP24671186A JPS63100335A JP S63100335 A JPS63100335 A JP S63100335A JP 61246711 A JP61246711 A JP 61246711A JP 24671186 A JP24671186 A JP 24671186A JP S63100335 A JPS63100335 A JP S63100335A
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- JP
- Japan
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- laser beam
- laser
- integrating sphere
- energy
- chopper
- Prior art date
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- Pending
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J1/00—Photometry, e.g. photographic exposure meter
- G01J1/42—Photometry, e.g. photographic exposure meter using electric radiation detectors
- G01J1/4257—Photometry, e.g. photographic exposure meter using electric radiation detectors applied to monitoring the characteristics of a beam, e.g. laser beam, headlamp beam
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- G—PHYSICS
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- G01J1/00—Photometry, e.g. photographic exposure meter
- G01J1/02—Details
- G01J1/04—Optical or mechanical part supplementary adjustable parts
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- G01J1/02—Details
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- G01J1/0407—Optical elements not provided otherwise, e.g. manifolds, windows, holograms, gratings
- G01J1/0414—Optical elements not provided otherwise, e.g. manifolds, windows, holograms, gratings using plane or convex mirrors, parallel phase plates, or plane beam-splitters
-
- G—PHYSICS
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- G01J2001/0481—Preset integrating sphere or cavity
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- Physics & Mathematics (AREA)
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- Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
- Laser Beam Processing (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、レーザビームの強度を検出するレーザエネ
ルギー検出装置に関するものである。
ルギー検出装置に関するものである。
従来、この種のレーザエネルギー検出装置としては、例
えばこの出願発明の出願人が先に提案した特願昭５８−
１６０６５６号（昭和５８年９月１日出願）の「レーザ
出力制御装置」があった。
えばこの出願発明の出願人が先に提案した特願昭５８−
１６０６５６号（昭和５８年９月１日出願）の「レーザ
出力制御装置」があった。
すなわち、上記従来例のレーザ出力側＠装置は、レーザ
媒質を励起することによりレーザ光をイ０るレーザ装置
において、このレーザ光の一部を取り出す手段と、この
手段により取り出されたレーザ光を均一に減光されたレ
ーザ光とする積分球と、この積分球からのレーザ光の出
力を高速度で検出するレーザ光検出器を備え、所定のレ
ーザ光の出力指令値と上記レーザ光検出器の出力とを比
軟し、上記レーザ媒質の励起強度を制御するようにして
成る構成を有し、これによりレーザ光の出力を高速度で
応答制御できるようにしたものである。
媒質を励起することによりレーザ光をイ０るレーザ装置
において、このレーザ光の一部を取り出す手段と、この
手段により取り出されたレーザ光を均一に減光されたレ
ーザ光とする積分球と、この積分球からのレーザ光の出
力を高速度で検出するレーザ光検出器を備え、所定のレ
ーザ光の出力指令値と上記レーザ光検出器の出力とを比
軟し、上記レーザ媒質の励起強度を制御するようにして
成る構成を有し、これによりレーザ光の出力を高速度で
応答制御できるようにしたものである。
上記のような従来のレーザ出力節制御装詮においては、
レーザ光を均一に減光されたレーザ光とする積分球は、
その、λ分球へ入射するレーザ光、すなわち入射するレ
ーザビームのエネルギーラスべて積分球、レーザ光検出
器等にて消費してしまうために、レーザビームの途中で
光軸を変えずにそのレーザビームの強度を検出すること
ができなかった。また、積分球Ｅこ高出力のレーザビー
ムを入力すると、積分球の表面温度が上昇してレーザビ
ームの強度の検出値に誤差が出るなどの問題点があった
。
レーザ光を均一に減光されたレーザ光とする積分球は、
その、λ分球へ入射するレーザ光、すなわち入射するレ
ーザビームのエネルギーラスべて積分球、レーザ光検出
器等にて消費してしまうために、レーザビームの途中で
光軸を変えずにそのレーザビームの強度を検出すること
ができなかった。また、積分球Ｅこ高出力のレーザビー
ムを入力すると、積分球の表面温度が上昇してレーザビ
ームの強度の検出値に誤差が出るなどの問題点があった
。
この発明は、かかる問題点を解決するためになされたも
ので、単に積分球中にレーザビームを通過させることｆ
こよって、容易に、かつ確実にレーザビームのエネルギ
ーを検出できるレーザエネルギー検出裏穴を得ることを
目的とする。
ので、単に積分球中にレーザビームを通過させることｆ
こよって、容易に、かつ確実にレーザビームのエネルギ
ーを検出できるレーザエネルギー検出裏穴を得ることを
目的とする。
〔問題点を解決するための手段〕
この発明に係るレーザエネルギー検出装置は、レーザビ
ームを入力ポートと出力ポートを有する積分球中に１遇
させ、モータにより回転され、かつレーザビームを横切
るチョッパにより構成されるレーザビーム散乱器により
レーザビームの一部を積分球内に反射させ、レーザ・次
出器によりレーザビームのエネルギーを検出するよう４
こしたものである。
ームを入力ポートと出力ポートを有する積分球中に１遇
させ、モータにより回転され、かつレーザビームを横切
るチョッパにより構成されるレーザビーム散乱器により
レーザビームの一部を積分球内に反射させ、レーザ・次
出器によりレーザビームのエネルギーを検出するよう４
こしたものである。
この発明のレーザエネルギー検出装置においては、レー
ザビームを入力ポートと出力ポートを有する積分球中に
通過させると共に、モータにより回転され、かつレーザ
ビームを横切るチョッパにより構成されるレーザビーム
危乱器によりレーザビームの一部を積分球内に反射させ
るごとによって、レーザビームのエネルギーを容易に、
かつ確実に検出することができる。
ザビームを入力ポートと出力ポートを有する積分球中に
通過させると共に、モータにより回転され、かつレーザ
ビームを横切るチョッパにより構成されるレーザビーム
危乱器によりレーザビームの一部を積分球内に反射させ
るごとによって、レーザビームのエネルギーを容易に、
かつ確実に検出することができる。
Ｗ、１−はこの発明の一実施例であるレーザエネルギー
検出装置における積分球の＠作を説明するための図であ
る。図に示すように積分球１は入力ポート２と出力ポー
ト３を有し、レーザビーム４を入力ポート２と出力、ｔ
？−）３間を通過さ−せる。
検出装置における積分球の＠作を説明するための図であ
る。図に示すように積分球１は入力ポート２と出力ポー
ト３を有し、レーザビーム４を入力ポート２と出力、ｔ
？−）３間を通過さ−せる。
出力ポート３には、モータ８により回転され、かつレー
ザビーム４を横切るチョッパ７により構成されるレーザ
ビーム散乱器５を取り付けてあり、このレーザビーム散
乱ａ５のチョッパ７ヲモー９８により高速回転すること
によりレーザビーム４の一部を周期的に積分球１内に反
射させる。次いで、レーザビーム散乱器５Ｉこより反射
されたレーザビーム４を積分球１の内面で乱反射させ、
レーザビーム４のエネルギーを均一化させる。レーザ検
出器６は積分球１に堰り付けてあり、このレーザ検出器
６は上記均一化されたレーザビーム４のエネルギーを検
出する。
ザビーム４を横切るチョッパ７により構成されるレーザ
ビーム散乱器５を取り付けてあり、このレーザビーム散
乱ａ５のチョッパ７ヲモー９８により高速回転すること
によりレーザビーム４の一部を周期的に積分球１内に反
射させる。次いで、レーザビーム散乱器５Ｉこより反射
されたレーザビーム４を積分球１の内面で乱反射させ、
レーザビーム４のエネルギーを均一化させる。レーザ検
出器６は積分球１に堰り付けてあり、このレーザ検出器
６は上記均一化されたレーザビーム４のエネルギーを検
出する。
第２因ｆａｔ及びｌｂｌは、第１図のレーザエネルギー
検出装置におけるレーザビーム散乱器の動作を説明する
ための図、及びレーザビーム散乱器の構成例を示す斜視
図である。第２図（ａ）ｔこおいて、チョッパ７はレー
ザビーム４に対して高反射材、例えば銅、白金、銀、金
、モリブデン、タングステンなど、又はこれらの材料を
メツキした細い房材で形成される。上記のようなレーザ
ビーム散乱器５では、第２因ｆａｔ ｊこ示すようにチ
ョッパ７にレーザビーム４が当った部分から反射がなさ
れる。チョッパ７の幅はレーザビーム４の直径ｌこ比べ
て十分に細いものを使用すれば、レーザビーム４のモー
ドを悪くすることは無い。一般の炭酸ガス（ＣＯ２＞レ
ーザ発振器におけるレーザビーム４の直径は約１５〜３
０Ｔｒｍであるから、チョッパ７の幅は上記値の１／１
０以下の約０２〜２ ｔａｘ ４度が艮い。第２図１ｂ
）にはレーザビーム散乱５５のチョッパ７を円盤の一部
で構成した一例が示されている。
検出装置におけるレーザビーム散乱器の動作を説明する
ための図、及びレーザビーム散乱器の構成例を示す斜視
図である。第２図（ａ）ｔこおいて、チョッパ７はレー
ザビーム４に対して高反射材、例えば銅、白金、銀、金
、モリブデン、タングステンなど、又はこれらの材料を
メツキした細い房材で形成される。上記のようなレーザ
ビーム散乱器５では、第２因ｆａｔ ｊこ示すようにチ
ョッパ７にレーザビーム４が当った部分から反射がなさ
れる。チョッパ７の幅はレーザビーム４の直径ｌこ比べ
て十分に細いものを使用すれば、レーザビーム４のモー
ドを悪くすることは無い。一般の炭酸ガス（ＣＯ２＞レ
ーザ発振器におけるレーザビーム４の直径は約１５〜３
０Ｔｒｍであるから、チョッパ７の幅は上記値の１／１
０以下の約０２〜２ ｔａｘ ４度が艮い。第２図１ｂ
）にはレーザビーム散乱５５のチョッパ７を円盤の一部
で構成した一例が示されている。
従って、上述したようｌここの発明によるレーザエネル
ギー検出装置は、特にレーザ加工裟１４のレーザ出力の
検出に応用した場合に、検出したレーザ出力をフィード
バック制御することによりレーザビームの強度を安定に
することができ、これにより高精度のレーザビームが行
われ得る。
ギー検出装置は、特にレーザ加工裟１４のレーザ出力の
検出に応用した場合に、検出したレーザ出力をフィード
バック制御することによりレーザビームの強度を安定に
することができ、これにより高精度のレーザビームが行
われ得る。
この発明は以上説明したとおり、レーザエネルギー検出
装置において、レーザビームを入力ポートと出力ポート
を有する積分球中に通過させ、モ−夕により回転され、
かつレーザビームを横切る千目ツバにより構成されるレ
ーザビーム散乱器によりレーザビームの一部を積分球内
に反射させ、レーザ検出器によりレーザビームのエネル
ギーを検出するようにしたので、単に７債分球中にレー
ザビームを通過させることによって、容易に、かつ確実
にレーザビームのエネルギーを検出できるレーザエネル
ギー検出装置が得られるという優れた効果を奏するもの
である。
装置において、レーザビームを入力ポートと出力ポート
を有する積分球中に通過させ、モ−夕により回転され、
かつレーザビームを横切る千目ツバにより構成されるレ
ーザビーム散乱器によりレーザビームの一部を積分球内
に反射させ、レーザ検出器によりレーザビームのエネル
ギーを検出するようにしたので、単に７債分球中にレー
ザビームを通過させることによって、容易に、かつ確実
にレーザビームのエネルギーを検出できるレーザエネル
ギー検出装置が得られるという優れた効果を奏するもの
である。
第１図はこの発明の一実施例であるレーザエネルギー検
出装置における積分球の動作を説明するための図、第２
図ｉａｌ及び（ｂｌは、第１図のレーザエネルギー検出
装喧におけるレーザビーム散乱器の動作を説明するため
の図、及びレーザビーム散乱器の構成例を示す斜視図で
ある。 図において、１・・・積分球、２・・・入力ｚ−）、３
・・・出力ポート、４・・・レーザビーム、５・・・レ
ーザビーム散乱器、６・・・レーザ検出器、７・・・チ
ｌツバ、８・・・モータである。 なお、各図中、同一符号は同一、又は相轟部分は示す。
出装置における積分球の動作を説明するための図、第２
図ｉａｌ及び（ｂｌは、第１図のレーザエネルギー検出
装喧におけるレーザビーム散乱器の動作を説明するため
の図、及びレーザビーム散乱器の構成例を示す斜視図で
ある。 図において、１・・・積分球、２・・・入力ｚ−）、３
・・・出力ポート、４・・・レーザビーム、５・・・レ
ーザビーム散乱器、６・・・レーザ検出器、７・・・チ
ｌツバ、８・・・モータである。 なお、各図中、同一符号は同一、又は相轟部分は示す。
Claims (2)
- （１）レーザ発振器の出力するレーザビームのエネルギ
ーの一部を取り出し、そのレーザビームの強度を検出す
るレーザエネルギー検出装置において、前記レーザビー
ムを通過させる入力ポートと出力ポートを有する積分球
と、モータにより回転され、かつ前記レーザビームを横
切るチョッパにより構成されるレーザビーム散乱器と、
このレーザビーム散乱器及び前記積分球により反射され
て均一化されたレーザビームのエネルギーを検出するレ
ーザ検出器を備えることを特徴とするレーザエネルギー
検出装置。 - （２）前記レーザビーム散乱器のチョッパは、前記レー
ザビームの高反射材で形成されることを特徴とする特許
請求の範囲第１項記載のレーザエネルギー検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61246711A JPS63100335A (ja) | 1986-10-17 | 1986-10-17 | レ−ザエネルギ−検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61246711A JPS63100335A (ja) | 1986-10-17 | 1986-10-17 | レ−ザエネルギ−検出装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63100335A true JPS63100335A (ja) | 1988-05-02 |
Family
ID=17152504
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61246711A Pending JPS63100335A (ja) | 1986-10-17 | 1986-10-17 | レ−ザエネルギ−検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63100335A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7946640B2 (en) | 2005-12-15 | 2011-05-24 | Komatsu Ltd. | Instrument panel, module, and vehicle |
| WO2015110868A1 (en) | 2014-01-24 | 2015-07-30 | Tubitak (Turkiye Bilimsel Ve Teknolojik Arastirma Kurumu) | Fiber coupled integrating sphere based-laser energy meter |
| JP2019215167A (ja) * | 2018-06-11 | 2019-12-19 | 日亜化学工業株式会社 | 発光装置の測定装置及び発光装置の測定方法 |
-
1986
- 1986-10-17 JP JP61246711A patent/JPS63100335A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7946640B2 (en) | 2005-12-15 | 2011-05-24 | Komatsu Ltd. | Instrument panel, module, and vehicle |
| WO2015110868A1 (en) | 2014-01-24 | 2015-07-30 | Tubitak (Turkiye Bilimsel Ve Teknolojik Arastirma Kurumu) | Fiber coupled integrating sphere based-laser energy meter |
| US9874482B2 (en) | 2014-01-24 | 2018-01-23 | Tubitak (Turkiye Bilimsel Ve Teknolojik Arastirma Kurumu) | Fiber coupled integrating sphere based-laser energy meter and calibration system (FCIS based—LEMCS) traceable to primary level standards |
| JP2019215167A (ja) * | 2018-06-11 | 2019-12-19 | 日亜化学工業株式会社 | 発光装置の測定装置及び発光装置の測定方法 |
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