JPS63113331A - 圧力センサ - Google Patents
圧力センサInfo
- Publication number
- JPS63113331A JPS63113331A JP25859886A JP25859886A JPS63113331A JP S63113331 A JPS63113331 A JP S63113331A JP 25859886 A JP25859886 A JP 25859886A JP 25859886 A JP25859886 A JP 25859886A JP S63113331 A JPS63113331 A JP S63113331A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pressure
- pressure sensor
- buffer
- detection chamber
- semiconductor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
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Landscapes
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は半導体拡散抵抗のピエゾ抵抗効果を利用して圧
力を電気信号に変換する半導体圧力センサに関する。
力を電気信号に変換する半導体圧力センサに関する。
従来の技術
半導体圧力センサは、周知の如くに、シリコンチップに
拡散抵抗体が埋必込まれているものであるが、その受圧
部は非常に薄く形成されており、これに加えてシリコン
は超弾性体であるので、受圧部に加わる圧力が成る範囲
を越えると突然破壊に至る。
拡散抵抗体が埋必込まれているものであるが、その受圧
部は非常に薄く形成されており、これに加えてシリコン
は超弾性体であるので、受圧部に加わる圧力が成る範囲
を越えると突然破壊に至る。
そこで、従来においては、オリフィスの原理を利用して
脈動防止効果を持たせるようにしているが、流体が液体
の状態で配管内に満たされてしまうと、圧力のみが伝え
られてオリフィスの脈動防止効果がなくなり、脈動やサ
ージ圧が半導体圧力センサに伝わって破壊を早めている
。
脈動防止効果を持たせるようにしているが、流体が液体
の状態で配管内に満たされてしまうと、圧力のみが伝え
られてオリフィスの脈動防止効果がなくなり、脈動やサ
ージ圧が半導体圧力センサに伝わって破壊を早めている
。
発明が解決しようとする問題点
本発明は上記した点に着目して為されたものであり、圧
力検出室において緩衝体を介在させることにより、オリ
フィスを準じて圧力検出室に導入される脈動やサージ圧
を該緩衝体で吸収して圧力センサには静圧が伝わる様に
し、半導体圧力センサの耐圧力を高めることを意図する
ものである。
力検出室において緩衝体を介在させることにより、オリ
フィスを準じて圧力検出室に導入される脈動やサージ圧
を該緩衝体で吸収して圧力センサには静圧が伝わる様に
し、半導体圧力センサの耐圧力を高めることを意図する
ものである。
問題点を解決するための手段
上記の目的を達成するため、本発明においては、オリフ
ィスからの導入流体圧力を半導体圧力センサチップに伝
達するようにして成り、圧力検出室において圧力緩衝体
を設ける構成を採用した。
ィスからの導入流体圧力を半導体圧力センサチップに伝
達するようにして成り、圧力検出室において圧力緩衝体
を設ける構成を採用した。
実施例
第１図において、１は筐体であり、アルゴン溶接した蓋
体２を介して接手３が設けられている。
体２を介して接手３が設けられている。
筐体１と蓋体２間には周縁部を固定してダイヤフラム４
が設けられ、接手側に圧力検出室Ｒ８と筐体側に圧力伝
達室Ｒ２を区画する。接手３にはねじ溝を有するオリフ
ィス５が形成されて圧力検出室に連通している。
が設けられ、接手側に圧力検出室Ｒ８と筐体側に圧力伝
達室Ｒ２を区画する。接手３にはねじ溝を有するオリフ
ィス５が形成されて圧力検出室に連通している。
筐体１内には支持体６が螺合して固着され、この際に両
者間にはシールパツキン７が介在されて圧力伝達室Ｒ２
を密封する。８は半導体拡散抵抗のピエゾ抵抗効果を利
用して圧力を電気信号に変換するダイヤフラム型半導体
圧力センサチップであり、圧力伝達室Ｒ２に面して支持
体６上に固定されるものであり、９はその電極である。
者間にはシールパツキン７が介在されて圧力伝達室Ｒ２
を密封する。８は半導体拡散抵抗のピエゾ抵抗効果を利
用して圧力を電気信号に変換するダイヤフラム型半導体
圧力センサチップであり、圧力伝達室Ｒ２に面して支持
体６上に固定されるものであり、９はその電極である。
圧力伝達室Ｒ２には非圧縮性にして熱変化に対して粘度
の変らないシリコンオイル等の液体が充填される。
の変らないシリコンオイル等の液体が充填される。
圧力検出室Ｒ３には圧力緩衝体１０が設けられる。圧力
緩衝体１０は２枚のダイヤフラム１０ａ、１０ｂを重合
して外周部に空気溜りとして環状緩衝部１０Ｃを形成し
たものであり、圧力検出室Ｒ８内においてダイヤフラム
４に接触可能にして浮動し得る状態で組み込まれる。
緩衝体１０は２枚のダイヤフラム１０ａ、１０ｂを重合
して外周部に空気溜りとして環状緩衝部１０Ｃを形成し
たものであり、圧力検出室Ｒ８内においてダイヤフラム
４に接触可能にして浮動し得る状態で組み込まれる。
上記構成において、オリフィス５から圧力検出室Ｒ１に
達した流体圧力は緩衝体１０の中央の受圧面部１０ｅか
ら環状緩衝部１０ｃに達して弱められ、ダイヤフラム４
から圧力伝達室Ｒ２に伝わる。
達した流体圧力は緩衝体１０の中央の受圧面部１０ｅか
ら環状緩衝部１０ｃに達して弱められ、ダイヤフラム４
から圧力伝達室Ｒ２に伝わる。
第３図の実施例においては、支持体６′に対して圧力セ
ンサチップ８′は逆方向に取り付けられており、ダイヤ
フラムが省かれていて圧力検出室Ｒ′は圧力伝達室を兼
ねており、従って流体圧力は直ちに半導体圧力センサチ
ップ８′の裏面に達 ゛するように構成され、該圧力
検出室Ｒ′において圧力緩衝体１０′が一定範囲浮動し
得る状態で設けられている。
ンサチップ８′は逆方向に取り付けられており、ダイヤ
フラムが省かれていて圧力検出室Ｒ′は圧力伝達室を兼
ねており、従って流体圧力は直ちに半導体圧力センサチ
ップ８′の裏面に達 ゛するように構成され、該圧力
検出室Ｒ′において圧力緩衝体１０′が一定範囲浮動し
得る状態で設けられている。
緩衝体としては、その他において発泡ゴム等をコーティ
ングして外面をシールしたものを用いることが可能であ
る。
ングして外面をシールしたものを用いることが可能であ
る。
発明の効果
本発明は上記した如くに、圧力検出室において圧力緩衝
体を設けて成るものであるから、圧力脈動やサージ圧を
圧力緩衝体により効果的に吸収することができ、半導体
圧力センサチップに静圧を伝えるようにしてその破壊を
防止することができる。
体を設けて成るものであるから、圧力脈動やサージ圧を
圧力緩衝体により効果的に吸収することができ、半導体
圧力センサチップに静圧を伝えるようにしてその破壊を
防止することができる。
第１図は本発明の一実施例についての断面図、第２図は
同上の要部の拡大断面図、第３図は他の実施例について
の断面図である。 ５・・・オリフィス、訃・・半導体圧力センサチップ、
Ｒ，、Ｒ’・・・圧力検出室、１０・・・圧力緩衝体。 特許出願人 株式会社鷺宮製作所 第１図 第２図 ６” 第３図
同上の要部の拡大断面図、第３図は他の実施例について
の断面図である。 ５・・・オリフィス、訃・・半導体圧力センサチップ、
Ｒ，、Ｒ’・・・圧力検出室、１０・・・圧力緩衝体。 特許出願人 株式会社鷺宮製作所 第１図 第２図 ６” 第３図
Claims (1)
- オリフィスからの導入流体圧力を半導体圧力センサチ
ップに伝達するようにして成り、圧力検出室において圧
力緩衝体を設けて成ることを特徴とする圧力センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25859886A JPS63113331A (ja) | 1986-10-31 | 1986-10-31 | 圧力センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25859886A JPS63113331A (ja) | 1986-10-31 | 1986-10-31 | 圧力センサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63113331A true JPS63113331A (ja) | 1988-05-18 |
Family
ID=17322493
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25859886A Pending JPS63113331A (ja) | 1986-10-31 | 1986-10-31 | 圧力センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63113331A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1997033146A1 (en) * | 1996-03-07 | 1997-09-12 | Hokuriku Electric Industry Co., Ltd. | Pressure sensor module |
| JP2007121196A (ja) * | 2005-10-31 | 2007-05-17 | Denso Corp | 圧力センサ |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5410025U (ja) * | 1977-06-23 | 1979-01-23 | ||
| JPS552009A (en) * | 1978-06-21 | 1980-01-09 | Ricoh Co Ltd | Ink jet recorder of speed control and bias type |
| JPS60109692A (ja) * | 1983-11-17 | 1985-06-15 | 株式会社東芝 | 圧力緩衝器 |
-
1986
- 1986-10-31 JP JP25859886A patent/JPS63113331A/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5410025U (ja) * | 1977-06-23 | 1979-01-23 | ||
| JPS552009A (en) * | 1978-06-21 | 1980-01-09 | Ricoh Co Ltd | Ink jet recorder of speed control and bias type |
| JPS60109692A (ja) * | 1983-11-17 | 1985-06-15 | 株式会社東芝 | 圧力緩衝器 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1997033146A1 (en) * | 1996-03-07 | 1997-09-12 | Hokuriku Electric Industry Co., Ltd. | Pressure sensor module |
| JP2007121196A (ja) * | 2005-10-31 | 2007-05-17 | Denso Corp | 圧力センサ |
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