JPS6310050U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6310050U JPS6310050U JP10212286U JP10212286U JPS6310050U JP S6310050 U JPS6310050 U JP S6310050U JP 10212286 U JP10212286 U JP 10212286U JP 10212286 U JP10212286 U JP 10212286U JP S6310050 U JPS6310050 U JP S6310050U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- workpiece
- reciprocates
- drive device
- polishing
- pedestal
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000005498 polishing Methods 0.000 claims description 8
- NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N novaluron Chemical compound C1=C(Cl)C(OC(F)(F)C(OC(F)(F)F)F)=CC=C1NC(=O)NC(=O)C1=C(F)C=CC=C1F NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
Description
第１図は本考案による表面研磨装置の作動機構
を示す概念図、第２図は第１図に示す表面研磨装
置における研磨面上の研磨軌跡の例を示した説明
図、第３図は従来の表面研磨装置の断面図、第４
図は第３図に示すものにおける研磨面に発生する
研磨傷を示した図である。 図面中、２１は球状ころ、２２は架台、２３は
アルミニウム板、２４は第１のシリンダ装置、２
５は回転ピン、２６は駆動桿、２７はヒンジ、２
８ａ，２８ｂ，２８ｃ，２８ｄは第２のシリンダ
装置、２９ａ，２９ｂ，２９ｃ，２９ｄは駆動桿
、３０ａ，３０ｂ，３０ｃ，３０ｄはころである
。
を示す概念図、第２図は第１図に示す表面研磨装
置における研磨面上の研磨軌跡の例を示した説明
図、第３図は従来の表面研磨装置の断面図、第４
図は第３図に示すものにおける研磨面に発生する
研磨傷を示した図である。 図面中、２１は球状ころ、２２は架台、２３は
アルミニウム板、２４は第１のシリンダ装置、２
５は回転ピン、２６は駆動桿、２７はヒンジ、２
８ａ，２８ｂ，２８ｃ，２８ｄは第２のシリンダ
装置、２９ａ，２９ｂ，２９ｃ，２９ｄは駆動桿
、３０ａ，３０ｂ，３０ｃ，３０ｄはころである
。
Claims (1)
- 被処理物に所定の圧力で弾性的に押圧される研
磨体と、前記被処理物が取り付けられ且つ前記研
磨体に対して第１の方向とこの第１の方向に交差
する第２の方向とに移動自在である架台と、第１
の方向に上記被処理物を往復駆動する第１の駆動
装置と、第２の方向に上記被処理物を往復駆動す
る第２の駆動装置とからなることを特徴とする表
面研磨装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10212286U JPS6310050U (ja) | 1986-07-04 | 1986-07-04 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10212286U JPS6310050U (ja) | 1986-07-04 | 1986-07-04 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6310050U true JPS6310050U (ja) | 1988-01-22 |
Family
ID=30973480
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10212286U Pending JPS6310050U (ja) | 1986-07-04 | 1986-07-04 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6310050U (ja) |
-
1986
- 1986-07-04 JP JP10212286U patent/JPS6310050U/ja active Pending