JPS63102757U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS63102757U JPS63102757U JP19514786U JP19514786U JPS63102757U JP S63102757 U JPS63102757 U JP S63102757U JP 19514786 U JP19514786 U JP 19514786U JP 19514786 U JP19514786 U JP 19514786U JP S63102757 U JPS63102757 U JP S63102757U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- current
- pvd
- thyristor
- flash
- electrodes
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000011084 recovery Methods 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 241000219793 Trifolium Species 0.000 description 1
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Power Conversion In General (AREA)
Description
第１図はこの考案の一実施例の構成を示す回路
図、第２図はＰＶＤ装置のバイアス回路の既提案
例を示す回路図、第３図は第１図および第２図の
各部の波形図である。 １……交流電源、２……限流インピーダンス素
子、３……全波整流器、３Ｅ，３Ｆ……サイリス
タ、４……クローバサイリスタ、６……ＰＶＤ装
置、６Ａ，６Ｂ……バイアス電圧端子、７……塞
流インピーダンス素子、８……主点弧回路、１１
……副点弧回路、１２……リアクトル、１３……
抵抗器、１４……ダンパ用ダイオード。
図、第２図はＰＶＤ装置のバイアス回路の既提案
例を示す回路図、第３図は第１図および第２図の
各部の波形図である。 １……交流電源、２……限流インピーダンス素
子、３……全波整流器、３Ｅ，３Ｆ……サイリス
タ、４……クローバサイリスタ、６……ＰＶＤ装
置、６Ａ，６Ｂ……バイアス電圧端子、７……塞
流インピーダンス素子、８……主点弧回路、１１
……副点弧回路、１２……リアクトル、１３……
抵抗器、１４……ダンパ用ダイオード。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 交流電源にランプからなる限流インピーダンス
素子および少なくとも隣接する２辺の構成要素を
サイリスタとしたブリツジ型の全波整流器を直列
に介してクローバサイリスタを接続し、このクロ
ーバサイリスタの両端を寒流インピーダンス素子
を介してＰＶＤ装置の一対のバイアス電圧端子に
接続し、前記ＰＶＤ装置の電極間閃絡を検出して
前記クローバサイリスタにパルス状の点弧電流を
加える主点弧回路を設けるとともに、前記ＰＶＤ
装置の電極間閃絡を検出して前記サイリスタへの
点弧電流の供給を遮断し前記ＰＶＤ装置の電極間
閃絡の回復後復旧させる副点弧回路を設けたＰＶ
Ｄ装置のバイアス回路において、 前記限流インピーダンス素子と並列にリアクト
ルおよび抵抗器の直列回路を接続し、前記リアク
トルと並列にダンパ用ダイオードを接続したこと
を特徴とするＰＶＤ装置のバイアス回路。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19514786U JPS63102757U (ja) | 1986-12-18 | 1986-12-18 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19514786U JPS63102757U (ja) | 1986-12-18 | 1986-12-18 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63102757U true JPS63102757U (ja) | 1988-07-04 |
Family
ID=31152770
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19514786U Pending JPS63102757U (ja) | 1986-12-18 | 1986-12-18 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63102757U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03191056A (ja) * | 1989-12-19 | 1991-08-21 | Mitsubishi Electric Corp | 薄膜形成装置 |
-
1986
- 1986-12-18 JP JP19514786U patent/JPS63102757U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03191056A (ja) * | 1989-12-19 | 1991-08-21 | Mitsubishi Electric Corp | 薄膜形成装置 |
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