JPS6311558U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6311558U JPS6311558U JP10588086U JP10588086U JPS6311558U JP S6311558 U JPS6311558 U JP S6311558U JP 10588086 U JP10588086 U JP 10588086U JP 10588086 U JP10588086 U JP 10588086U JP S6311558 U JPS6311558 U JP S6311558U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- container
- source device
- thin film
- evaporation source
- film forming
- Prior art date
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- Pending
Links
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 claims description 4
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 claims description 4
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims 3
- 239000000463 material Substances 0.000 claims 1
- 238000007733 ion plating Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
図面は本考案の一実施例のイオンプレーテイン
グ装置を示す図であり、第１図は平面図、第２図
は正断面図、第３図は左側の上部容器を下部容器
にセツトした状態を示す側断面図、第４図は右側
の上部容器を下部容器にセツトした状態を示す側
断面図である。 １……下部容器、２Ａ，２Ｂ……上部容器、５
……蒸発源装置、１０，１１……取付台、Ｍ……
真空容器、Ｗ……被処理物。
グ装置を示す図であり、第１図は平面図、第２図
は正断面図、第３図は左側の上部容器を下部容器
にセツトした状態を示す側断面図、第４図は右側
の上部容器を下部容器にセツトした状態を示す側
断面図である。 １……下部容器、２Ａ，２Ｂ……上部容器、５
……蒸発源装置、１０，１１……取付台、Ｍ……
真空容器、Ｗ……被処理物。
Claims (1)
- 真空容器内下部に蒸発源装置が備えられるとと
もに、同容器内上部に被処理物取付台が配置され
、蒸発源装置から発生した薄膜材料蒸気を前記取
付台にセツトされた被処理物に付着させるバツチ
式の薄膜形成装置において、真空容器を互いに気
密に連結可能な上部容器と下部容器に分割し、１
つの下部容器に対し複数の上部容器を適宜択一的
に連結できるよう設備し、下部容器には蒸発源装
置を設備するとともに、各上部容器には被処理物
取付台をそれぞれ設備したことを特徴とする薄膜
形成装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10588086U JPS6311558U (ja) | 1986-07-10 | 1986-07-10 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10588086U JPS6311558U (ja) | 1986-07-10 | 1986-07-10 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6311558U true JPS6311558U (ja) | 1988-01-26 |
Family
ID=30980726
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10588086U Pending JPS6311558U (ja) | 1986-07-10 | 1986-07-10 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6311558U (ja) |
-
1986
- 1986-07-10 JP JP10588086U patent/JPS6311558U/ja active Pending