JPS63120244A - 物体を検査する装置と信号対雑音比を高める方法 - Google Patents
物体を検査する装置と信号対雑音比を高める方法Info
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
発明の分野
この発明は全般的に物体を検査する装置と方法に関する
。更に特定して云えば、この発明は信号対雑音比を高め
且つぼけを少なくして、物体の像を発生する様な、物体
を検査する装置及び方法に関する。
。更に特定して云えば、この発明は信号対雑音比を高め
且つぼけを少なくして、物体の像を発生する様な、物体
を検査する装置及び方法に関する。
発明の背景
従来、タービン羽根の様な製造部品は、種々の欠陥やき
ずを視覚及び光学的に検査１、ていた。この検査方法は
部品の内部にあるきずを突止めることが出来ない。
ずを視覚及び光学的に検査１、ていた。この検査方法は
部品の内部にあるきずを突止めることが出来ない。
部品の内部を検査する必要に応じて、Ｘ線の様な貫通性
電磁放射を用いる種々の検査装置が開発された。こうい
う検査装置は貫通性電子放射のビームを製造部品に通し
、医学の分野で使われているのと多少似たＸ線写真法又
は断層写真法を使うことにより、部品の像を発生する。
電磁放射を用いる種々の検査装置が開発された。こうい
う検査装置は貫通性電子放射のビームを製造部品に通し
、医学の分野で使われているのと多少似たＸ線写真法又
は断層写真法を使うことにより、部品の像を発生する。
多くの用途では、複雑な形を持つ部品を極めて厳密な許
容公差に製造することが要求される。極く僅かなきずで
も許容することが出来ない。これは例えば航空機用機関
の分野で特にそうである。
容公差に製造することが要求される。極く僅かなきずで
も許容することが出来ない。これは例えば航空機用機関
の分野で特にそうである。
航空機用機関で高い性能及び燃料効率を達成する為に、
複雑な外部の形状及び内部の冷却通路を持つタービン羽
根が開発されている。羽根の寸法が、製造時に、非常に
厳密な許容公差の範囲内で達成されることが重要である
。この為、極く僅かなきずや仕様からのずれを突止める
様に、羽根を精密に検査することが必要である。医療の
分野で使われるものを基本とした検査装置は、信号対雑
音比及び像のぼけの点で不適切であることが判った。
複雑な外部の形状及び内部の冷却通路を持つタービン羽
根が開発されている。羽根の寸法が、製造時に、非常に
厳密な許容公差の範囲内で達成されることが重要である
。この為、極く僅かなきずや仕様からのずれを突止める
様に、羽根を精密に検査することが必要である。医療の
分野で使われるものを基本とした検査装置は、信号対雑
音比及び像のぼけの点で不適切であることが判った。
従って、貫通性電磁放射を利用し、信号対雑音比を高め
ると共に、ぼけが少ない被検査物体の像を発生する様な
検査装置に対する要望がある。
ると共に、ぼけが少ない被検査物体の像を発生する様な
検査装置に対する要望がある。
発明の要約
１実施例の装置は、貫通性電磁放射のビームを発生する
手段を有する。電磁エネルギのビームが、電磁エネルギ
のビーム中に保持されている、検査しようとする物体の
予定の一部分を通過する。検出手段が、物体を通過した
電磁エネルギの強度に関係する信号を発生する。装置が
、物体をビームに対して予定の速度で移動する手段、及
び検出手段からの信号の大きさを時間的に相次いで且つ
予定の速度で標本化して貯蔵する手段を持っている。
手段を有する。電磁エネルギのビームが、電磁エネルギ
のビーム中に保持されている、検査しようとする物体の
予定の一部分を通過する。検出手段が、物体を通過した
電磁エネルギの強度に関係する信号を発生する。装置が
、物体をビームに対して予定の速度で移動する手段、及
び検出手段からの信号の大きさを時間的に相次いで且つ
予定の速度で標本化して貯蔵する手段を持っている。
処理手段が標本化して貯蔵した大きさに応答して、信号
対雑音比を高めると共に、検査装置による像のぼけを少
なくする。
対雑音比を高めると共に、検査装置による像のぼけを少
なくする。
発明の詳細な説明
第１図はこの発明の物体検査装置の１例の略図である。
検査装置がコンベヤ２を持ち、これがタービン翼部又は
ベーンの様な入って来る部品４を、遮蔽されていて、通
常は完全に密閉された検査室６の内部に運ぶ。室の内部
にある部品マニピュレータが入って来る部品を治具８に
移送し、この治具が部品をしっかりと保持する（検査室
内では４′で表わす）。部品マニピュレータが室の内部
で治具をｘ、 ｙ及びＺ軸に沿って移動する。部品マ
ニピュレータは部品をｙ軸の周りに回転もさせる。
ベーンの様な入って来る部品４を、遮蔽されていて、通
常は完全に密閉された検査室６の内部に運ぶ。室の内部
にある部品マニピュレータが入って来る部品を治具８に
移送し、この治具が部品をしっかりと保持する（検査室
内では４′で表わす）。部品マニピュレータが室の内部
で治具をｘ、 ｙ及びＺ軸に沿って移動する。部品マ
ニピュレータは部品をｙ軸の周りに回転もさせる。
室の内部の検査装置が、貫通性放射エネルギ源１０を存
する。電磁エネルギ源が線１２に沿って、Ｘ線の様な好
ましくは不動で平面状の電磁エネルギのビームを発生す
る。このビームはＸ−Ｚ平面と平行な平面内にあり、既
知の強度を持っている。
する。電磁エネルギ源が線１２に沿って、Ｘ線の様な好
ましくは不動で平面状の電磁エネルギのビームを発生す
る。このビームはＸ−Ｚ平面と平行な平面内にあり、既
知の強度を持っている。
ビームが部品の薄いスライス１３を通過して、電磁エネ
ルギ検出器１６の細長い溝孔又は窓１４に向かう。この
溝孔は電磁エネルギのビームを透過する。これはＸ軸と
平行な方向に細長く、平面状ビームが溝孔を通過する様
にする。
ルギ検出器１６の細長い溝孔又は窓１４に向かう。この
溝孔は電磁エネルギのビームを透過する。これはＸ軸と
平行な方向に細長く、平面状ビームが溝孔を通過する様
にする。
エネルギ検出器は、ＸＩＩＩＩキ平行に溝にわたって１
列に配置された複数個の検出素子を持っていて、源１０
からの電磁エネルギの平面状ビームを受取ることが好ま
しい。エネルギ検出器はこの様な検出素子６４０個の１
列を持っていてよい。検出素子が、加圧電離性ガスを収
容した密封室の中に配置されている。検出素子は、溝孔
】４を横切って１列に配置された誘電体基板上に沈積し
た導電材料のス！・リップで構成されている。溝孔を通
過する電磁エネルギのビームによって加圧ガスが電離す
る時、検出素子及び誘電体基板がその時発生する電荷に
対する集電板を形成する。電圧源に接続された別の板が
集電板の近くに配置されていて、集電板とこの電圧板の
間に電位差を生ずる。この電位差により、加圧ガスの電
離によって発生された電荷が集電板」二の検出素子の方
へ移動し、そこに収集される。
列に配置された複数個の検出素子を持っていて、源１０
からの電磁エネルギの平面状ビームを受取ることが好ま
しい。エネルギ検出器はこの様な検出素子６４０個の１
列を持っていてよい。検出素子が、加圧電離性ガスを収
容した密封室の中に配置されている。検出素子は、溝孔
】４を横切って１列に配置された誘電体基板上に沈積し
た導電材料のス！・リップで構成されている。溝孔を通
過する電磁エネルギのビームによって加圧ガスが電離す
る時、検出素子及び誘電体基板がその時発生する電荷に
対する集電板を形成する。電圧源に接続された別の板が
集電板の近くに配置されていて、集電板とこの電圧板の
間に電位差を生ずる。この電位差により、加圧ガスの電
離によって発生された電荷が集電板」二の検出素子の方
へ移動し、そこに収集される。
γ１１磁エネルギのビームが通過する部品４′のスライ
ス１３が、若干の電磁エネルギを吸収又は散乱１１、残
りが検出器１Ｂへ通過出来る様にする。
ス１３が、若干の電磁エネルギを吸収又は散乱１１、残
りが検出器１Ｂへ通過出来る様にする。
スライスによって吸収されたエネルギ量が部品の措造と
、スライスの化学的な組成、スライスの厚さくＺ軸と平
行なスライスの寸法）全体にわたる化学的な組成の一様
性及びスライスの厚さを含めたスライスを構成する材料
の性質とに関係する。
、スライスの化学的な組成、スライスの厚さくＺ軸と平
行なスライスの寸法）全体にわたる化学的な組成の一様
性及びスライスの厚さを含めたスライスを構成する材料
の性質とに関係する。
各々の検出素子が、Ｘ軸に沿ったその位置で、スライス
１３を通過した電磁エネルギの量を感知する。この為、
集電板には、スライス１３を通過した電磁エネルギの量
に関係する様な、Ｘ軸位置の関数としての電荷がたまる
。入射する電磁エネルギのビームの大きさが判っている
から、集電板にたまる電荷は、Ｘ軸位置の関数として、
スライス１３によって吸収又は散乱されたエネルギ量の
表示であり、従って、Ｘ軸位置の関数として、スライス
の減衰係数の表示でもある。
１３を通過した電磁エネルギの量を感知する。この為、
集電板には、スライス１３を通過した電磁エネルギの量
に関係する様な、Ｘ軸位置の関数としての電荷がたまる
。入射する電磁エネルギのビームの大きさが判っている
から、集電板にたまる電荷は、Ｘ軸位置の関数として、
スライス１３によって吸収又は散乱されたエネルギ量の
表示であり、従って、Ｘ軸位置の関数として、スライス
の減衰係数の表示でもある。
部品（４′で示す）が検査された後、それが治具８から
部品マニピュレータによってコンベヤ１７へ移送される
。その後検査結果に従って、第１図に示す様に分類され
る。
部品マニピュレータによってコンベヤ１７へ移送される
。その後検査結果に従って、第１図に示す様に分類され
る。
コンピュータ・システム１８が次の様に、上に述べた装
置と連絡する。コンピュータ・システムが母線２０を介
して、検査室の中での部品の移動を含めた検査過程全体
を制御する様に接続されている。コンピュータ・システ
ムが母線２２を介して検出器１６から検査データを受取
る。コンピュータは２４に示す様に部品の分類をも行な
い、２６及び２８に示ず様に、検査データを持つファイ
ルと連絡し、その内容を表示する。コンピュータ・シス
テムは、３０に示す様にオペレータが入力した指示をも
受取り、３２に示す様に、システムの状態データをオペ
レータに表示する。コンピュータ・システムが像発生装
置を持っており、これはアナロジツク６４０チヤンネル
・データ収集装置で構成することが出来、それが検出素
子の出力を周期的に標本化して貯蔵する。各サンプルに
関連して、データ収集装置が、（１）各々の検出素子に
サンプル時間の間に累積した電荷量をこの電荷量に関係
する電圧に変換し、（２）各々の電圧を増幅し、（３）
各々の電圧をディジタル化して貯蔵する。コンピュータ
・システムは、ディジタル形蛍光透視法及び計算機式断
層写真法を実施する様にデータ収集装置に応答する像発
生器をも持っている。ディジタル形蛍光透視法はアナロ
ジツクＡＰ４００アレー・プロセッサによって実施する
ことが出来る。計算機式断層写真法は、断層写真法の像
の畳込み積分を行なうアナロジツクＡＰ４００アレー・
プロセッサと、逆投影を行なうアナロジツク・モジュー
ル形像プロセッサとによって実施することが出来る。上
に説明した装置は、ディジタルΦイクイップメントφコ
ーボレイションによって製造されるＶＡＸＩ １／７８
０コンピユータの形をした中央処理装置によって制御す
ることが出来る。
置と連絡する。コンピュータ・システムが母線２０を介
して、検査室の中での部品の移動を含めた検査過程全体
を制御する様に接続されている。コンピュータ・システ
ムが母線２２を介して検出器１６から検査データを受取
る。コンピュータは２４に示す様に部品の分類をも行な
い、２６及び２８に示ず様に、検査データを持つファイ
ルと連絡し、その内容を表示する。コンピュータ・シス
テムは、３０に示す様にオペレータが入力した指示をも
受取り、３２に示す様に、システムの状態データをオペ
レータに表示する。コンピュータ・システムが像発生装
置を持っており、これはアナロジツク６４０チヤンネル
・データ収集装置で構成することが出来、それが検出素
子の出力を周期的に標本化して貯蔵する。各サンプルに
関連して、データ収集装置が、（１）各々の検出素子に
サンプル時間の間に累積した電荷量をこの電荷量に関係
する電圧に変換し、（２）各々の電圧を増幅し、（３）
各々の電圧をディジタル化して貯蔵する。コンピュータ
・システムは、ディジタル形蛍光透視法及び計算機式断
層写真法を実施する様にデータ収集装置に応答する像発
生器をも持っている。ディジタル形蛍光透視法はアナロ
ジツクＡＰ４００アレー・プロセッサによって実施する
ことが出来る。計算機式断層写真法は、断層写真法の像
の畳込み積分を行なうアナロジツクＡＰ４００アレー・
プロセッサと、逆投影を行なうアナロジツク・モジュー
ル形像プロセッサとによって実施することが出来る。上
に説明した装置は、ディジタルΦイクイップメントφコ
ーボレイションによって製造されるＶＡＸＩ １／７８
０コンピユータの形をした中央処理装置によって制御す
ることが出来る。
物体検査装置の具体例が１９８６年２月２５日に出願さ
れた係属中の米国特許出願通し番号第８３２．５１１号
に記載されているｒ、電磁エネルギの検出器の具体例が
米国特許第４． ５７０． ０７１号に記載されている
。
れた係属中の米国特許出願通し番号第８３２．５１１号
に記載されているｒ、電磁エネルギの検出器の具体例が
米国特許第４． ５７０． ０７１号に記載されている
。
ディジタル形蛍光透視法では、部品マニピュレータが治
具８及び部品４′をｙ軸に沿って垂直方向に、電磁エネ
ルギのビームに対して、予定の速度、例えば３．３秒毎
に１吋の速度で移動する。
具８及び部品４′をｙ軸に沿って垂直方向に、電磁エネ
ルギのビームに対して、予定の速度、例えば３．３秒毎
に１吋の速度で移動する。
エネルギ検出器内にある全ての検出素子の出力を時間的
に相次いで、且つ予定の速度、例えば１／６０秒毎に１
つのサンプルと云う速度で、標本化して貯蔵する。各サ
ンプルは、各々の検出素子がある場所でエネルギ検出器
の溝孔を通過した電磁エネルギの強度に関係する１ｍの
データである。
に相次いで、且つ予定の速度、例えば１／６０秒毎に１
つのサンプルと云う速度で、標本化して貯蔵する。各サ
ンプルは、各々の検出素子がある場所でエネルギ検出器
の溝孔を通過した電磁エネルギの強度に関係する１ｍの
データである。
本質的には、各々のサンプル（「図」）は、部品の特定
の垂直位置及び角度方向の向きで、ｙ軸と垂直にスライ
ス１３を通る複数個の通路の減衰係数を示す部品のスナ
ップ写真である。コンピュータ・システム内の回路が複
数個の貯蔵されたサンプルを取出し、特定の角度方向の
向きに於ける部品の像を上から下まで構成する。部品を
他の方向から見る為に、他の角度方向の向きに対してこ
の過秤を繰返すことが出来る。
の垂直位置及び角度方向の向きで、ｙ軸と垂直にスライ
ス１３を通る複数個の通路の減衰係数を示す部品のスナ
ップ写真である。コンピュータ・システム内の回路が複
数個の貯蔵されたサンプルを取出し、特定の角度方向の
向きに於ける部品の像を上から下まで構成する。部品を
他の方向から見る為に、他の角度方向の向きに対してこ
の過秤を繰返すことが出来る。
計算機式断層写真法では、治具が部品をｙ軸に対して一
定の位置に保持し、部品をｙ軸の周りに一定の角速度、
例えば１″当たり約０．２７秒の角速度で回転する。部
品が完全に１回転する間、時間的に相次いで且つ予定の
速度で、検出素子の出力を標本化して貯蔵することによ
り、複数個の図を収集する。この各々の図は、検出素子
を標本化した時点で、ｙ軸と垂直にスライスを通る複数
個の通路の減衰係数を表わす、スライス１３のスナップ
写真である。コンピュータ・システム内の回路が断層写
真法に従つて、電磁エネルギのビームが通過したスライ
ス１３の像を取出す。この像は、ｙ軸と平行な方向に見
たスライスの映像である。関心のあるスライスがビーム
を遮るまで、部品をｙ軸と平行に移動し、その後上に述
べた回転及び断層写真過程を繰返すことにより、異なる
スライスの像が得られる。
定の位置に保持し、部品をｙ軸の周りに一定の角速度、
例えば１″当たり約０．２７秒の角速度で回転する。部
品が完全に１回転する間、時間的に相次いで且つ予定の
速度で、検出素子の出力を標本化して貯蔵することによ
り、複数個の図を収集する。この各々の図は、検出素子
を標本化した時点で、ｙ軸と垂直にスライスを通る複数
個の通路の減衰係数を表わす、スライス１３のスナップ
写真である。コンピュータ・システム内の回路が断層写
真法に従つて、電磁エネルギのビームが通過したスライ
ス１３の像を取出す。この像は、ｙ軸と平行な方向に見
たスライスの映像である。関心のあるスライスがビーム
を遮るまで、部品をｙ軸と平行に移動し、その後上に述
べた回転及び断層写真過程を繰返すことにより、異なる
スライスの像が得られる。
この発明は、検出素子の出力を標本化する速度に比べて
、ディジタル蛍光透視法に於ける部品の垂直方向の移動
速度及び計算機式断層写真法に於ける部品の角度方向の
移動速度を下げる。１実施例では、検出素子から求めら
れた相次ぐ複数個のサンプルを平均することにより、平
均した図を求める。検出素子から得られた複数個のサン
プルをこの様に平均することによって得られた図では、
信号対雑音比が改善され、ぼけが減少した像が構成され
ることが判った。
、ディジタル蛍光透視法に於ける部品の垂直方向の移動
速度及び計算機式断層写真法に於ける部品の角度方向の
移動速度を下げる。１実施例では、検出素子から求めら
れた相次ぐ複数個のサンプルを平均することにより、平
均した図を求める。検出素子から得られた複数個のサン
プルをこの様に平均することによって得られた図では、
信号対雑音比が改善され、ぼけが減少した像が構成され
ることが判った。
第２図はこの発明を実施するやり方を示したフローチャ
ートである。このフローチャートは前に述べたコンピュ
ータ・システムのコンピュータ・プログラム中のサブル
ーチンとして使うことが出来る。ブロック３４で、残り
のルーチンを実行するのに必要なパラメータを収集する
。例えば、平均すべきサンプルの数ＣＮ）を収集する。
ートである。このフローチャートは前に述べたコンピュ
ータ・システムのコンピュータ・プログラム中のサブル
ーチンとして使うことが出来る。ブロック３４で、残り
のルーチンを実行するのに必要なパラメータを収集する
。例えば、平均すべきサンプルの数ＣＮ）を収集する。
次に、ブロック３６で図を収集する。図を収集するには
、特定の時点で、検出器１６内にある全ての検出素子の
出力を標本化する。次にブロック３８で、平均化作用を
行なうかどうかの判定を下す。平均化を行なうべき場合
、プログラムがブロック４０へ進み、そこで今収集した
ばかりの図を表わすデータと、それまでに収集した多数
の図を表わすデータの和との加算が行なわれる。次にブ
ロック４２で、Ｎ個のサンプルを加算したかどうかを判
定する。そうなっていれば、ルーチンが、ブロック４０
で計算された和に、平均すべきサンプルの数の逆数を乗
する二とにより、ブロック４４でサンプルの平均を計算
する。ブロック４４に於ける動作によって得られたデー
タが、ブロック４６で中央処理装置へ送られる。このデ
ータは平均した図を表わしており、一連の信号で構成さ
れる。その各々の信号は、サンプルの合間の時間中に１
つの検出素子にたまった電荷の大きさをＮ個のサンプル
の期間にわたって平均した値に関係する。その後プログ
ラムは、図を構成出来る程の十分な数の平均した図が貯
蔵されたかどうかを検査する。そうであれば、プログラ
ムはブロック５０で示す様に、主プログラムに戻り、こ
の時像を構成して表示することが出来る。そうでなけれ
ば、プログラムが像を完成する為に更に多くの図を収集
する。最後に、ブロック３８で、平均化を行なうべきで
ないと云う判定が下され、プログラムがＮを１に設定し
、ブロック４４に進む。その後プログラムは、平均化を
行なわないことを別とすれば、」二に述べた様に引続い
て作用する。
、特定の時点で、検出器１６内にある全ての検出素子の
出力を標本化する。次にブロック３８で、平均化作用を
行なうかどうかの判定を下す。平均化を行なうべき場合
、プログラムがブロック４０へ進み、そこで今収集した
ばかりの図を表わすデータと、それまでに収集した多数
の図を表わすデータの和との加算が行なわれる。次にブ
ロック４２で、Ｎ個のサンプルを加算したかどうかを判
定する。そうなっていれば、ルーチンが、ブロック４０
で計算された和に、平均すべきサンプルの数の逆数を乗
する二とにより、ブロック４４でサンプルの平均を計算
する。ブロック４４に於ける動作によって得られたデー
タが、ブロック４６で中央処理装置へ送られる。このデ
ータは平均した図を表わしており、一連の信号で構成さ
れる。その各々の信号は、サンプルの合間の時間中に１
つの検出素子にたまった電荷の大きさをＮ個のサンプル
の期間にわたって平均した値に関係する。その後プログ
ラムは、図を構成出来る程の十分な数の平均した図が貯
蔵されたかどうかを検査する。そうであれば、プログラ
ムはブロック５０で示す様に、主プログラムに戻り、こ
の時像を構成して表示することが出来る。そうでなけれ
ば、プログラムが像を完成する為に更に多くの図を収集
する。最後に、ブロック３８で、平均化を行なうべきで
ないと云う判定が下され、プログラムがＮを１に設定し
、ブロック４４に進む。その後プログラムは、平均化を
行なわないことを別とすれば、」二に述べた様に引続い
て作用する。
出願人は、」一に述べた様にコンピュータ・システムに
対し、第２図のフローチャートに従って実施される実際
のコンピュータ・プログラムの例を付表１として提出す
る。勿論、この発明を実施するのに、第２図のフローチ
ャートを実施するこの他の方法も、結線回路を含めて利
用し得る。更に、この他のルーチンを実施してもよい。
対し、第２図のフローチャートに従って実施される実際
のコンピュータ・プログラムの例を付表１として提出す
る。勿論、この発明を実施するのに、第２図のフローチ
ャートを実施するこの他の方法も、結線回路を含めて利
用し得る。更に、この他のルーチンを実施してもよい。
例えば、上に述べた直接的な平均ルーチンの代りに、移
動平均、加重平均又は移動加重平均を用いてもよい。
動平均、加重平均又は移動加重平均を用いてもよい。
どの場合も、この発明により、多数のサンプルが１つの
図に処理される為に、信号対雑音比が高くなる。更に、
部品が電磁エネルギのビームの中を移動する速度が、標
本化速度に比べて低下する為に、像のぼけが減少する。
図に処理される為に、信号対雑音比が高くなる。更に、
部品が電磁エネルギのビームの中を移動する速度が、標
本化速度に比べて低下する為に、像のぼけが減少する。
付表Ｉ
ＩＩＮＴＥＲＮＡＬＬＹｏＥｔＩＨｔＤＣＬＯＩＩＩｋ
Ｌｌ！Ｉ！ＤＩＹＭｌｌＯＬｉ＋ＩＩＧＬＯＩＬＩｌ蔦
１７９７ＰｏｌＮ〒ｓ＋ １ １Ｌｌｌ＊ｏｌＪＴＩＮｔｊ＋奮ＣＬ
ＯＩＬＣ＾％ｌＡｌ．ｆｆＮｌｆｉＴＩ．ＣＯＭＶ＊Ｔ
．−ＤＡｉｌ’＋Ｘ．ＣＮＶＤｋＴ，ＩＩＥＱＮＸＶ，
＃ＬｌｌＩＯＦＦ， ＤＡＴＡ Ｉ１ｔ８
０諷Ｖ Ｌ＾ＩＥＩＪ＋ｌ （ＸＴｆｆｌｌ＃ＡＬＬ
ｒ ＤＥｒｌＷＥＤ ＧＬＯＩＡＬＩｌ！Ｄ ＭＶＮａ
ＯＬＳｒ ＩＥＧＬＯＩＬ＋ｒＩＮＴＩｌ
ｎＦＯＩＮＴＳ＋ ＥＧＬＯＩＬ ｒ？ＩＪＩＴ．ＯＤＡＩＫＩＩｉｌＪ
＠ＲＯＬＩＴＩＮＩｉｌｌ １ ｃ訃１ｔＬｌｉＬ −■ｌＯｕ＋！ＣＬ
ＯＩＬ ｒｃＩＦＬＪ Ｉ ＤＡＴＡ ＭｆｌｌＯＰＷ 一Ｌｌ＆Ｌ
ｉ＋奪ＧＬＯＩＬ ＡＵ！Ｐ＋？． （ＯＦＩＩＩ
Ｏ． ＣＴＩ＋：尻ふｒＡＰｔ’ＬＩＮｅＴＩＯＮＩ
ＤＨｌｊｌｌＩｒＬ篇ＥＮｃｔＤ＋ｏＡＤＦ＋ ｙ
ｏｕ ｔＤＩＩ●ＩＩ Ｉ Ｉ
Ｄ ｒＯＲ −ＥＱｕｔＳＴ ＤＡＩ − ＭＣｋＨ
ＲＵＮＩ ＬＯＣＡＬ ＩＹＭＩＯＬ ＤＥｒ
ｌＮ＋Ｔ！ＯＮＳ＋ＡＡＣＩＩＤ＋ ｆｆｉＱｔｌ
％Ｏコ％４ ＋ ＬＯＣ
ｋＬ＾ＶＬ Ａｌｌ Ａｎ Ｃ＾Ｌ． ＩＬＩｒＦ！
脚ＩＤＡＪｉｌＪＬＮ＋ｇｇｕｔｏａｅｌＬＯｅＡＬＡ
Ｔ／Ｅ．ＩＵＡＩＣＣＡＬＩＵｒｒＥＩＬｔＮＯ丁ＭＡ
ｌｌｌｌＩ＋Ｄ＋ ＥＯｔｌ ％Ｑ２Ｓ）
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ｌＪ １０ＡＩＡＩＬＮＩ！ＱＬＩ％Ｉ１４４０１ＡＶ
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ＩＩＤｉｉＱＩＩｔｏｚｓ２１ＡＴｒｔＭＵＡＴ１０Ｍ
ＤＡＴＡａＵｒｒｔＲＩＤ付 表 ｌ（続き） ＤｕＡ）ｌｌＸＩＮｓｌ．ＤＡ＄ｌＱＤＡＯｒ．＾ＰＡ
＋ｌフ７＋１１ ＡＴ？ｌＬＮ＋ｌｕｌｌ＆ＤＩＱＯＨＡＴＴＥｓｕＡＴ
ＩＯＮＤＡＴＡＵＩｒｒＥＩＩＬＥＮＧ丁ＫＩＮＤＩＩ
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ＩＮＧＤＡＴＡｓｕｒｒＥ諷１０ｍＭｌＩＪＬ４ＥＯＬ
１１００ＨｌｌＩｒｒＥＩＬＥＮＧＴＨＤＴＮＡＭＩＣ
（ＡＩＩＩＩｌｌｌ＋ｔｏｕ４０２５１Ｉ（＋ｊＪｕＲ
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ｔｇｕ％ｏｉｏｌＣｕＰＪｔＨＴＡＩＲ真Ｌｒｈｕｒｒ
ｔ＊ＬＥＮＯ丁Ｎ（ｒＮｌｌｏ＋ＥＱＩＩ％ＤＩ９１）
ｃｕｘ＊ｃｈｔａｔｅＴＩＮｔＩＬｌｒｒＥ員１０’−
ＤＥＩＬＩＧ−”ＣＴＦｌ＆ＬＨ＋ｔｏｌｌ％ＤＳＬコ
ＨＣＬＩＪＫＥＮＴＡＴＣ丁ＩＦＩＣＢｕ＃ＣＩＩＪＮ
ＧＴＩＩ４−ＤｒＪリＧ一ｏｘＣｓ＋ｏ＋ＥＯＩＪｔｏ
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ＯＣＡＬＡＶＥ．ＯＡ丁ＡＡｌｌｌＣＡＬＩＬＩｒＦ（
ｊｉＬＥＨＣＴＨＤＥＴ１０１ ＫＯｕ ｓｏ
２４ａ Ｈ ＤＥＴ！ＣＴＯＩ
ＤＡＴＡ ＩＬＩＦＦＥ員 １０ＤＥＴＩＬｌｌ
＋ＥＯｕｔｃｌ６００＋ＤｔＴＥＣＴＯ乳ＤＡＴＡＢＵ
ＦＦＥＲＬＥＮＧＴＨＩＯＴＩＩＱ＋ 虻０１７
ｉｏ２ｏｏ １ １／Ｏ
ＸＦｔ＊ ＯｒｒＳｔテ ？ＡＩＩＪ ｍｕｒｒ
Ｅ艮 ＩＱ１０丁ＩＬＮＩ！ＯＬｌ％ＤＯＩｓｕｒｒ！
真ｇｌｌｃｒｌｌＤＹＮＭＩＣ＋２００ＩＬ３４１ＣＯ
ＭＰυ丁！ＤＯＮｒＯＤＬＩＩＩＯ＋ｚＱｕｔＤ２（ス
ｒＣＭＪＴＰｕＴＤ＾ｔＡｔｌＦＰｃ＊ＬｒＮｆｆａＴ
ＪｒｒｔＲｆＤ００ＬＩＬＮ＋ ＥＯｕ
％Ｄ４ Ｈ ＯｕＴｎＴ
ＤＡＴＡ ＬＩＰＰＣ＊ ＬＩＭＩ？ ＩＬｌ
ｌＥＩ ＬＥＮＧ？ＮＯｏＳｈＩＯ＋ＥＯＬＩ％Ｄ２
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ｌ！ＲＩＱＯＤｊＢＬＮ＋ＫＱＬＩｔＤ４１ＯＬｌ？Ｐ
ＬＩＴＤＡＴＡＳＣ＾Ｌ！ＩＩＩｒＦ！ＲＬＥＨＧ丁Ｈ
ＯｒＳｌｌＤ＋ＥＯＬＩ％ｏ２４フｌＯｒｒＳｔＴＤＡ
丁ＡｍＷｒｔ員１０Ｏｒ＄ｉＬＮ＋ＩＯＬＩＳＤ４４０
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乳ｏ（ｌｌＤ＋ ｔＯＵ ％ｏ２４４
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ｔＣＴＯ＊ ＣＯＷＴ ｈｕｒｒｔ真 １０＋ＩＤ
ＣＩＬＮＩ！ＯＬＩｎ４１夙ｔｒｔ艮ｔＮＣＬＤｆｆｉ
ｔＥＣ？Ｏ真ＣＯｕ）ｆｆＳＵＦＦＥＲＬＥＮＧＴＨ夙
ＯＭＢ１Ｄ＋！ＯＬｌｌＤ２３●Ｉ真ＥＦＥ大ＥＮ（！
ＤｔＴ！Ｃ？（ｎｕｓＫ＊ｕｒｎ＊１０％ＤＭＩＩＬＮ
＋ＫＯＵ％ＤＩ６１真ｔｒＥ＊ＥＨＣＬＤＥＴｔＣｉｏ
＊ＷＡＬＫＬｆｆｉＮＯ丁Ｎ＊ＩＩＪＩＤ＋！ＯｕＳＤ
２１１ＨｍＥＣＩＦＩＩＯＣＡＬＯｒＩＮｉｔＯＲＡＴ
ＩＯＮＶＡＬＵＥＤｋＴＡＩＬｌｌ’ｆＥＩＩｏＩ１（
ｌｌＩＬｌｌ＋ｔｇｕ％Ｄ４１＊ＥＣＩＦ鼻０（ＡＬＯ
ｒＩＮＴＥＧＲＡＴＩＯＮＶ＾ＬＵＥＤＡＴＡｌｌＪＦ
ｒｃｌＬＥ＊ＮＶＩＩＤ＋ＥＯｕ％ｏ２４６ｌＩＩ′Ｖ
ＩＥＷＲＥＡＬＶＡＬＬＩｔＯｋＴｋ＠ｕｒｒＨＩ１０
舅ＮＶｍＬＮＩＥＯｕＩＤ４１ＮＶＩｔｌＪＲＥＡＬｖ
ＡＬＬｌｔＤＡＴＡＢＵＦＦＥＲＬＥＮＧ丁Ｎ丁ＣＤＩ
ＩＩＤ＋ＥＯＩＩ％Ｉ３１４Ｓｌ？ＥＭＰ．ＣＯＨＶｔ
＊ＴＥＤＤｆｉＴｋＳＵＦＦＥＲＴＯ丁ＣＤＩＬＮＩＥ
ｏｕ％０６４６１ＴＥＭＰ．ＣＯＨＶＬＲＴＬＤＤｋＴ
ｋＩりｒｒｔ＊ＬＥＮＯＴＮ付 表 Ｉ（続き） ，ａ＾ＯＤｔＴＥＣＴＯ夙ＳＳＥＴｒＲｏｓＣＯＨｒｌ
ＯｎｕＶ２６／δ５ＰＲＯＩＩＧｌ’Ｋ丁＾艮丁ＯＦ真
ＥＬＯＣｊｉ’ＡＩＩＣＥＣＯＤＥＩＮＦＩＯＧｕＦＩ
ＦＩＥＭＯＲＹＩ ＤｆｆｉｒｌＮＩ丁１０８ ０
Ｆ ＴＩＩＥ ｒＵＮｃＴＩＯＮ ＩＤ ｒｏ
ｌｌ ＴＨＥ ＡＰ ！ＸｔＣＭＩＭＥ ？Ｉ
ＪＮＣ？ＩＯＮ ＴＡＩＩＩＪＦＬＩＮＣ Ｄ
ＡＤＦ．ＯＤＡＤＦ Ｉ ｒｌｌｌｌｃＴ
ＩＯＮ Ｉｌｌ ＡＮＤ ！ＮＴ真Ｙ ＰＯＩＮ
Ｔ ＮＡＭＥ付 表 Ｉ （続き） 付 表 Ｉ （続き） ＤＬＩＡ２ ＋ （ＸＩＲ５ＶＳ ｏｋｌ １ＱＤＡｌ
ｌｒ、ＡＰＡＩＩｆｆ）＋３７ ＡＬＬＯＣＡ７！ＤｋＳＤＡＴＡＩＮＰｕＴＩｌｌｒｒ
ｒＪ１８１Ｇφ％０２４９＋、ＩＬ！：Ｎ−４Ｎ−４０
６７２１ＲＥＱＵＥＳＴＶＩＥＷＯＩＩＥｒ丁ＷＥＤ入
５ＩＤＩＳＣ八＊ｏＮ、Ｇ、１ＡＬＬＯＣＡＴＥＴｔＭ
Ｐ、Ｃ０ＮＶＥＩＩ５１ＯＮＤＡＴＡｌｌｌｒｒｌ＋Ａ
ＩＩｔｌＤ−＆Ｄ２１Ｓｌ、＋ＬＥＮ−＆Ｄ６１０１＾
ＬＬＯｅＡＴＫＤＥＴｔＣＴＯＲＤＡＴＡＩＩＩＦＦＥ
Ｍ＋ｌｌ０−４０２４８１．ＩＬＥＮ４Ｄ４００１＾Ｌ
ＬＯＣＡＴＥＡＴＴＥＮＵＡ丁１ＯＮＤＡＴＡＳＵＦＦ
ＥＲ１１１１０−％Ｄ２Ｓ２１．ＩＬＥＮ−ｔＤ６ＱＯ
ＩＡＬＬＯＣＡ丁ｆｆ１ＣＬｌｌｕ！ＮＴＡＩＲ勇ｆｆ
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Ｎ−％０１＋１１ＡＬＬＯＣ＾丁ｔＤＡＴＡＡＩＲＣＡ
Ｌ、ｌＩ＋ＪｒＦ！１ｆｌＩｌｌ−４Ｎ２％６１．ＩＬ
ＥＮ−％Ｄ６００１付 表 Ｉ（続き） ＡＬＬＱＣＡＴＥＡｎＡｎＣＡＬ扉１１＃０１ｍ＋Ｄ−
％０２Ｓｏ１．＋ＬＥＮ−％Ｄ１０１ＦＩＮＤ丁ＭＥＡ
ＶＥＲＡＧＥＡｌｌＣＡＬ、ＤＡ丁＾診りｒｒｔ翼＾ｏ
ａ＊ｔｓｓ付 表 Ｉ（続き） 一＾工丁 Ｔｏｍ １ｔ０１１！ｊＴＥｌ）ＤＡＳ
ＤＩｌｉＴＡＪ！ＦＩ Ａｔ１ＸＩ０１１
１ ＷＡＸ？ ＦＯｊｌ Ａｕ
Ｘ Ｉｌｏ 丁ＯＣ０ＰＩＦＬｔ丁ｔ付 表 Ｉ（
続き） ＵＥＱｕＥ３ｉＶＩＥＷＴＭＯｒＲＯＮＴＨＥＤＡ５１
ＤＩＳＣＡＲＤＮ、Ｇ、ＩＣＩＥ入丁ｔＩＩＩＩＣＩＦ
冶０ＣＡＬＯｒｌＩｆｆＥＧｕＴＩＯＮＶＡＬＬＩｒｌ
’ｏＩＣＯＨＶＪ丁ｌＮＧ１．ＡＴＥＲ＃ｔｎ＃ＬＤＯ
ＦＣＯＨＴ員０ＬＳｒＯＲＤＩｉｅＡＲ１’１ｌＮＯ＋
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ＸＴＥＤＤＡ！ＤＡＴＡ夙ＥＱＩＩＥＳＴ＾ＶＩＥＷＯ
ＦＤＡＴＡｒｌｌＯＭＴＭ！ＤＡＳｌｒｌＵ丁ＶＡＩＪ
ＤＤＡ丁Ａ）付表Ｉ（続き） ｉ丁ＩＭＥ５丁八ＦＴ イ；１ 表 １ （続き） ＩＦＮＯＴＬＯＯＰＥＮＤ丁１１＋！ＮＧｏ「Ｈ１ＣＫ
Ｏｕ丁ＥＩＬ（ＫＩＰＫＮＤＨＯＴＩｎＶＡＸＩＬｌｒ
ｒＥＲｒｌＪＬＬＬＩＦＤＡ丁ＥＩ１０ＤＯＩＩＢＬＥ
ＩＬＩ＃ｆｆ１ｌＣＯＩＩ丁ＭＯＬ付表Ｉ（続き） ＩＰＮＯＴＬＣＩＯＰＥＮＯＴＨＥＮＲｒＰＥ＾丁ＬＯ
ＯＰＬＯ（ＩＰＫ＋４０＋Ｉｌｌ＋ＰＬＡＳ？ＶＩＥ’
ＷＯｒＤＡＴＡＴｏＶＡＸＮＯ丁１ｒＹＶＡＸ診ｕｒｒ
ｔＲＦＲＩＬＬ罠Ｅ丁ｕＲ１１？０ＣＡＬＬＩＪ 胞丁ＨＩＩＩ！ＴＬＩＩＩＮｍＣＡＬＬＥ真１
υＴＩ＋ＩＴＹ ＄ＬＩＳＲＯり丁ＩＮｔＳ
ＡＣＩＤ ｒＬＩＮｃＴＩＯＮｓ ｒＯＲＤＡＴ
Ａ ＣｏＬＬｔＣ丁Ｉｏｎ 真Ｏｕ丁１１１ＥＣ〇八
ｔυτ「＾丁ＴｔＨυ＾ＴＴＯＮＤＡＴへＶＡＬＵＥＳ
ｌ員Ａ１１ ｔＥＴｌ １１− ＋ｕｔ
ｕｕＮ Ｉ ＳＩＴ ｒＬ＾Ｇ 八６
ｏ＊ｔ、ｓｓ付表１（続き） ＤＬ１１１２＋Ｉ！１ＮＪＹ１．ＤＡｊｌｏｌ）ＡＤｒ
、ＡＦＡ＋ｊｆｆＩ３７ 付 表 Ｉ （続さ） ＊ｏＣ−１／ Ｎｕｘ＊ｃｒ 付 表 ｌ （続き） ０１１１＋１１＋ＭＳＹ５．ＤＡ＄ｌ０ＤＬＤＦ、ＡＰ
Ａ１９７フ、１１ ＣＣＷＰｕＴｔＮＯ員＋ｔＡＬＩ！ＫＤＤＥ丁ＥＣ丁０
１ＤＡ丁ＡＶＡＬＬ＋！５ｐＡ（Ｉｌｌ−１／ＡＩＲ＊
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Ｌｌ！Ｉ！ＤＩＹＭｌｌＯＬｉ＋ＩＩＧＬＯＩＬＩｌ蔦
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＋ｌフ７＋１１ ＡＴ？ｌＬＮ＋ｌｕｌｌ＆ＤＩＱＯＨＡＴＴＥｓｕＡＴ
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ｃｕｘ＊ｃｈｔａｔｅＴＩＮｔＩＬｌｒｒＥ員１０’−
ＤＥＩＬＩＧ−”ＣＴＦｌ＆ＬＨ＋ｔｏｌｌ％ＤＳＬコ
ＨＣＬＩＪＫＥＮＴＡＴＣ丁ＩＦＩＣＢｕ＃ＣＩＩＪＮ
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２４ａ Ｈ ＤＥＴ！ＣＴＯＩ
ＤＡＴＡ ＩＬＩＦＦＥ員 １０ＤＥＴＩＬｌｌ
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ｉｏ２ｏｏ １ １／Ｏ
ＸＦｔ＊ ＯｒｒＳｔテ ？ＡＩＩＪ ｍｕｒｒ
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真ｇｌｌｃｒｌｌＤＹＮＭＩＣ＋２００ＩＬ３４１ＣＯ
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ＤＡＴＡ ＬＩＰＰＣ＊ ＬＩＭＩ？ ＩＬｌ
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ＬＩＴＤＡＴＡＳＣ＾Ｌ！ＩＩＩｒＦ！ＲＬＥＨＧ丁Ｈ
ＯｒＳｌｌＤ＋ＥＯＬＩ％ｏ２４フｌＯｒｒＳｔＴＤＡ
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ＣＩＬＮＩ！ＯＬＩｎ４１夙ｔｒｔ艮ｔＮＣＬＤｆｆｉ
ｔＥＣ？Ｏ真ＣＯｕ）ｆｆＳＵＦＦＥＲＬＥＮＧＴＨ夙
ＯＭＢ１Ｄ＋！ＯＬｌｌＤ２３●Ｉ真ＥＦＥ大ＥＮ（！
ＤｔＴ！Ｃ？（ｎｕｓＫ＊ｕｒｎ＊１０％ＤＭＩＩＬＮ
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＊ＷＡＬＫＬｆｆｉＮＯ丁Ｎ＊ＩＩＪＩＤ＋！ＯｕＳＤ
２１１ＨｍＥＣＩＦＩＩＯＣＡＬＯｒＩＮｉｔＯＲＡＴ
ＩＯＮＶＡＬＵＥＤｋＴＡＩＬｌｌ’ｆＥＩＩｏＩ１（
ｌｌＩＬｌｌ＋ｔｇｕ％Ｄ４１＊ＥＣＩＦ鼻０（ＡＬＯ
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ｋＩりｒｒｔ＊ＬＥＮＯＴＮ付 表 Ｉ（続き） ，ａ＾ＯＤｔＴＥＣＴＯ夙ＳＳＥＴｒＲｏｓＣＯＨｒｌ
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ＩＯＮ Ｉｌｌ ＡＮＤ ！ＮＴ真Ｙ ＰＯＩＮ
Ｔ ＮＡＭＥ付 表 Ｉ （続き） 付 表 Ｉ （続き） ＤＬＩＡ２ ＋ （ＸＩＲ５ＶＳ ｏｋｌ １ＱＤＡｌ
ｌｒ、ＡＰＡＩＩｆｆ）＋３７ ＡＬＬＯＣＡ７！ＤｋＳＤＡＴＡＩＮＰｕＴＩｌｌｒｒ
ｒＪ１８１Ｇφ％０２４９＋、ＩＬ！：Ｎ−４Ｎ−４０
６７２１ＲＥＱＵＥＳＴＶＩＥＷＯＩＩＥｒ丁ＷＥＤ入
５ＩＤＩＳＣ八＊ｏＮ、Ｇ、１ＡＬＬＯＣＡＴＥＴｔＭ
Ｐ、Ｃ０ＮＶＥＩＩ５１ＯＮＤＡＴＡｌｌｌｒｒｌ＋Ａ
ＩＩｔｌＤ−＆Ｄ２１Ｓｌ、＋ＬＥＮ−＆Ｄ６１０１＾
ＬＬＯｅＡＴＫＤＥＴｔＣＴＯＲＤＡＴＡＩＩＩＦＦＥ
Ｍ＋ｌｌ０−４０２４８１．ＩＬＥＮ４Ｄ４００１＾Ｌ
ＬＯＣＡＴＥＡＴＴＥＮＵＡ丁１ＯＮＤＡＴＡＳＵＦＦ
ＥＲ１１１１０−％Ｄ２Ｓ２１．ＩＬＥＮ−ｔＤ６ＱＯ
ＩＡＬＬＯＣＡ丁ｆｆ１ＣＬｌｌｕ！ＮＴＡＩＲ勇ｆｆ
１Ｆ、ＢＵｒｒＥ１１＋１１Ｄ−＄０２１１１．１１Ｊ
Ｎ−％０１＋１１ＡＬＬＯＣ＾丁ｔＤＡＴＡＡＩＲＣＡ
Ｌ、ｌＩ＋ＪｒＦ！１ｆｌＩｌｌ−４Ｎ２％６１．ＩＬ
ＥＮ−％Ｄ６００１付 表 Ｉ（続き） ＡＬＬＱＣＡＴＥＡｎＡｎＣＡＬ扉１１＃０１ｍ＋Ｄ−
％０２Ｓｏ１．＋ＬＥＮ−％Ｄ１０１ＦＩＮＤ丁ＭＥＡ
ＶＥＲＡＧＥＡｌｌＣＡＬ、ＤＡ丁＾診りｒｒｔ翼＾ｏ
ａ＊ｔｓｓ付 表 Ｉ（続き） 一＾工丁 Ｔｏｍ １ｔ０１１！ｊＴＥｌ）ＤＡＳ
ＤＩｌｉＴＡＪ！ＦＩ Ａｔ１ＸＩ０１１
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Ｘ Ｉｌｏ 丁ＯＣ０ＰＩＦＬｔ丁ｔ付 表 Ｉ（
続き） ＵＥＱｕＥ３ｉＶＩＥＷＴＭＯｒＲＯＮＴＨＥＤＡ５１
ＤＩＳＣＡＲＤＮ、Ｇ、ＩＣＩＥ入丁ｔＩＩＩＩＣＩＦ
冶０ＣＡＬＯｒｌＩｆｆＥＧｕＴＩＯＮＶＡＬＬＩｒｌ
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ＦＣＯＨＴ員０ＬＳｒＯＲＤＩｉｅＡＲ１’１ｌＮＯ＋
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ＸＴＥＤＤＡ！ＤＡＴＡ夙ＥＱＩＩＥＳＴ＾ＶＩＥＷＯ
ＦＤＡＴＡｒｌｌＯＭＴＭ！ＤＡＳｌｒｌＵ丁ＶＡＩＪ
ＤＤＡ丁Ａ）付表Ｉ（続き） ｉ丁ＩＭＥ５丁八ＦＴ イ；１ 表 １ （続き） ＩＦＮＯＴＬＯＯＰＥＮＤ丁１１＋！ＮＧｏ「Ｈ１ＣＫ
Ｏｕ丁ＥＩＬ（ＫＩＰＫＮＤＨＯＴＩｎＶＡＸＩＬｌｒ
ｒＥＲｒｌＪＬＬＬＩＦＤＡ丁ＥＩ１０ＤＯＩＩＢＬＥ
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第１図はこの発明の検査装置の略図、
第２図は第１図に示したコンビコータ・システムに貯蔵
されるプログラムのフローチャートで、第１図の検査装
置によって発生される信号対↑ＩＬ音比を高めると共に
像のぼけを減少する。 主な符号の説明 ４；部品 ８；治具 １０：電磁エネルギ源 １６：電磁エネルギ検出器 １８：コンピュータ・システム
されるプログラムのフローチャートで、第１図の検査装
置によって発生される信号対↑ＩＬ音比を高めると共に
像のぼけを減少する。 主な符号の説明 ４；部品 ８；治具 １０：電磁エネルギ源 １６：電磁エネルギ検出器 １８：コンピュータ・システム
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １）貫通性電磁エネルギのビームを発生する手段と、 該電磁エネルギのビーム中に物体を保持する手段と、 電磁エネルギのビームに対して前記物体を予定の速度で
移動する手段と、 物体を通過する電磁エネルギの強度に関係する信号を発
生する検出手段と、 該検出手段からの信号の大きさを相次ぐ時刻に且つ予定
の速度で標本化して貯蔵する手段と、複数個の信号を発
生する処理手段とを有し、該複数個の信号の各々は物体
の予定の部分による電磁エネルギの減衰の大きさに関係
していて、何れも予め選ばれた複数個の時間的に相次ぐ
標本化されて貯蔵された値に応答して発生し、更に 該減衰に関係する信号に応答して物体の像を発生する手
段とを有する物体を検査する装置。 ２）特許請求の範囲１）に記載した物体を検査する装置
に於て、前記複数個の減衰に関係する信号の各々が、前
記予め選ばれた複数個の標本化されて貯蔵された大きさ
の平均値である物体を検査する装置。 ３）貫通性電磁エネルギのビームを発生する手段、該電
磁エネルギのビーム中に物体を保持する手段、前記電磁
エネルギのビームに対して物体を予定の速度で移動する
手段、物体を通過した電磁エネルギの大きさに関係する
信号を発生する手段、物体を通過する電磁エネルギの大
きさに関係する信号を予定の速度で繰返して標本化して
貯蔵する手段、及び標本化して貯蔵された大きさに応答
して、物体の少なくとも一部分の像を発生する手段で構
成される様な物体を検査する装置の信号対雑音比を高め
ると共に該装置によって発生される像のぼけを減少する
方法に於て、移動する手段が、電磁エネルギのビームに
対して物体を移動する速度を標本化速度に比べて下げる
工程を含む方法。 ４）特許請求の範囲３）に記載した方法に於て、標本化
されて貯蔵された大きさの内の予め選ばれたものを平均
する工程を含む方法。 ５）物体を検査する装置に於て、 物体を通る複数個の通路の電磁エネルギ減衰係数に関係
する複数個の信号を発生する手段と、該発生する手段に
接続されていて、複数個の信号の内の選ばれた信号を平
均する手段と、 該平均する手段に接続されていて、物体の像を発生する
手段とを有する装置。
Applications Claiming Priority (2)
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|---|---|---|---|
| US90974086A | 1986-09-19 | 1986-09-19 | |
| US909,740 | 1986-09-19 |
Publications (1)
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|---|---|
| JPS63120244A true JPS63120244A (ja) | 1988-05-24 |
Family
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Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62219295A Pending JPS63120244A (ja) | 1986-09-19 | 1987-09-03 | 物体を検査する装置と信号対雑音比を高める方法 |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
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| CA (1) | CA1301372C (ja) |
| DE (1) | DE3730506A1 (ja) |
| FR (1) | FR2604258A1 (ja) |
| GB (1) | GB2196220B (ja) |
| IT (1) | IT1226645B (ja) |
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|---|---|---|---|---|
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| CN104730091B (zh) * | 2015-02-10 | 2018-01-16 | 西安交通大学 | 基于区域分割探测的燃气轮机叶片缺陷提取与分析方法 |
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| US20190234348A1 (en) | 2018-01-29 | 2019-08-01 | Hytech Power, Llc | Ultra Low HHO Injection |
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| US4506327A (en) * | 1981-11-23 | 1985-03-19 | General Electric Company | Limited-angle imaging using multiple energy scanning |
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| US4803639A (en) * | 1986-02-25 | 1989-02-07 | General Electric Company | X-ray inspection system |
-
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- 1987-09-04 CA CA000546180A patent/CA1301372C/en not_active Expired - Lifetime
- 1987-09-11 DE DE19873730506 patent/DE3730506A1/de not_active Withdrawn
- 1987-09-11 GB GB8721405A patent/GB2196220B/en not_active Expired - Lifetime
- 1987-09-14 FR FR8712687A patent/FR2604258A1/fr active Pending
- 1987-09-16 IT IT8721931A patent/IT1226645B/it active
Also Published As
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| GB2196220A (en) | 1988-04-20 |
| DE3730506A1 (de) | 1988-03-24 |
| GB8721405D0 (en) | 1987-10-21 |
| IT1226645B (it) | 1991-01-31 |
| GB2196220B (en) | 1991-02-06 |
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