JPS63131122U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS63131122U JPS63131122U JP2191887U JP2191887U JPS63131122U JP S63131122 U JPS63131122 U JP S63131122U JP 2191887 U JP2191887 U JP 2191887U JP 2191887 U JP2191887 U JP 2191887U JP S63131122 U JPS63131122 U JP S63131122U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pipe
- introduction
- high temperature
- temperature reaction
- raw material
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000002994 raw material Substances 0.000 claims description 7
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims 2
- 239000003507 refrigerant Substances 0.000 claims 1
- 239000000498 cooling water Substances 0.000 description 2
- 125000002524 organometallic group Chemical group 0.000 description 2
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- 239000011148 porous material Substances 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例である原料導入管１
２を示す断面図、第２図は従来技術と本考案の実
施例におけるＩｎＰ薄膜の成長速度を示すグラフ
、第３図は本考案の他の実施例を示す原料導入管
１２Ａを示す断面図、第４図は従来のＭＯ―クロ
ライド成長装置の一例を示す断面図である。 １２，１２Ａ：原料導入管、１２―２：導入本
管、１２―４：有機金属入口、１２―６：有機金
属出口、１２―８：冷却槽、１２―１０：冷却水
入口、１２―１２：冷却水出口、１２―１６：真
空領域、１２―１６ａ：大気領域、１２―１８：
管壁、２０：大気孔。
２を示す断面図、第２図は従来技術と本考案の実
施例におけるＩｎＰ薄膜の成長速度を示すグラフ
、第３図は本考案の他の実施例を示す原料導入管
１２Ａを示す断面図、第４図は従来のＭＯ―クロ
ライド成長装置の一例を示す断面図である。 １２，１２Ａ：原料導入管、１２―２：導入本
管、１２―４：有機金属入口、１２―６：有機金
属出口、１２―８：冷却槽、１２―１０：冷却水
入口、１２―１２：冷却水出口、１２―１６：真
空領域、１２―１６ａ：大気領域、１２―１８：
管壁、２０：大気孔。
Claims (1)
- 高温の反応部に流体原料を供給するための導入
本管と、該導入本管の外側に冷媒流体を流したり
満たしたりできる二重以上の管構造を有し、原料
を冷却したまま前記高温反応部に導入する如く構
成された原料導入管において、前記導入本管の前
記高温反応部と接する領域を、断熱作用の大きな
層により覆つたことを特徴とする原料導入管。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2191887U JPS63131122U (ja) | 1987-02-17 | 1987-02-17 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2191887U JPS63131122U (ja) | 1987-02-17 | 1987-02-17 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63131122U true JPS63131122U (ja) | 1988-08-26 |
Family
ID=30818804
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2191887U Pending JPS63131122U (ja) | 1987-02-17 | 1987-02-17 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63131122U (ja) |
-
1987
- 1987-02-17 JP JP2191887U patent/JPS63131122U/ja active Pending