JPS6310094A - Laser beam machine - Google Patents

Laser beam machine

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JPS6310094A
JPS6310094A JP61151562A JP15156286A JPS6310094A JP S6310094 A JPS6310094 A JP S6310094A JP 61151562 A JP61151562 A JP 61151562A JP 15156286 A JP15156286 A JP 15156286A JP S6310094 A JPS6310094 A JP S6310094A
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JP
Japan
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duct
sheet
head
section
laser beam
Prior art date
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JP61151562A
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Japanese (ja)
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JPH0536157B2 (en
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Tsutomu Kitagawa
勉 北川
Shigeru Adachi
茂 安達
Katsumi Morikawa
克己 森川
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Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
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Publication date
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  • Laser Beam Processing (AREA)

Abstract

PURPOSE:To stabilize a laser beam machining by providing the sheet holding a head part and freely winding in both end directions and arranging the duct to hold a light transmission part in a close state as well. CONSTITUTION:The sheet 24 to which a head part 9 is linked is arranged freely winding in the right and left both end directions and the opening port 22 for moving the head 9 is provided on a duct 21. In this case the sliding face of the sheet 24 and duct 21 is pressed via a wiper and the inside of the duct 21 can be held in a sealed state. When the head part 9 is driven via a driving device 6, the winding parts 25 of both ends of the sheet 24 perform the winding and delivery and a mirror box 23 moves inside the duct 21. At this time owing to no same flow being caused in and outside of the duct 21 with the movement of the head 9, the immersion of a floating body is prevented and the reduction in the power is prevented. Consequently the laser beam machining is stabilized.

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明はレーザ加工機、例えば、被加工物を固定し、
レーザ光を走査して加工するレーザ加工機に関するもの
である。
[Detailed Description of the Invention] [Industrial Application Field] The present invention relates to a laser processing machine, for example, a workpiece is fixed,
The present invention relates to a laser processing machine that performs processing by scanning laser light.

〔従来の技術〕[Conventional technology]

第ダ図は、例えば、特開昭3? −/20)93号公報
に示された従来のミラー移動式レーザ加工機の一例を示
すものである。
Figure 1 is, for example, JP-A No. 3? -/20) This is an example of a conventional mirror moving type laser processing machine disclosed in Publication No. 93.

図において、符号(1)はレーザ発振器(図示せず)に
固定され、レーザ光(λ)の光路に取υ付げられている
固定管、(3)は固定管(1)K接続して光軸方向に伸
縮可能なジャバラ、(りはジャバラ(3)の表面に開口
している空気抜穴、(5)はジャバラ(3)に接続され
ているとともにヘッド駆動装置(A) Icよって移動
可能に構成されているミラーボックス、(り)はレーザ
光(コ)を折シ曲げるためのミラー、(r)はミラー(
り)を支持固定しているミラーホルダ、(9)は折シ曲
げられたレーザ光(=)をレンズ(/θ)にて集光させ
、ノズル(//)のノズル孔(lX)へ導くためのヘッ
ド部である。
In the figure, symbol (1) is a fixed tube fixed to a laser oscillator (not shown) and attached to the optical path of the laser beam (λ), and (3) is a fixed tube connected to (1) K. A bellows that can be expanded and contracted in the direction of the optical axis; (5) is an air vent hole opened on the surface of the bellows (3); (5) is connected to the bellows (3) and is moved by the head driving device (A) Ic. (r) is a mirror for bending the laser beam (c), and (r) is a mirror box that can be configured to
The mirror holder (9) supports and fixes the bent laser beam (=) with a lens (/θ) and guides it to the nozzle hole (lX) of the nozzle (//). This is the head part for.

次に上記レーザ加工機の動作について説明する。Next, the operation of the laser processing machine will be explained.

図示されていない発振器よシ出たレーザ光(コ)は固定
管(1)、ジャバラ(3)、ミラーボックス(り)を通
シ、ミラー(7)によシ、折シ曲げられて、ヘッド部(
9)に導かれ、レンズ(/θ)にて集光され、ノズル(
/l)、ノズル孔(/コ)を経て、被加工物(図示せず
)上に照射され、ミラーボックス(5)を光軸方向に高
速に移動することによシ、加工を行なう。
A laser beam (C) emitted from an oscillator (not shown) passes through a fixed tube (1), a bellows (3), a mirror box (RI), a mirror (7), and is bent. Department (
9), is focused by a lens (/θ), and is sent to a nozzle (
/l), the workpiece (not shown) is irradiated through the nozzle hole (/l), and processing is performed by moving the mirror box (5) at high speed in the optical axis direction.

〔発明が解決しようとする問題点〕[Problem that the invention seeks to solve]

従来のレーザ加工機は、上記のように構成されており、
従って、ミラー(コ)を含むミラーボックス(j)を空
気中で高速で移動させるために、次のような問題点が生
ずる。
A conventional laser processing machine is configured as described above.
Therefore, in order to move the mirror box (j) containing the mirror (c) at high speed in the air, the following problems arise.

第ダ図において点線で示すように、ミラーボックス(り
をレーザ加工のために高速で矢印(A)方向へ移動させ
る。
As shown by the dotted line in Figure 2, the mirror box is moved at high speed in the direction of arrow (A) for laser processing.

この移動によって、ジャバラ(3)内の容積が急激に変
化するので、外気が空気孔(りからジャバラ(3)内に
流入する。その際、空中に浮遊するごみ、はこり、ある
いは、オイルミスト等(以下浮遊物と称す)が、流入す
る空気とともに空気孔(り)を通って矢印(B)で示す
方向に気流を生じて入シ込み、ミラー(7)およびレン
ズ(10)の表面に付着し、更に、その上からレーザ(
コ)の照射を受けると、焼付を起こす。このように焼付
を生じたミラー(り)およびレンズ(10)は、全体的
な反射の低下又は反射率のむらを生じ、被加工物上での
レーザパワーの低下および集光特性を損じさせるという
問題点を有している。
Due to this movement, the volume inside the bellows (3) changes rapidly, so outside air flows into the bellows (3) from the air hole. etc. (hereinafter referred to as floating objects) enter the mirror (7) and lens (10) surface through the air hole (ri) with the incoming air, creating an air current in the direction shown by the arrow (B). The laser (
If exposed to irradiation (e), it will cause burn-in. The mirror (ri) and lens (10) that have been burnt in this way cause problems such as a decrease in overall reflection or unevenness in reflectance, resulting in a decrease in laser power on the workpiece and loss of light focusing characteristics. It has points.

この発明は、上記のような問題点を解決するためKなさ
れたもので、ミラーおよびレンズ表面への浮遊物の付着
を防止し、ひいては、レーザ光のパワー低下および集光
特性を損じせずに、安定した加工が行なえるレーザ加工
機を得ることを目的とする。
This invention was made to solve the above-mentioned problems, and prevents floating objects from adhering to the surfaces of mirrors and lenses. The purpose of this invention is to obtain a laser processing machine that can perform stable processing.

〔問題点を解決するための手段〕[Means for solving problems]

この発明に係るレーザ加工機は、レーザ光を被加工物に
向けて照射するレーザ光照射のためのノヘッド部を駆動
するヘッド駆動装置とを備えているレーザ加工機におい
て、両端がそれぞれ上記固定管端部および固定部に固定
されているとともに両端方向に巻取シ自在であシ、かつ
、中間部において上記ヘッド部を保持しているシートを
有し、上記固定管に接続するとともに上記シートの両側
が気密に摺動するように構成されて光伝送部を密閉状態
に保持するダクトを備えているものである。
A laser processing machine according to the present invention includes a head driving device for driving a head section for irradiating a laser beam toward a workpiece, wherein both ends of the laser beam are connected to the fixed tubes, respectively. It has a sheet that is fixed to the end portion and the fixed portion and can be wound up in the direction of both ends, and that holds the head portion in the middle portion, and is connected to the fixed tube and the sheet It is equipped with a duct configured such that both sides slide airtightly to maintain the optical transmission section in a sealed state.

〔作用〕[Effect]

この発明に係るレーザ加工機の光伝送部は、そのミラー
ボックスの移動部分がシートとシートを開口部に設けた
ダクトとによって囲まれて密閉されているために、外気
中の浮遊物の侵入はなく、また、ヘッド部の移動に伴う
光伝送部の体積変化もなく、外気のダクト内への流入も
生じない。
In the optical transmission section of the laser processing machine according to the present invention, the movable part of the mirror box is surrounded and sealed by the sheet and the duct provided in the opening of the sheet, so that floating objects in the outside air cannot enter. Furthermore, there is no change in the volume of the light transmission section due to movement of the head section, and no outside air flows into the duct.

〔実施例〕〔Example〕

以下、この発明をその一実施例を示す第1図〜第3図に
基づいて説明する。
Hereinafter, this invention will be explained based on FIGS. 1 to 3 showing one embodiment thereof.

なお、固定管(1)、レーザ光(コ)、ヘッド駆動装置
(6)、ミラー(7)、ミラーホルダ(t)、ヘッド部
(り)、レンズ(10)、ノズル(//)およびノズル
孔(lコ)は、いずれも、従来装置におけろものと同等
のものである。
In addition, fixed tube (1), laser beam (co), head drive device (6), mirror (7), mirror holder (t), head part (ri), lens (10), nozzle (//), and nozzle All of the holes are the same as those in the conventional device.

図において、符号(コl)はダクトであって、その一部
にヘッド部(り)が移動するための開口(コ2)が設け
られておシ、このダクト(コl)内にはミラーボックス
(23)が設置されている。(λlりは両端がシート巻
取部(コJ−)K取シ付けられていて、両端いずれの方
向にも巻取り自在のシート例えば金属シートであシ、(
コロ)はベアリング(コア)によシ保持された巻取ロー
ラ(xr)にカップリング(29)を介して連結されて
いるモータ、(7o)はダクト(コl)を密閉に保持す
るためのワイパー、(71)はワイパー押え板、(7ユ
)オ6よび(33)はそれぞれワイパー押え板をダクト
(コ/)に固定するためのボルトおよびナツトである。
In the figure, the reference numeral (1) is a duct, a part of which is provided with an opening (2) through which the head part (2) moves, and inside this duct (1) there is a mirror. A box (23) is installed. (The λl type has a sheet winding section (K) at both ends, and the sheet can be wound up in either direction, such as a metal sheet.
(7o) is a motor connected to a take-up roller (xr) held by a bearing (core) via a coupling (29), and (7o) is a motor for keeping the duct (coll) airtight. The wiper, (71) is a wiper holding plate, and (7), O6 and (33) are bolts and nuts for fixing the wiper holding plate to the duct, respectively.

次に上記実施例の動作について説明する。Next, the operation of the above embodiment will be explained.

上記のように構成されているこの発明のレーザ加工機に
おいて、ヘッド部(テ)がヘッド駆動装置(ル)によっ
て、第1図において右方向に駆動されると、ヘッド部(
9)と連結されているシート(XII)の右端側にある
シート巻取部(コよ)のモータ(コロ)を右回転させて
、巻取シローラ(−j)Kシート(コダ)を巻き取って
行く。
In the laser processing machine of the present invention configured as described above, when the head portion (TE) is driven rightward in FIG. 1 by the head drive device (LE), the head portion (
9) Rotate the motor (roller) of the sheet winding unit (coyo) on the right end side of the sheet (XII) connected to clockwise to wind up the K sheet (coda) on the winding sheet roller (-j). Go.

また、同時に、シート(コ4I)の左端側にあるシート
巻取部(ユ3)のモータ(コロ)をヘッド駆動装置(6
)の速度に追従した速度によって左回転させ、巻取シロ
ーラ(2j)よシシート(21I)を送シ出して行く。
At the same time, the motor (roller) of the sheet winding unit (Y3) on the left end side of the sheet (Y4I) is
) is rotated counterclockwise at a speed that follows the speed of the winding roller (2j) to feed the sheet (21I).

その際、シート<2’l’lとダクト(2/)との摺動
面は、ワイパー(30)VCより押さえ付けられておシ
、従って、ダク) (2/)内は密閉状態を保持する。
At this time, the sliding surface between the sheet <2'l'l and the duct (2/) is pressed down by the wiper (30) VC, and therefore the inside of the duct (2/) remains sealed. do.

また、ヘッド部(デ)と連結されているミラーボックス
(λ?)、ミラー(り)およびミラーホルダ(f)は、
ダクト内に設置されているために、ヘッド部(テ)の移
動によっても、ダクト(λ/)内の容積変化は全く生ぜ
ず、従って、ヘッド部(ワ)の移動によるダクト(コl
)内外間の気流は生じない。
In addition, the mirror box (λ?), mirror (ri), and mirror holder (f) connected to the head part (d) are
Since it is installed inside the duct, the volume inside the duct (λ/) does not change at all even when the head section (TE) moves.
) No airflow occurs between the inside and outside.

なお、上記実施例では、シー) (2’l)の巻取りを
モータ(−6)で行なったが、スプリングの張力によシ
、シー) (240を巻き取るようにしてもよい。すな
わち、ヘッド駆動装置(6)の速度に追従して、シート
(XII)を、たるむことなく、スムーズに移動させる
ことのできる手段なら、何でも良い。
In the above embodiment, the motor (-6) was used to wind up the sea) (2'l), but the winding of the sea) (2'l) may also be done by the tension of a spring. That is, Any means that can follow the speed of the head drive device (6) and move the sheet (XII) smoothly without sagging may be used.

また、上記実施例では、ヘッド部(9)の移動に対して
説明したが、レーザビームを移動させる部分なら、上記
実施例と同様の効果を奏する。
Further, in the above embodiment, explanation has been given regarding the movement of the head portion (9), but the same effects as in the above embodiment can be achieved if the portion moves the laser beam.

更に、ダク) <2/)内の、よシ一層の清浄化のため
に、ダクト内にチッ素ガス又はドライエア等のレーザビ
ームの伝送に影響しない気体を封入しても良い。
Furthermore, in order to further clean the inside of the duct, a gas that does not affect the transmission of the laser beam, such as nitrogen gas or dry air, may be filled in the duct.

〔発明の効果〕〔Effect of the invention〕

以上のように、この発明によれば、ヘッド部に取シ付け
たシートを移動可能とするとともに、このシートをダク
トの開口に気密に摺動可能としたので、光路が密閉され
、かつ、光路内の容積変化が無くなシ、従って、ダクト
内外間の気流も発生せず、その結果、外気中の浮遊物の
侵入を防止し、レーザ光のパワーの低下、および、集光
特性を損じさせることもないレーザ加工機が得られる効
果を有している。
As described above, according to the present invention, the sheet attached to the head part is movable, and this sheet can be slid airtight into the opening of the duct, so that the optical path is sealed and the optical path is There is no change in the volume inside the duct, and therefore no airflow occurs between the inside and outside of the duct, which prevents floating objects from entering the outside air, which reduces the power of the laser beam and impairs the focusing characteristics. This has the effect of providing a laser processing machine that is easy to use.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図はこの発明の一実施例を示す一部断面図、第2図
は第1図のト]線による断面図、第3図は第一図のm−
m線による断面図、第グ図は従来のレーザ加工機を示す
一部断面図である。 図において、(1)・・固定管、(2)・・v−ザ光、
(デ)・・ヘッド部、(ll)・・ノズル、(ν)・・
ダクト、(22)・・ミラーボックス、(2tI)・・
シート、(コr)・・シート巻取部。 なお、各図中、同一符号は同−又は相当部分を示す。 11 ・ ノス゛ル 21:夕゛クト 23 vト不一りス 24;1ミ1.−ト 25  :  5−トSi音p
FIG. 1 is a partial cross-sectional view showing an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a cross-sectional view taken along line T in FIG. 1, and FIG.
A cross-sectional view taken along the m-line and a partial cross-sectional view showing a conventional laser processing machine. In the figure, (1)...fixed tube, (2)...v-the light,
(d)...Head part, (ll)...Nozzle, (ν)...
Duct, (22)...Mirror box, (2tI)...
Sheet, (cor)... Sheet winding section. In each figure, the same reference numerals indicate the same or corresponding parts. 11 ・ No. 21: Event 23 Vt. No. 24; 1 Mi 1. -G25: 5-G Si sound p

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)レーザ光を被加工物に向けて照射するレーザ光照
射のためのノズルを有するヘッド部と、少なくとも一部
が固定管に覆われてレーザ光を照射ノズルに導く光伝送
部と、ヘッド部を駆動するヘッド駆動装置とを備えてい
るレーザ加工機において、両端がそれぞれ上記固定管端
部および固定部に固定されているとともに両端方向に巻
取り自在であり、かつ、中間部において上記ヘッド部を
保持しているシートを有し、上記固定管に接続するとと
もに上記シートの両側が気密に摺動するように構成され
て光伝送部を密閉状態に保持するダクトを備えているこ
とを特徴とするレーザ加工機。
(1) A head section having a nozzle for irradiating laser light toward a workpiece, a light transmission section at least partially covered with a fixed tube and guiding the laser light to the irradiation nozzle, and a head section. In a laser beam processing machine equipped with a head drive device that drives the head section, both ends are fixed to the fixed tube end section and the fixed section, respectively, and can be wound in both ends directions, and the head drive device drives the head section in the intermediate section. and a duct that is connected to the fixed pipe and configured such that both sides of the sheet slide airtightly to maintain the optical transmission section in a sealed state. Laser processing machine.
(2)シートが金属材料からなる特許請求の範囲第1項
記載のレーザ加工機。
(2) The laser processing machine according to claim 1, wherein the sheet is made of a metal material.
(3)シートの両端方向への巻取りが、モーターおよび
スプリングのいずれかによる巻取りである特許請求の範
囲第1項又は第2項記載のレーザ加工機。
(3) The laser processing machine according to claim 1 or 2, wherein the sheet is wound in the direction of both ends by either a motor or a spring.
JP61151562A 1986-06-30 1986-06-30 Laser beam machine Granted JPS6310094A (en)

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JPS6310094A true JPS6310094A (en) 1988-01-16
JPH0536157B2 JPH0536157B2 (en) 1993-05-28

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005297029A (en) * 2004-04-14 2005-10-27 Yamazaki Mazak Corp Laser beam machine

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS59206804A (en) * 1983-05-10 1984-11-22 Mitsubishi Electric Corp Laser beam transmission line
JPS60170814A (en) * 1984-02-16 1985-09-04 Toshiba Corp Duct

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS59206804A (en) * 1983-05-10 1984-11-22 Mitsubishi Electric Corp Laser beam transmission line
JPS60170814A (en) * 1984-02-16 1985-09-04 Toshiba Corp Duct

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005297029A (en) * 2004-04-14 2005-10-27 Yamazaki Mazak Corp Laser beam machine

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