JPS63120514A - 自動インピ−ダンス整合装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、高周波電源の整合インピーダンスと負荷回路
インピーダンスとを自動的に整合させて効率よく負荷に
電力を供給できるようにする自動インピーダンス整合装
置に関するものである。

［従来の技術］ この種の自動インピーダンス整合装置は様々な用途の電
源設備で用いられている。

第７図は、半導体ウェハーの表面エツチングに用いるプ
ラズマを発生させるための高周波発生電ｍ設備において
従来用いられている自動インピーダンス整合装置を示し
ている。同図において、１は従来の自動インピーダンス
整合装置であり、この整合装置１は高周波電源２と負荷
３との間に配置されて、負荷回路インピーダンスを高周
波電源２の内部インピーダンスにより定まる一定の整合
インピーダンスと自動的に整合させる。この電源設備に
おいて、負荷３はプラズマを発生するための放電部とプ
ラズマによって加工される図示しない被加工物によって
構成される。

自動インピーダンス整合装置１は、負荷３に対して直列
に接続されたインダクタンスＬと第１の可変コンデンサ
Ｃ１とからなる直列回路と、該直列回路と負荷３とに対
して並列に接続された第２の可変コンデンサＣ２とから
なる整合回路１１を備えている。前述した整合インピー
ダンスと整合される負荷回路インピーダンスは、負荷３
のインピーダンスと整合回路１１のインピーダンスとを
合成したインピーダンスであり、第１及び第２の可変コ
ンデンサの容量を変えることによりインピーダンスの整
合が行われる。そのため従来の自動インピーダンス整合
装置１では、高周波電源から出力される高周波電流と高
周波電圧のそれぞれのベク］・ル値から、高周波電流と
高周波電圧との位相差を検出して位相差検出信号を出力
する位相差！゛１出器１２と、高周波電流と高周波電圧
のそれぞ１との絶対値から、整合インピーダンスと９荷
回路インピーダンスとの差を検出してインピーダンス差
検出信号を出力するインピーダンス差検出器１３と、位
相差検出信号に基いて位相差を零にするように第１のコ
ンデンサＣ１の容量を変える第１の容量可変手段１４と
インピーダンス差検出信号に基いてインピーダンス差を
零にするように第２の可変コンデンサＣ２の容量を変え
る第２の容量可変手段１５とを備えている。

尚この自動インピーダンス整合装置１の基本動作は、例
えば特開昭６０−１３４５１１号公報に詳細に説明され
ているように当業者には周知であるため、説明は省略す
る。

［発明が解決しようとする問題点］ 第７図に示した高周波の電源設備においては、プラズマ
を発生させる環境内のガスの種類、ガスの圧ノｊ及びエ
ツチングの強弱に応じて、負荷３に供給する電力を適宜
に変える必要がある。電力の変更は、自動インピーダン
ス整合装置１によって負荷回路インピーダンスを一定に
保つ目的から、高周波電源１の高周波電圧を変えること
によって行われている。しかしながら、位相差検出器１
２及びインピーダンス差検出器１３は、共に高周波電圧
を利用して位相差及びインピーダンス差を検出するため
、高周波電圧が変動すると、位相差検出信号及びインピ
ーダンス差検出信号も変動することになる。したがって
従来の装置では、高周波電圧の変動によって影響を受け
る位相差検出器１２及びインピーダンス差検出器１３の
出力に応じて第１及び第２の可変コンデンサの容量を変
えていたため、迅速且つ正確にインピーダンスの整合を
行うことができないという問題があった。

また特に、容量可変手段１４．１５において、第１及び
第２の可変コンデンサＣＩ　、Ｃ２の容量を変えるため
に駆動される駆動手段として直流モータが使用される場
合には、入力電圧の変動によりトルクが変動する直流モ
ータの特性から、高周波電圧を大きくした場合にハンチ
ング現象が起きる問題があった。このハンチング現象と
は、直流モータのトルクが必要以上に大ぎくなってモー
タが回りずぎ、本来停止すべき位置でモータが停止しな
いために、再度整合動作が行なわれてモータが逆方向に
駆動され、整合がとれるまでモータが正転と逆転とを繰
り返す現象を云う。このようなハンチング現象が生じる
と、最悪の場合にはインピーダンスを整合させることが
できなくなるという問題が生じる。

尚、ハンチング現象を防止するために、モータ入力を減
小させる手段を設けることも考えられるが、このような
手段を設けた場合には、逆に高周波電圧を小さくしたと
きに、モータの入力電圧が小さくなりすぎて回転がきわ
めておそくなったり、回転不能になり整合を取る時間が
長くかかったり、整合をとること自体ができなくなると
いう問題が生じる。

本発明の目的は、高周波電圧の変動による影響を極力受
けないようにして、迅速且つ正確にインピーダンスの整
合をとることができるようにしたインピーダンス整合装
置を提供することにある。

［問題点を解決するための手段］ 本出願の第１の発明は、本発明の一実施例を示す第１図
乃至第４図に見られるように、高周波電源の整合インピ
ーダンスと負荷回路インピーダンスとを自動的に整合さ
せる自動インピーダンス整合装置において、上記問題点
を解決する。そのため、本発明においては、高周波剤ｍ
２から出力される高周波電流と高周波電圧との位相差を
検出して該位相差に相応した位相差検出信号Ｖ１を出力
する位相差検出器１２と、整合インピーダンスと負荷回
路インピーダンスとのインピーダンス差を検出して該イ
ンピーダンス差に相応するインピーダンス差検出信号Ｖ
２を出力するインピーダンス差検出器１３と、位相差を
零にすべく容量が可変される第１の可変コンデンサＣ１
及びインピーダンス差を零にすべく容量が可変される第
２の可変コンデンサＣ２を含み高周波電源２と負荷との
間に配置される整合回路１１と、第１の可変コンデンザ
Ｃ１の容量を変えるために駆動される第１の駆動手段Ｍ
を備えた第１の容量可変手段１４′″と、第２の可変コ
ンデンサＣ２の容量を変えるために駆動される第２の駆
動手段Ｍを備えた第２の容量可変手段１５−と高周波電
圧と高周波電流のベクトル和の絶対値に相応する絶対値
信号ＶＯを出力する絶対値信号出力回路１６とを具備し
ている。

そして、本発明においては、第１の容量可変手段１４−
及び第２の容量可変手段１５−は、それぞれ絶対値信号
ＶＯににり位相差検出信号Ｖ１及びインピーダンス差検
出信号Ｖ２を除算した信号に基いて第１及び第２の駆動
手段Ｈを駆動する。

また本出願の第２の発明においては、その実施例を示す
第６図に見られるように、第１の容量可変手段１４′は
位相差検出信号■１を絶対値検出信号ＶＯで除算した信
号に基いて第１の駆動手段Ｍを駆動し、第２の容量可変
手段１５−は、インピーダンス差検出信号ｖ２を電圧検
出信号Ｖ３で除算した信号に基いて第２の駆動手段を駆
動する。

［発明の作用］ 高周波電源の電圧、電流をそれぞれ白（，１℃とし、そ
してこれらの絶対値をそれぞれＦＩ　　１℃とする。実
際にこれらの値を検出する検出回路に表れる出力は次の
ように表される。

白−ａ−白β、　　　　ｔ＝ｂ−ｔＪ２尚ａ、ｂは定数
である。

本発明は、白、１（絶対値はＥ、Ｉ）を用いて負荷回路
の状態を把握し、その制御を用う。なおＦ　１．ｔｅ　
１２を分圧して取り出し、ｉは１℃に比例した電流を抵
抗回路に流してその抵抗の端子電圧を取り出したもので
、共に処理しやすいレベルの電圧に変換されたものであ
る。

負荷回路インピーダンスを７℃とすればｉρ−自１２／
りｐより ｊ−（ｂ／ａ）　　・　（白／りβ） となる。ｔＸの白βに対する位相角、即ちｌの１に対す
る位相角をθとする。

第１の発明においては、位相差検出信号Ｖ１　＝　（Ｅ
２十Ｍ　＋２ＥＩｓｉｎθ）１′２−　　（Ｆ２　＋　
１２−２Ｅ　　ｌ５ｉｎ　　θ）１′２とインピーダン
ス差検出信号　Ｖ２−Ｅ−Ｃ・■［Ｃは定数］をそれぞ
れ絶対値信号　ＶＯ＝　ｌ　ｅ＋ｆｌ＝（Ｅ２→−Ｉ２
＋２ＥＩｃｏｓθ）　Ｖ２で除算した信号Ｖｌ　／ＶＯ
及びＶ２　／ＶＯに基いて第１及び第２の駆動手段を駆
動してインピーダンスの整合を行う。負荷３のインピー
ダンスが電流に対し変化しないと仮定した場合、高周波
電圧がｎ倍になると電流もｎ倍となる。よって、絶対値
信号ＶＯで除算した信号［ｎＶｌ　／ｎＶＯ＝Ｖ１　／
ＶＯ、ｎＶ２　／ｎＶＯ＝Ｖ２　／ＶＯ］は、電圧の変
動の影響を受けない。負荷３のインピーダンスが電流に
より変化する場合でも、高周波電圧の変動による影響を
従来より小さくすることができる。

特に位相差検出信号Ｖ１を絶対値信号■０で除算すると
、負荷回路インピーダンスの変化に伴う位相差検出信号
Ｖ１の変動の影響を従来より小さくすることができる。

本出願の第２の発明によれば、特にインピーダンス差検
出信号Ｖ２を高周波電圧の絶対値で除算−１３＝ するので電流の位相差の変化による影響を受けずにイン
ピーダンス差を零にするための動作を行わせることがで
きる。

［実施例１ 以下図面を参照して本発明の実施例を詳細に説明する。

第１図には、第１の発明の自動インピーダンス整合装置
１０を第７図に示した従来技術と同様に半導体ウェハー
のプラズマエツチングに用いる高周波電源装置に適用し
た一実施例を示しである。

尚第１図において、第７図に示した従来の装置に用いら
れた部材と同じ部材には、第７図に示した符号と同じ符
号を付しである。

本実施例は、高周波電源２の高周波電流１及び高周波電
圧自のベクトル和の絶対値１ｅ＋ｆｌ＝（Ｅ２＋Ｉ２＋
２ＥＩＣＯ８θ）吟を検出して、この値に相応する絶対
値検出信号ＶＯを出力する絶対値信号出力回路１６と、
位相差検出器１２から出力され位相差検出信号Ｖ１とイ
ンピーダンス差検出器１３から出力されるインピーダン
ス差検出信号■２をそれぞれ絶対値信号■０で除算した
信号に基いて第１及び第２の可変コンデンサの容量を変
える第１及び第２の容量可変手段１４′及び１５′とを
備えている。

位相差検出器１２は、高周波電圧及び高周波電流のベク
トル値から両者の位相差を検出して、位相差に相応する
位相差検出信号■１を出力する。

第２図に示す通り、電圧ベクトル１を９０°進めて電流
ベクｉ−ルｉと合成したベタ１〜ルの絶対値■１１＝　
ｌ　ｅ・　ｅＸｌｌ　（ｊπ／２）＋ｆｌと電圧ベクト
ル［を９０°進めて−１と合成したベクトルの絶対値Ｖ
１２＝　ｌ　ｅ　−ｅｘｐ（ｊ　π／２）−ｆ　ｌどの
差Ｖ　１１−、、　Ｖ　１２は、電圧ベクトル自と電流
ベタ１ヘルｉの位相差に相応している。そこで位相差検
出器１２は、下記（１）式に示す位相差検出信号を出力
づる。

Ｖｌ−１白ｅｘｐ（ｊ　π／２）　＋ｔ　ｌ−Ｉ自ｃｘ
ｐ（ｊ　π／２　）　−ｆ　を−（Ｆ２＋Ｉ２＋２ＥＩ
ｓｉｎθ）％ −（Ｅ２　＋　１２−２Ｅ　ｌ５ｉｎ　　θ）Ｖ２・・
・（１） 上記（１）式においてｖｉ−ｏのときには、ベタ１〜ル
亡とベクトルｉとが同相くθ−〇）である。

またインピーダンス差検出器１３は、次の（２）式で表
わされるインピーダンス差検出信号■２を出力する。

Ｖ２＝Ｅ−Ｃ−１ ＝Ｅ−（ｂ−ｃ／ａ）　・（Ｅ／ＺＪ２）＝Ｅ　（１−
ｄ／Ｚ兎）　　　　　　・・・（２）ここで、ｄ＝ｂ・
／ａ、２℃が高周波電源のインピーダンスに等しいとき
にＺβ−ｄの関係となる。

すなわち定数Ｃは、負荷回路インピーダンスＺ（が高周
波電源のインピーダンスの大きさに等しいときにＶ２＝
Ｏとなるように、即ちＺＪ２−ｄとなるように設定され
ている。したがって、インピーダンス差検出信号Ｖ２が
零でないということは、インピーダンスの整合がとれて
いないことを意味する。

インピーダンス整合の最終目標は負荷回路インビーダン
ス７βが高周波電源インピーダンスに等しくなることで
あり、これは位相差検出信号Ｖ１＝０でかつインピーダ
ンス差検出信号Ｖ２＝Ｏのときに達成される。

絶対値信号出力回路１６が出力する絶対値信号■０は次
の（３）式で表わされる。

Ｖｏ＝ｌｅ＋ｉｌ ＝　（Ｅ２＋Ｍ　＋２Ｅ　Ｉｃｏｓθ）鴇・・・（３） この回路１６の具体的な構成の一例を、第３図に示しで
ある。同図において、１６１は電流検出回路、１６２は
電圧検出回路、１６３は整流回路そして１６４は平滑回
路である。電流検出回路１６１は、負荷に電力を供給す
る線路を流れる高周波電流を検出する検流器ＣＴと検流
器ＣＴの２次側回路に接続されて高周波電流に比例した
電圧が両端に現われる抵抗Ｒ１とから構成される。

電圧検出器１６２は、一端が線路に接続され他端が抵抗
Ｒ１の一端に接続されたコンデンサＣ３と、一端がコン
デンサＣ３と抵抗Ｒ１との接続点に接続され他端が接地
されたコンデンサＣ４とコンデンサＣ４の両端に並列接
続されたインダクタンスＬ２とから構成され、コンデン
サＣ４の両端に高周波電圧に比例した電圧が現われる。

コンデンサＣ４と抵抗Ｒ１とが直列に接続されているた
め、抵抗Ｒ１の他端には、高周波電流に相応する電圧と
高周波電圧に相応する電圧とが加算された交流電圧信号
が得られる。

整流器は抵抗Ｒ１側にアノードが向けられたダイオード
Ｄ１からなり、平滑回路１６４は一端がダイオードＤ１
のカソードに接続され他端が接地されたコンデンサＣ５
と、一端がダイオードＤ１のカソードとコンデンサＣ５
の一端の接続点に接続され他端が出力端子０ＵＴ１に接
続された抵抗Ｒ２と、一端が抵抗Ｒ２の他端に接続され
他端が接地されたコンデンサＣ６とから構成される。出
力端子ｏｕ”ｒｉには、１白＋１１に相応する直流電圧
の絶対値信号ＶＯが現われる。

第１及び第２の容量可変手段１４−及び１５′は、位相
差検出器１２から出力される位相差検出信号Ｖ１及びイ
ンピーダンス差検出器１３から出力されるインピーダン
ス差検出信号■２をそれぞれ絶対値信号■０除算して得
た第１及び第２の制御信号に基いて、第１及び第２の可
変コンデンサＣ１及びＣ２の容量を変える第１及び第２
の駆動手段をそれぞれ備えている。

第１の容量可変手段１４−は、位相差検出信号Ｖ１を絶
対値検出信号■０で除算した第１の制御信号Ｖ１　／Ｖ
Ｏを得て、この信号を例えば直流モータからなる第１の
駆動手段の入力として用いて、第１のコンデンサＣ１の
容量を位相差を零にするように調整する。第１の制御信
号Ｖ１　／ＶＯは次の（４）式で示ず通りである。

Ｖｌ　／ＶＯ −［（Ｅ２＋　Ｔ’　＋２Ｅ　ｌ５ｉｎθ）ろ−（Ｅ２
＋Ｉ　’　−Ｅ　Ｔｓｉｎθ）吟］／　（Ｅ？＋Ｍ　＋
２Ｅ　ＩＣＯ３θ）ｈ・・・（４） この（４）式から明らかな通り、高周波電圧がｎ倍にな
った場合でも、負荷回路インピーダンスが電流に対して
変化しない場合には高周波電流もｎ倍になるため、理論
的には（ｎ・Ｖｌ　／ｎ・ＶＯ）＝Ｖ１　／ＶＯとなっ
て第１の制御信号は高周波電圧の変動の影響を受【プる
ことがない。また負荷回路インピーダンスが電流に対し
て変化する場合にも電圧の変動による影響を小さくでき
るのは勿論である。尚位相差検出信号■１は負荷回路イ
ンピーダンスの大きさの変化に対しては変動の少ないこ
とが望ましいが第１の制御信号Ｖ１　／ＶＯはこの変動
をある程度抑制できる。

第４図には、第１の容量可変手段１４′の具体的な構成
の一例が示しである。同図において、ＤＩＶは位相差検
出器１２から出力される位相差検出信号■１を絶対値信
号ＶＯを増幅した信号■０゜によって除算する除算回路
であり、除算回路ＤｒＶの出力Ｋ・Ｖｌ　／ＶＯ’は、
演算増幅器ＯＰ２によって第１の駆動手段としての直流
モータＭの駆動に必要な電圧値まで増幅される。尚には
、除算回路ＤＩＶの構成によって定まる定数である。

絶対値信号出力回路１６から出力される絶対値＝　２０
− 信号ｖＯは、抵抗Ｒ４及び抵抗Ｒ６を通して演算増幅器
○Ｐ１の入力端子に出力される。演算増幅器ＯＰ１の他
方の入力端子は接地され、一方の入力端子と出力端子と
の間には抵抗Ｒ７が並列に接続されている。抵抗Ｒ４と
抵抗Ｒ６との接続点には、一端が接地された抵抗Ｒ５の
他端が接続されている。抵抗Ｒ４と抵抗Ｒ５との接続点
には、−端が接地された抵抗Ｒ５の他端が接続されてい
る。

抵抗Ｒ４と抵抗Ｒ５との接続点には、定電圧供給回路Ｃ
ＶＳの一部を構成するダイオードＤ２のカソードが接続
されて、ダイオ゛−ドＤ２のアノードは定電圧源ｅ１に
接続されている。

定電圧供給回路ＣＶＳは、絶対値信号■０が定電圧源ｅ
１の電圧■０１以下になると、抵抗Ｒ６の電源側に定電
圧■０１を供給して、除算回路ＤＩＶの除算動作を安定
化する。これは、絶対値信号ＶＯがノイズよりも小さい
零に近い値まで小さくなると、ノイズの影響を受Ｃブで
安定した除算を行えなくなるからである。したがって定
電圧供給回路ＣＶＳが出力する定電圧ＶＯ１は、一般的
な発生ノイズよりも若干大きい値に設定されている。

第２の容量可変手段１５″は、インピーダンス差検出器
１３から出力されるインピーダンス差検出信号ｖ２を絶
対値信号ｖＯで除算して第２の制御検出信号Ｖ　２／Ｖ
　Ｏを得て、この信号を第１の容量可変手段１４′と同
様に第２の駆動手段（図示せず）の入力として第１のコ
ンデンサＣ２の容量をインピーダンス差を零にするよう
に調整する。

第２の制御信号Ｖ　２／Ｖ　Ｏは次の（５）式で現わさ
れる。

Ｖ２　／ＶＯ＝Ｅ　（１−ＣＪ／Ｚｆｌ　）　／（Ｅ２
＋　Ｉ２＋２Ｅ　Ｔｃｏｓθ）吟・・・（５） 尚第２の容量可変手段１５′としては、第４図に示した
第１の容量可変手段１４−と同じ構成の回路を用いれば
よく、また出力ＶＯ゛部は第１の容量可変手段１４′と
第２の容量可変手段１５′と共用にしてもよい。したが
って第２の容量可変手段１５′の具体的な構成について
の説明は省略する。

第５図には第１及び第２の容量可変手段１４′″。

１５′の具体的回路の異なる実施例が示しである。

第４図の実施例においては、絶対値信号ｖＯが小さくな
った場合に、ノイズの影響によって除算した値がふらつ
くのを防止するために、定電圧供給回路ＣＶＳを設けて
、絶対値信号ｖＯが所定値以下になると絶対値信号ｖＯ
゛を一定にするようにしているが、第５図の実施例では
、絶対値信号ＶＯに常時一定の直流電圧を重畳する直流
電圧重畳回路ｖＳ＠設りている。第５図の実施例では、
直流定電圧源ｅ２の出力端子に一端が接続された抵抗Ｒ
９が演算増幅器ＯＰ１の一方の入力端子に接続されてい
る。直流電圧源ｅ２の電圧をＶＯ２とすると、演算増幅
器ＯＰ１の出力には次の（６）式で現わされる信号が出
力される。

ＶＯ’＝（ＶＯ・Ｒ１０／Ｒ８） ＋（ＶＯ２・Ｒ１０／Ｒ９）　　　　　・・・（６）絶
対値信号■０が小さくなると、ｖＯｏは実質的に略ＶＯ
２・Ｒ１０／　Ｒ９となり、一定に保たれるので、ノイ
ズの影響を防止することができる。

第６図は、本出願の第２の発明の一実施例を示している
。本実施例においては、高周波電圧を検出して高周波電
圧に相応する電圧検出信号Ｖ３を出力する電圧検出回路
１７を更に設け、位相差検出信号Ｖ１を絶対値信号ＶＯ
で除算し、インピーダンス差検出信号Ｖ２を電圧検出信
号Ｖ３で除算する構成を採用している。したがって第２
の容量可変手段１５′において第２の駆動手段の入力と
なる信号は、次の（７）式で現わされる信号である。

Ｖ２／Ｖ３＝Ｅ　（１−ｄ／Ｚｆｉ）／Ｆ＝　（１−ｄ
／ＺＪ２）　　　　　　　・・・（７）上記（７）式か
ら明らかな通り、本発明によれば高周波電圧の変動によ
る影響を受けないばかりか、位相差の変動による影響も
受けないので、より迅速且つ正確にインピーダンスの整
合動作を行うことができる。尚その他の構成は、上記第
１の発明の実施例と同様であるので説明は省略する。

以上の説明において（６）式を除り（１）〜（７）式は
ｖｏ　＝ｖｏ°であるとして表している。また文中の絶
対値信号ＶＯは厳密には第４図又は第５図におけるＶＯ
゛の場合であっても、特にＶＯと■０“の相違について
述べているところ以外はｖｏ　＝ｖｏ。

とみなして■０で表している。

上記各実施例においては、第１及び第２の駆動手段とし
て、直流モータを用いたが、その他のタイプのモータを
これらの駆動手段として用いることができるのは勿論で
ある。

［発明の効果］ 第１の発明においては、位相差検出信号Ｖ１とインピー
ダンス差検出信号Ｖ２をそれぞれ絶対値信号ＶＯで除算
した信号Ｖ１　／ＶＯ及びＶ２　／ＶＯに基いて第１及
び第２の駆動手段を駆動してインピーダンスの整合を行
うので、インピーダンスの整合動作において高周波電圧
の変動の影響を極力少なくすることができる。したがっ
て、第１及び第２の駆動手段として、直流モータを用い
る場合に、ハンヂング現象が発生するのを防止すること
ができる。また位相差検出信号ｖ１を絶対値信号■０で
除算するので、負荷のインピーダンスの変化に伴う位相
差検出信号の変動の影響を従来より小さくすることがで
きる。

本出願の第２の発明によれば、インピーダンス差検出信
号を高周波電圧の絶対値で除算するので位相差の変化に
よる影響を受けずにインピーダンス差を零にするための
動作を行わせることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、第１の発明の一実施例を示す概略構成図、第
２図は位相差検出器の検出原理を示すベクトル図、第３
図は絶対値信号出力回路の具体的な構成の一例を示す回
路図、第４図は第１の容量可変手段の具体的構成の一例
を示す概略回路図、第５図は第１の容量可変手段の具体
的構成の異なる例を示す概略回路図、第６図は第２の発
明の一実施例を示す概略構成図、第７図は従来の装置を
示す概略構成図である。 ２・・・高周波電源、３・・・負荷、１０・・・自動イ
ンピーダンス整合装置、１１・・・整合回路、１２・・
・位相差検出器、１３・・・インピーダンス差検出器、
１７１Ｉ′・・・第１の容量可変手段、１５′・・・第
２の容量可変手段、１６・・・絶対値信号出力回路、１
７・・・電圧検出回路。 手続補正層（自発） 昭和６２年　３月２６日 特許庁長官　黒　１）明　雄　殿 １、事件の表示 特願昭６１−２６５６８１号 ２、発明の名称 自動インピーダンス整合装置 ３、補正をする者 事件との関係　特許出願人 （０２Ｂ）株式会社　ダイヘン ４、代理人 東京都港区新橋４−３１−６　　文山ビル６階明細書の
「発明の詳細な説明」の欄及び図面第３図 ６、補正の内容 （１）第５頁第３行の「発明の詳細な説明」を「発明の
詳細な説明」に訂正する。 （２）第１０頁第１８行の「負荷」の後に「３」を挿入
する。 （３）第１５頁第１２行のｒＥＪを「白」に訂正する。 （４）第１６頁第１１行のｒｄ＝ｂ−／ａ。」をｒｄ＝
ｂ　−ｃ／ａである。」に訂正する。 （５）第１９頁第３行の「ＶＯ」を［ＶＯで」に訂正す
る。 （６）第１９頁１６行のｒＥＩｓｉｎθ」をｒ２Ｅ　ｌ
５ｉｎθ」に訂正する。 （７）第２２頁第１６行の１出力■０°部」を「出力部
」に訂正する。 ［ＩＩ］図面第３図を別紙の通り訂正する。 以上

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. （１）高周波電源の整合インピーダンスと負荷回路イン
   ピーダンスとを自動的に整合させる自動インピーダンス
   整合装置において、 高周波電源から出力される高周波電流と高周波電圧との
   位相差を検出して該位相差に相応した位相差検出信号を
   出力する位相差検出器と、 前記整合インピーダンスと前記負荷回路インピーダンス
   とのインピーダンス差を検出して該インピーダンス差に
   相応するインピーダンス差検出信号を出力するインピー
   ダンス差検出器と、 前記位相差を零にすべく容量が可変される第１の可変コ
   ンデンサ及び前記インピーダンス差を零にすべく容量が
   可変される第２の可変コンデンサを含み前記高周波電源
   と負荷との間に配置される整合回路と、 前記第１の可変コンデンサの容量を変えるために駆動さ
   れる第１の駆動手段を備えた第１の容量可変手段と、 前記第２の可変コンデンサの容量を変えるために駆動さ
   れる第２の駆動手段を備えた第２の容量可変手段と、 前記高周波電圧と前記高周波電流のベクトル和の絶対値
   に相応する絶対値信号を出力する絶対値信号出力回路と
   を具備し、 前記第１及び第２の容量可変手段はそれぞれ前記絶対値
   信号により前記位相差検出信号及び前記インピーダンス
   差検出信号を除算した信号に基いて前記第１及び第２の
   駆動手段を駆動することを特徴とする自動インピーダン
   ス整合装置。
2. （２）前記第１及び第２の容量可変手段は、前記除算を
   行う除算回路と、該除算回路の出力を増幅する増幅回路
   と該増幅回路の出力によつて駆動される直流モータとか
   らなる特許請求の範囲第１項に記載の自動インピーダン
   ス整合装置。
3. （３）前記第１及び第２の容量可変手段は、前記絶対値
   信号に所定の直流電圧を重畳する直流電圧重畳回路を備
   えていることを特徴とする特許請求の範囲第２項に記載
   の自動インピーダンス整合装置。
4. （４）前記第１及び第２の容量可変手段は、前記絶対値
   信号が所定値以下になると前記除算回路に前記絶対値信
   号に代えて前記所定値の定電圧信号を供給する定電圧信
   号供給回路を備えていることを特徴とする特許請求の範
   囲第２項記載の自動インピーダンス整合装置。
5. （５）高周波電源の整合インピーダンスと負荷回路イン
   ピーダンスとを自動的に整合させる自動インピーダンス
   整合装置において、 高周波電源から出力される高周波電流と高周波電圧との
   位相差を検出して前記位相差に相応した位相差検出信号
   を出力する位相差検出器と、前記整合インピーダンスと
   前記負荷回路インピーダンスとのインピーダンス差を検
   出して該インピーダンス差に相応するインピーダンス差
   検出信号を出力するインピーダンス差検出器と、 前記位相差を零にすべく容量が可変される第１の可変コ
   ンデンサ及び前記インピーダンス差を零にすべく容量が
   可変される第２の可変コンデンサを含み前記高周波電源
   と負荷との間に配置される整合回路と、 前記第１の可変コンデンサの容量を変えるために駆動さ
   れる第１の駆動手段を備えた第１の容量可変手段と、 前記第２の可変コンデンサの容量を変えるために駆動さ
   れる第２の駆動手段を備えた第２の容量可変手段と、 前記高周波電圧と前記高周波電流のベクトル和の絶対値
   に相応する絶対値信号を出力する絶対値信号出力回路と
   、 前記高周波電圧を検出して該高周波電圧に相応する電圧
   検出信号を出力する高周波電圧検出回路とを具備してな
   り、 前記第１の容量可変手段は前記位相差検出信号を前記絶
   対値検出信号で除算した信号に基いて前記第１の駆動手
   段を駆動し、 前記第２の容量可変手段は、前記インピーダンス差検出
   信号を前記電圧検出信号で除算した信号に基いて前記第
   ２の駆動手段を駆動することを特徴とする自動インピー
   ダンス整合装置。