JPS6310773B2 - - Google Patents
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- JPS6310773B2 JPS6310773B2 JP12964080A JP12964080A JPS6310773B2 JP S6310773 B2 JPS6310773 B2 JP S6310773B2 JP 12964080 A JP12964080 A JP 12964080A JP 12964080 A JP12964080 A JP 12964080A JP S6310773 B2 JPS6310773 B2 JP S6310773B2
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- 230000005684 electric field Effects 0.000 claims description 13
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 3
- 238000012806 monitoring device Methods 0.000 description 10
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 8
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- 239000011521 glass Substances 0.000 description 3
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 3
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 2
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L11/00—Measuring steady or quasi-steady pressure of a fluid or a fluent solid material by means not provided for in group G01L7/00 or G01L9/00
- G01L11/02—Measuring steady or quasi-steady pressure of a fluid or a fluent solid material by means not provided for in group G01L7/00 or G01L9/00 by optical means
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Arrangements For Transmission Of Measured Signals (AREA)
- Examining Or Testing Airtightness (AREA)
- High-Tension Arc-Extinguishing Switches Without Spraying Means (AREA)
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は真空電気機器の真空度監視装置に関す
るものである。
るものである。
一般に、真空しや断器、真空管、Ｘ線管等の真
空電気機器は、真空容器内の真空度の良否によつ
てその能力が大きく左右される。ために、真空容
器内の真空度を監視することが必要とされ、従
来、種々の真空度監視装置が案出されているが、
いずれも絶縁、大きさ、コストや安全面等におい
て問題があり実用的でなかつた。
空電気機器は、真空容器内の真空度の良否によつ
てその能力が大きく左右される。ために、真空容
器内の真空度を監視することが必要とされ、従
来、種々の真空度監視装置が案出されているが、
いずれも絶縁、大きさ、コストや安全面等におい
て問題があり実用的でなかつた。
本発明は上述した問題に鑑みてなされたもの
で、その目的とするところは、安全にして、かつ
真空度の良否を高精度で判定することができると
ともに、可搬自在の真空度監視装置を提供するに
ある。以下、図面を用いてこの発明の実施例を詳
細に説明する。
で、その目的とするところは、安全にして、かつ
真空度の良否を高精度で判定することができると
ともに、可搬自在の真空度監視装置を提供するに
ある。以下、図面を用いてこの発明の実施例を詳
細に説明する。
本発明に係る真空度監視装置は、通電中の真空
しや断器、真空管、Ｘ線管等の真空電気機器にお
いて、その真空容器内の真空度が変化、特に劣化
した場合、真空容器周辺の電界が変化することに
着目してなされたもので、第１図に示すように、
真空度の変化により電界が変化する真空電気機器
における真空容器の外部に着脱自在に取付けられ
る受動部１と、可搬自在に設けたモニター部２と
から構成されている。
しや断器、真空管、Ｘ線管等の真空電気機器にお
いて、その真空容器内の真空度が変化、特に劣化
した場合、真空容器周辺の電界が変化することに
着目してなされたもので、第１図に示すように、
真空度の変化により電界が変化する真空電気機器
における真空容器の外部に着脱自在に取付けられ
る受動部１と、可搬自在に設けたモニター部２と
から構成されている。
前記受動部１は、ポツケルス素子あるいはカー
素子の如く媒質の屈折率が電界に応じて変化する
効果を奏する電気光学効果素子３と、後述するモ
ニター部２の光源から電気光学効果素子３に入射
された偏光を入射方向へ反射する直角プリズムの
如きコーナ・キユーブ・プリズム４とからなるも
のであり、後述する如く絶縁支持部材や支持電極
等を介し、真空度の変化により電界が変化する真
空容器の外部に着脱自在に取付けられるものであ
る。なお、電気光学効果素子３に印加される電界
Ｅの方向は、その結晶の軸方向により光軸と平行
あるいは垂直のいずれであつてもよいものであ
り、また、コーナ・キユーブ・プリズム４（以
下、「プリズム」という）により反射される入射
光と反射光との交叉角は、プリズム４の反射面の
なす角度により決定されるもので通常10秒程度と
小さく設けられているものである。
素子の如く媒質の屈折率が電界に応じて変化する
効果を奏する電気光学効果素子３と、後述するモ
ニター部２の光源から電気光学効果素子３に入射
された偏光を入射方向へ反射する直角プリズムの
如きコーナ・キユーブ・プリズム４とからなるも
のであり、後述する如く絶縁支持部材や支持電極
等を介し、真空度の変化により電界が変化する真
空容器の外部に着脱自在に取付けられるものであ
る。なお、電気光学効果素子３に印加される電界
Ｅの方向は、その結晶の軸方向により光軸と平行
あるいは垂直のいずれであつてもよいものであ
り、また、コーナ・キユーブ・プリズム４（以
下、「プリズム」という）により反射される入射
光と反射光との交叉角は、プリズム４の反射面の
なす角度により決定されるもので通常10秒程度と
小さく設けられているものである。
前記モニター部２は、受動部１に偏光を放射す
るとともに、受動部１から反射された偏光を受光
し、かつこの受光した偏光の強度に応じて真空度
の良否を判定するもので、ビーム光を出力する光
源５と、光源５から放射された光を水平方向又は
垂直方向に直線偏光する偏光子６と、前記受動部
１により反射された偏光子６からの偏光を検出す
るための検光子７と、検光子７を透過した偏光の
強度、すなわち単位時間当りのエネルギー量に対
応して電気信号を出す光−電気変換部８と、光−
電気変換部８からの電気信号に対応して真空度の
良否を判定する判定部９とからなり、図示しない
ケーシングに収納されて可搬自在に設けられてい
る。
るとともに、受動部１から反射された偏光を受光
し、かつこの受光した偏光の強度に応じて真空度
の良否を判定するもので、ビーム光を出力する光
源５と、光源５から放射された光を水平方向又は
垂直方向に直線偏光する偏光子６と、前記受動部
１により反射された偏光子６からの偏光を検出す
るための検光子７と、検光子７を透過した偏光の
強度、すなわち単位時間当りのエネルギー量に対
応して電気信号を出す光−電気変換部８と、光−
電気変換部８からの電気信号に対応して真空度の
良否を判定する判定部９とからなり、図示しない
ケーシングに収納されて可搬自在に設けられてい
る。
なお、光源５としては、レーザー又は発光ダイ
オードが用いられ、発光ダイオードを用いる場合
には、出力光が分散するのを防止するためにレン
ズ系を使用してビーム化する必要があり、また直
線偏光されたレーザーを光源５として使用する場
合には、偏光子６が不要となるものである。ま
た、検光子７の偏光面は、この実施例においては
偏光子６の偏光面に対して互いに直角となるよう
に設けられているものであるが、互いに平行とな
るように設けてもよいものである。さらに、判定
部９に、この判定部９からの出力信号により真空
度の良否を表示するランプの如き表示器１０ある
いは警報を発するブザーの如き警報器１１を接続
することにより、真空度の良否等の監視を一層明
確にすることができるものである。
オードが用いられ、発光ダイオードを用いる場合
には、出力光が分散するのを防止するためにレン
ズ系を使用してビーム化する必要があり、また直
線偏光されたレーザーを光源５として使用する場
合には、偏光子６が不要となるものである。ま
た、検光子７の偏光面は、この実施例においては
偏光子６の偏光面に対して互いに直角となるよう
に設けられているものであるが、互いに平行とな
るように設けてもよいものである。さらに、判定
部９に、この判定部９からの出力信号により真空
度の良否を表示するランプの如き表示器１０ある
いは警報を発するブザーの如き警報器１１を接続
することにより、真空度の良否等の監視を一層明
確にすることができるものである。
以上の構成からなる真空度監視装置により、真
空電気機器の１例である真空しや断器１２の真空
度を監視する場合の作用について説明する。
空電気機器の１例である真空しや断器１２の真空
度を監視する場合の作用について説明する。
まず、真空しや断器１２は、第２図に示すよう
に、円筒状に成形された無機絶縁物からなる複数
の絶縁筒１３，１３を、それぞれの両端に植設し
た封着金具１４，１４，………により同軸的に気
密に連結するとともに、その両端を円板状の金属
端板１５，１５により気密に閉塞し、かつ内部を
高真空に排気して真空容器１６を形成し、この真
空容器１６内に対をなす固定、可動電極１７，１
８を、各金属端板１５の中央部から相対的に接近
離反自在に導入した固定、可動電極棒１９，２０
を介して接触離反自在に設けて構成されている。
なお、第２図において２１は円筒状のシールド
で、固定、可動電極１７，１８等を同心状に囲繞
するが如くして真空容器１６に収納されるととも
に、絶縁筒１３を連結する封着金具１４によりそ
の中間部付近を支持されているものであり、また
２２は可動電極棒２０を真空容器１６に対してそ
の気密を保持しつつ移動自在に導入するためのベ
ローズである。そして、真空しや断器１２は、観
測用ガラス窓２３を有する接地されたタンク２４
に収納されている。
に、円筒状に成形された無機絶縁物からなる複数
の絶縁筒１３，１３を、それぞれの両端に植設し
た封着金具１４，１４，………により同軸的に気
密に連結するとともに、その両端を円板状の金属
端板１５，１５により気密に閉塞し、かつ内部を
高真空に排気して真空容器１６を形成し、この真
空容器１６内に対をなす固定、可動電極１７，１
８を、各金属端板１５の中央部から相対的に接近
離反自在に導入した固定、可動電極棒１９，２０
を介して接触離反自在に設けて構成されている。
なお、第２図において２１は円筒状のシールド
で、固定、可動電極１７，１８等を同心状に囲繞
するが如くして真空容器１６に収納されるととも
に、絶縁筒１３を連結する封着金具１４によりそ
の中間部付近を支持されているものであり、また
２２は可動電極棒２０を真空容器１６に対してそ
の気密を保持しつつ移動自在に導入するためのベ
ローズである。そして、真空しや断器１２は、観
測用ガラス窓２３を有する接地されたタンク２４
に収納されている。
上述した如く構成された真空しや断器に対し、
真空度監視装置の受動部１を、真空度による電界
の変化が大きい部位、たとえば真空容器１６にお
ける絶縁筒１３，１３を連結する封着金具１４の
外部に、絶縁物からなる固定用部材２５を介し固
定支持する。なお、真空しや断器１２に対する受
動部１の取付けは、上述した如く常設する場合に
限らず、定期的にあるいは不定期的に取付けるよ
うにしてもよいものであり、また受動部１の電気
光学効果素子３の結晶軸は、真空しや断器１２に
よる電界Ｅの方向（第２図において左右方向）と
平行あるいは直角になるように取付けられている
ものである。ついで、モニター部２を地上側に設
置し、その光源５から放射されたビーム光を偏光
子６により直線偏光するとともに、ガラス窓２３
を透過せしめて受動部１の電気光学効果素子３に
入射せしめる。電気光学効果素子３に入射された
偏光は、真空度の変化に応じて変化する電界Ｅに
よりその偏光面角度が変化されてプリズム４に入
射されるとともに、入射方向へ反射される。な
お、プリズム４の反射面のなす角度は、入射光と
反射光との交叉角θが約10秒程度となるように設
けられているものである。
真空度監視装置の受動部１を、真空度による電界
の変化が大きい部位、たとえば真空容器１６にお
ける絶縁筒１３，１３を連結する封着金具１４の
外部に、絶縁物からなる固定用部材２５を介し固
定支持する。なお、真空しや断器１２に対する受
動部１の取付けは、上述した如く常設する場合に
限らず、定期的にあるいは不定期的に取付けるよ
うにしてもよいものであり、また受動部１の電気
光学効果素子３の結晶軸は、真空しや断器１２に
よる電界Ｅの方向（第２図において左右方向）と
平行あるいは直角になるように取付けられている
ものである。ついで、モニター部２を地上側に設
置し、その光源５から放射されたビーム光を偏光
子６により直線偏光するとともに、ガラス窓２３
を透過せしめて受動部１の電気光学効果素子３に
入射せしめる。電気光学効果素子３に入射された
偏光は、真空度の変化に応じて変化する電界Ｅに
よりその偏光面角度が変化されてプリズム４に入
射されるとともに、入射方向へ反射される。な
お、プリズム４の反射面のなす角度は、入射光と
反射光との交叉角θが約10秒程度となるように設
けられているものである。
プリズム４により反射された偏光は、電気光学
効果素子３により再び偏光面角度を変化されると
ともにガラス窓２３を透過し、モニター部２の検
光子７に入射される。検光子７に入射された偏光
は、検光子７の偏光面が偏光子６の偏光面と平行
な場合には、真空度の変化、特に劣化によりこれ
を透過する偏光の強度が小さくなつて光−電気変
換部８に入射され、光−電気変換部８における電
気信号が微弱となる。そして、微弱な電気信号が
判定部９に入力されることによつて真空度不良の
判定がなされるとともに、表示器１０あるいは警
報器１１により不良表示あるいは警報が発せられ
る。なお、偏光子６と検光子１１の偏光面が互い
に直角である場合には、上述した場合と逆に強力
な電気信号が光−電気変換部８から出力されるも
のであり、また、電界の変化がない場合、換言す
ると真空度が良好な場合には、電気光学効果素子
３に偏光の偏向面角度は変化せず、したがつて光
−電気変換部８から出力される電気信号に変化を
生じないものである。
効果素子３により再び偏光面角度を変化されると
ともにガラス窓２３を透過し、モニター部２の検
光子７に入射される。検光子７に入射された偏光
は、検光子７の偏光面が偏光子６の偏光面と平行
な場合には、真空度の変化、特に劣化によりこれ
を透過する偏光の強度が小さくなつて光−電気変
換部８に入射され、光−電気変換部８における電
気信号が微弱となる。そして、微弱な電気信号が
判定部９に入力されることによつて真空度不良の
判定がなされるとともに、表示器１０あるいは警
報器１１により不良表示あるいは警報が発せられ
る。なお、偏光子６と検光子１１の偏光面が互い
に直角である場合には、上述した場合と逆に強力
な電気信号が光−電気変換部８から出力されるも
のであり、また、電界の変化がない場合、換言す
ると真空度が良好な場合には、電気光学効果素子
３に偏光の偏向面角度は変化せず、したがつて光
−電気変換部８から出力される電気信号に変化を
生じないものである。
また、真空しや断器に対する受動部１の取付け
部位は、上述した実施例に限定されるものではな
く、たとえば第３図に示すように、接列接続した
複数のコンデンサー２６からなる分圧コンデンサ
ーを固定、可動電極棒１９，２０と並列接続し、
その適宜コンデンサー２６の一端と接続した電極
２７の一端を、受動部１の電気光学効果素子３に
おける一面と接触せしめるとともに、コンデンサ
ー２６の他端と接続したもう一方の電極２８を前
記一面と対向する他面と接触せしめることによつ
て受動部１を固定支持して取付けるようにしても
よいものである。なお、電気光学効果素子３にお
ける一面と接触した電極２７の他端は、絶縁筒１
３を連結する封着金具１４と適宜に接続されてい
るものであり、また、受動部１の固定支持を兼ね
る各電極２７，２８は、適宜コンデンサー２６に
対して直列接続してもよいものである。
部位は、上述した実施例に限定されるものではな
く、たとえば第３図に示すように、接列接続した
複数のコンデンサー２６からなる分圧コンデンサ
ーを固定、可動電極棒１９，２０と並列接続し、
その適宜コンデンサー２６の一端と接続した電極
２７の一端を、受動部１の電気光学効果素子３に
おける一面と接触せしめるとともに、コンデンサ
ー２６の他端と接続したもう一方の電極２８を前
記一面と対向する他面と接触せしめることによつ
て受動部１を固定支持して取付けるようにしても
よいものである。なお、電気光学効果素子３にお
ける一面と接触した電極２７の他端は、絶縁筒１
３を連結する封着金具１４と適宜に接続されてい
るものであり、また、受動部１の固定支持を兼ね
る各電極２７，２８は、適宜コンデンサー２６に
対して直列接続してもよいものである。
なお、上述した作用説明は、真空しや断器１２
の真空度を監視する場合について例示したが、こ
の真空度監視装置は、真空管やＸ線管等の真空電
気機器の真空度を監視することができるのは勿論
である。
の真空度を監視する場合について例示したが、こ
の真空度監視装置は、真空管やＸ線管等の真空電
気機器の真空度を監視することができるのは勿論
である。
以上の如く本発明は、電気光学効果素子とこの
電気光学効果素子に入射された光を入射方向へ反
射するためのプリズムとからなり真空度の変化に
より電界が変化する真空容器の外部に着脱自在に
設けられる受動部と、前記受動部に直線偏光され
た光を放射する光源と受動部から反射された偏光
を検出するための検光子と検光子を透過した光の
強度に応じて電気信号を出す光−電気変換部およ
び光−電気変換部からの電気信号に応じて真空度
の良否を判定する判定部からなり可搬自在に設け
られたモニター部とにより構成したものであるか
ら、高電圧となる真空電気機器から電気的に絶縁
される位置においてその真空度の監視を安全に行
うことができる。また、真空度の判定は、真空電
気機器に電界が印加されておれば、開閉器におけ
る接点が閉極あるいは開極されていても行なうこ
とができる。さらに、受動部は、電気的絶縁物に
より構成されるので、真空電気機器の性能に何等
の影響を与えることがないとともに、受動部は、
電気的耐ノイズ性に優れ、かつインピーダンス小
さく電界等を乱さないので、真空度監視装置その
ものを高性能なものとすることができる等の効果
を奏する。
電気光学効果素子に入射された光を入射方向へ反
射するためのプリズムとからなり真空度の変化に
より電界が変化する真空容器の外部に着脱自在に
設けられる受動部と、前記受動部に直線偏光され
た光を放射する光源と受動部から反射された偏光
を検出するための検光子と検光子を透過した光の
強度に応じて電気信号を出す光−電気変換部およ
び光−電気変換部からの電気信号に応じて真空度
の良否を判定する判定部からなり可搬自在に設け
られたモニター部とにより構成したものであるか
ら、高電圧となる真空電気機器から電気的に絶縁
される位置においてその真空度の監視を安全に行
うことができる。また、真空度の判定は、真空電
気機器に電界が印加されておれば、開閉器におけ
る接点が閉極あるいは開極されていても行なうこ
とができる。さらに、受動部は、電気的絶縁物に
より構成されるので、真空電気機器の性能に何等
の影響を与えることがないとともに、受動部は、
電気的耐ノイズ性に優れ、かつインピーダンス小
さく電界等を乱さないので、真空度監視装置その
ものを高性能なものとすることができる等の効果
を奏する。
第１図は本発明に係る真空度監視装置の概略構
成説明図、第２図、第３図はそれぞれ本発明に係
る真空度監視装置の作用説明図である。 １……受動部、２……モニター部、３……電気
光学効果素子、４……プリズム、５……光源、７
……検光子、８……光−電気変換部、９……判定
部、１６……真空容器。
成説明図、第２図、第３図はそれぞれ本発明に係
る真空度監視装置の作用説明図である。 １……受動部、２……モニター部、３……電気
光学効果素子、４……プリズム、５……光源、７
……検光子、８……光−電気変換部、９……判定
部、１６……真空容器。
Claims (1)
- １ 電気光学効果素子とこの電気光学効果素子に
入射された光を入射方向へ反射するためのプリズ
ムとからなり真空度の変化により電界が変化する
真空容器の外部に着脱自在に設けられる受動部
と、前記受動部に直線偏光された光を放射する光
源と受動部から反射された偏光を検出するための
検光子と検光子を透過した光の強度に応じて電気
信号を出す光−電気変換部および光−電気変換部
からの電気信号に応じて真空度の良否を判定する
判定部からなり可搬自在に設けられたモニター部
とにより構成したことを特徴とする真空電気機器
の真空度監視装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12964080A JPS5753637A (en) | 1980-09-18 | 1980-09-18 | Monitoring device for vacuum degree of vacuum electric apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12964080A JPS5753637A (en) | 1980-09-18 | 1980-09-18 | Monitoring device for vacuum degree of vacuum electric apparatus |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5753637A JPS5753637A (en) | 1982-03-30 |
| JPS6310773B2 true JPS6310773B2 (ja) | 1988-03-09 |
Family
ID=15014497
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12964080A Granted JPS5753637A (en) | 1980-09-18 | 1980-09-18 | Monitoring device for vacuum degree of vacuum electric apparatus |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5753637A (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58192199A (ja) * | 1982-05-04 | 1983-11-09 | 日立機電工業株式会社 | 計量デ−タの遠方監視装置 |
-
1980
- 1980-09-18 JP JP12964080A patent/JPS5753637A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5753637A (en) | 1982-03-30 |
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