JPS6311900U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6311900U JPS6311900U JP10500986U JP10500986U JPS6311900U JP S6311900 U JPS6311900 U JP S6311900U JP 10500986 U JP10500986 U JP 10500986U JP 10500986 U JP10500986 U JP 10500986U JP S6311900 U JPS6311900 U JP S6311900U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- resist film
- resist
- solvent
- film stripping
- substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000002904 solvent Substances 0.000 claims description 6
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 6
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims 2
Landscapes
- Photosensitive Polymer And Photoresist Processing (AREA)
Description
第１図は本考案に係るレジスト膜剥離装置の一
実施例を示す斜視図、第２図は第１図におけるレ
ジスト膜剥離手段と吸引手段との配置関係を示す
側面図、第３図は第１図におけるレジスト膜剥離
手段と吸引手段との配置関係を示す平面図である
。 １……回転可能なテーブル、２……基板、５…
…溶剤吐出ノズル、６……気体吐出ノズル、７…
…レジスト膜剥離手段、８……吸引手段、９……
移動手段。
実施例を示す斜視図、第２図は第１図におけるレ
ジスト膜剥離手段と吸引手段との配置関係を示す
側面図、第３図は第１図におけるレジスト膜剥離
手段と吸引手段との配置関係を示す平面図である
。 １……回転可能なテーブル、２……基板、５…
…溶剤吐出ノズル、６……気体吐出ノズル、７…
…レジスト膜剥離手段、８……吸引手段、９……
移動手段。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) レジストを塗布した基板を載置する回転可
能なテーブルと、前記テーブル上に載置された基
板の内側から外周側へ向つて吐出するよう且つ互
に近接して配設されたレジスト用溶剤を吐出する
溶剤吐出ノズルおよび溶剤を揮散させる気体を吐
出する気体吐出ノズルを有するレジスト膜剥離手
段と、前記レジスト膜剥離手段の両吐出ノズルに
対向して配設され前記溶剤吐出ノズルから吐出し
た溶剤に溶解されたレジストおよび溶剤を含む気
体を吸引する吸引手段と、前記レジスト膜剥離手
段および吸引手段を対として前記テーブル上に載
置された基板の外周部に対して相対的に移動させ
る移動手段とを具備して成ることを特徴とするレ
ジスト膜剥離装置。 (2) 前記レジスト膜剥離手段が基板の両面にそ
れぞれ対向させて配設されていることを特徴とす
る実用新案登録請求の範囲第１項記載のレジスト
膜剥離装置。 (3) 回転可能なテーブルに載置されるレジスト
を塗布した基板が多角形であることを特徴とする
実用新案登録請求の範囲第１項または第２項記載
のレジスト膜剥離装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10500986U JPS6311900U (ja) | 1986-07-10 | 1986-07-10 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10500986U JPS6311900U (ja) | 1986-07-10 | 1986-07-10 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6311900U true JPS6311900U (ja) | 1988-01-26 |
Family
ID=30979033
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10500986U Pending JPS6311900U (ja) | 1986-07-10 | 1986-07-10 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6311900U (ja) |
-
1986
- 1986-07-10 JP JP10500986U patent/JPS6311900U/ja active Pending
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