JPS6310094A - レ−ザ加工機 - Google Patents

レ−ザ加工機

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JPS6310094A
JPS6310094A JP61151562A JP15156286A JPS6310094A JP S6310094 A JPS6310094 A JP S6310094A JP 61151562 A JP61151562 A JP 61151562A JP 15156286 A JP15156286 A JP 15156286A JP S6310094 A JPS6310094 A JP S6310094A
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JP
Japan
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duct
sheet
head
section
laser beam
Prior art date
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Application number
JP61151562A
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English (en)
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JPH0536157B2 (ja
Inventor
Tsutomu Kitagawa
勉 北川
Shigeru Adachi
茂 安達
Katsumi Morikawa
克己 森川
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明はレーザ加工機、例えば、被加工物を固定し、
レーザ光を走査して加工するレーザ加工機に関するもの
である。
〔従来の技術〕
第ダ図は、例えば、特開昭3? −/20)93号公報
に示された従来のミラー移動式レーザ加工機の一例を示
すものである。
図において、符号(1)はレーザ発振器(図示せず)に
固定され、レーザ光(λ)の光路に取υ付げられている
固定管、(3)は固定管(1)K接続して光軸方向に伸
縮可能なジャバラ、(りはジャバラ(3)の表面に開口
している空気抜穴、(5)はジャバラ(3)に接続され
ているとともにヘッド駆動装置(A) Icよって移動
可能に構成されているミラーボックス、(り)はレーザ
光(コ)を折シ曲げるためのミラー、(r)はミラー(
り)を支持固定しているミラーホルダ、(9)は折シ曲
げられたレーザ光(=)をレンズ(/θ)にて集光させ
、ノズル(//)のノズル孔(lX)へ導くためのヘッ
ド部である。
次に上記レーザ加工機の動作について説明する。
図示されていない発振器よシ出たレーザ光(コ)は固定
管(1)、ジャバラ(3)、ミラーボックス(り)を通
シ、ミラー(7)によシ、折シ曲げられて、ヘッド部(
9)に導かれ、レンズ(/θ)にて集光され、ノズル(
/l)、ノズル孔(/コ)を経て、被加工物(図示せず
)上に照射され、ミラーボックス(5)を光軸方向に高
速に移動することによシ、加工を行なう。
〔発明が解決しようとする問題点〕
従来のレーザ加工機は、上記のように構成されており、
従って、ミラー(コ)を含むミラーボックス(j)を空
気中で高速で移動させるために、次のような問題点が生
ずる。
第ダ図において点線で示すように、ミラーボックス(り
をレーザ加工のために高速で矢印(A)方向へ移動させ
る。
この移動によって、ジャバラ(3)内の容積が急激に変
化するので、外気が空気孔(りからジャバラ(3)内に
流入する。その際、空中に浮遊するごみ、はこり、ある
いは、オイルミスト等(以下浮遊物と称す)が、流入す
る空気とともに空気孔(り)を通って矢印(B)で示す
方向に気流を生じて入シ込み、ミラー(7)およびレン
ズ(10)の表面に付着し、更に、その上からレーザ(
コ)の照射を受けると、焼付を起こす。このように焼付
を生じたミラー(り)およびレンズ(10)は、全体的
な反射の低下又は反射率のむらを生じ、被加工物上での
レーザパワーの低下および集光特性を損じさせるという
問題点を有している。
この発明は、上記のような問題点を解決するためKなさ
れたもので、ミラーおよびレンズ表面への浮遊物の付着
を防止し、ひいては、レーザ光のパワー低下および集光
特性を損じせずに、安定した加工が行なえるレーザ加工
機を得ることを目的とする。
〔問題点を解決するための手段〕
この発明に係るレーザ加工機は、レーザ光を被加工物に
向けて照射するレーザ光照射のためのノヘッド部を駆動
するヘッド駆動装置とを備えているレーザ加工機におい
て、両端がそれぞれ上記固定管端部および固定部に固定
されているとともに両端方向に巻取シ自在であシ、かつ
、中間部において上記ヘッド部を保持しているシートを
有し、上記固定管に接続するとともに上記シートの両側
が気密に摺動するように構成されて光伝送部を密閉状態
に保持するダクトを備えているものである。
〔作用〕
この発明に係るレーザ加工機の光伝送部は、そのミラー
ボックスの移動部分がシートとシートを開口部に設けた
ダクトとによって囲まれて密閉されているために、外気
中の浮遊物の侵入はなく、また、ヘッド部の移動に伴う
光伝送部の体積変化もなく、外気のダクト内への流入も
生じない。
〔実施例〕
以下、この発明をその一実施例を示す第1図〜第3図に
基づいて説明する。
なお、固定管(1)、レーザ光(コ)、ヘッド駆動装置
(6)、ミラー(7)、ミラーホルダ(t)、ヘッド部
(り)、レンズ(10)、ノズル(//)およびノズル
孔(lコ)は、いずれも、従来装置におけろものと同等
のものである。
図において、符号(コl)はダクトであって、その一部
にヘッド部(り)が移動するための開口(コ2)が設け
られておシ、このダクト(コl)内にはミラーボックス
(23)が設置されている。(λlりは両端がシート巻
取部(コJ−)K取シ付けられていて、両端いずれの方
向にも巻取り自在のシート例えば金属シートであシ、(
コロ)はベアリング(コア)によシ保持された巻取ロー
ラ(xr)にカップリング(29)を介して連結されて
いるモータ、(7o)はダクト(コl)を密閉に保持す
るためのワイパー、(71)はワイパー押え板、(7ユ
)オ6よび(33)はそれぞれワイパー押え板をダクト
(コ/)に固定するためのボルトおよびナツトである。
次に上記実施例の動作について説明する。
上記のように構成されているこの発明のレーザ加工機に
おいて、ヘッド部(テ)がヘッド駆動装置(ル)によっ
て、第1図において右方向に駆動されると、ヘッド部(
9)と連結されているシート(XII)の右端側にある
シート巻取部(コよ)のモータ(コロ)を右回転させて
、巻取シローラ(−j)Kシート(コダ)を巻き取って
行く。
また、同時に、シート(コ4I)の左端側にあるシート
巻取部(ユ3)のモータ(コロ)をヘッド駆動装置(6
)の速度に追従した速度によって左回転させ、巻取シロ
ーラ(2j)よシシート(21I)を送シ出して行く。
その際、シート<2’l’lとダクト(2/)との摺動
面は、ワイパー(30)VCより押さえ付けられておシ
、従って、ダク) (2/)内は密閉状態を保持する。
また、ヘッド部(デ)と連結されているミラーボックス
(λ?)、ミラー(り)およびミラーホルダ(f)は、
ダクト内に設置されているために、ヘッド部(テ)の移
動によっても、ダクト(λ/)内の容積変化は全く生ぜ
ず、従って、ヘッド部(ワ)の移動によるダクト(コl
)内外間の気流は生じない。
なお、上記実施例では、シー) (2’l)の巻取りを
モータ(−6)で行なったが、スプリングの張力によシ
、シー) (240を巻き取るようにしてもよい。すな
わち、ヘッド駆動装置(6)の速度に追従して、シート
(XII)を、たるむことなく、スムーズに移動させる
ことのできる手段なら、何でも良い。
また、上記実施例では、ヘッド部(9)の移動に対して
説明したが、レーザビームを移動させる部分なら、上記
実施例と同様の効果を奏する。
更に、ダク) <2/)内の、よシ一層の清浄化のため
に、ダクト内にチッ素ガス又はドライエア等のレーザビ
ームの伝送に影響しない気体を封入しても良い。
〔発明の効果〕
以上のように、この発明によれば、ヘッド部に取シ付け
たシートを移動可能とするとともに、このシートをダク
トの開口に気密に摺動可能としたので、光路が密閉され
、かつ、光路内の容積変化が無くなシ、従って、ダクト
内外間の気流も発生せず、その結果、外気中の浮遊物の
侵入を防止し、レーザ光のパワーの低下、および、集光
特性を損じさせることもないレーザ加工機が得られる効
果を有している。
【図面の簡単な説明】
第1図はこの発明の一実施例を示す一部断面図、第2図
は第1図のト]線による断面図、第3図は第一図のm−
m線による断面図、第グ図は従来のレーザ加工機を示す
一部断面図である。 図において、(1)・・固定管、(2)・・v−ザ光、
(デ)・・ヘッド部、(ll)・・ノズル、(ν)・・
ダクト、(22)・・ミラーボックス、(2tI)・・
シート、(コr)・・シート巻取部。 なお、各図中、同一符号は同−又は相当部分を示す。 11 ・ ノス゛ル 21:夕゛クト 23 vト不一りス 24;1ミ1.−ト 25  :  5−トSi音p

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)レーザ光を被加工物に向けて照射するレーザ光照
    射のためのノズルを有するヘッド部と、少なくとも一部
    が固定管に覆われてレーザ光を照射ノズルに導く光伝送
    部と、ヘッド部を駆動するヘッド駆動装置とを備えてい
    るレーザ加工機において、両端がそれぞれ上記固定管端
    部および固定部に固定されているとともに両端方向に巻
    取り自在であり、かつ、中間部において上記ヘッド部を
    保持しているシートを有し、上記固定管に接続するとと
    もに上記シートの両側が気密に摺動するように構成され
    て光伝送部を密閉状態に保持するダクトを備えているこ
    とを特徴とするレーザ加工機。
  2. (2)シートが金属材料からなる特許請求の範囲第1項
    記載のレーザ加工機。
  3. (3)シートの両端方向への巻取りが、モーターおよび
    スプリングのいずれかによる巻取りである特許請求の範
    囲第1項又は第2項記載のレーザ加工機。
JP61151562A 1986-06-30 1986-06-30 レ−ザ加工機 Granted JPS6310094A (ja)

Priority Applications (1)

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JP61151562A JPS6310094A (ja) 1986-06-30 1986-06-30 レ−ザ加工機

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JP61151562A JPS6310094A (ja) 1986-06-30 1986-06-30 レ−ザ加工機

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Publication Number Publication Date
JPS6310094A true JPS6310094A (ja) 1988-01-16
JPH0536157B2 JPH0536157B2 (ja) 1993-05-28

Family

ID=15521243

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JP61151562A Granted JPS6310094A (ja) 1986-06-30 1986-06-30 レ−ザ加工機

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005297029A (ja) * 2004-04-14 2005-10-27 Yamazaki Mazak Corp レーザ加工機

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS59206804A (ja) * 1983-05-10 1984-11-22 Mitsubishi Electric Corp レ−ザビ−ム伝送路
JPS60170814A (ja) * 1984-02-16 1985-09-04 Toshiba Corp ダクト

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS59206804A (ja) * 1983-05-10 1984-11-22 Mitsubishi Electric Corp レ−ザビ−ム伝送路
JPS60170814A (ja) * 1984-02-16 1985-09-04 Toshiba Corp ダクト

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005297029A (ja) * 2004-04-14 2005-10-27 Yamazaki Mazak Corp レーザ加工機

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JPH0536157B2 (ja) 1993-05-28

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