JPH033734U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH033734U JPH033734U JP6467089U JP6467089U JPH033734U JP H033734 U JPH033734 U JP H033734U JP 6467089 U JP6467089 U JP 6467089U JP 6467089 U JP6467089 U JP 6467089U JP H033734 U JPH033734 U JP H033734U
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- JP
- Japan
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- raw material
- liquid raw
- vaporization section
- sealed chamber
- liquid
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- Granted
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- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 3
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims 10
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- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 2
Landscapes
- Vaporization, Distillation, Condensation, Sublimation, And Cold Traps (AREA)
Description
第１図はこの考案の一実施例の構成図、第２図
はそれに用いるＭＦＣの要部の縦断面図、第３図
はそのＡ−Ａ′断面図、第４図は従来例の構成図
、第５図は他の従来例の構成図である。 １０……原料タンク、１１……Ｈｅガス配管、
１７……原料取出用配管、１７ａ……コイル状配
管、１８……加熱室、１９……密封室、２２……
ＭＦＣ、２５……気化ガス取出用配管、２６……
処理室。
はそれに用いるＭＦＣの要部の縦断面図、第３図
はそのＡ−Ａ′断面図、第４図は従来例の構成図
、第５図は他の従来例の構成図である。 １０……原料タンク、１１……Ｈｅガス配管、
１７……原料取出用配管、１７ａ……コイル状配
管、１８……加熱室、１９……密封室、２２……
ＭＦＣ、２５……気化ガス取出用配管、２６……
処理室。
Claims (1)
- 上部空間を残して液体原料を収容する液体原料
タンクと、内部に液体原料気化部を備えた密封室
と、この密封室の液体原料気化部を加熱する加熱
手段と、一端が上記液体原料タンクの上部空間に
開口し他端が不活性ガス源に連結される不活性ガ
ス配管と、一端が上記液体原料タンクの貯溜液体
内に開口し他端が上記密封室の液体原料気化部の
一端に連結している液体原料取出用配管と、上記
液体原料取出用配管の途中に設けられる流量調節
計と、一端が上記液体原料気化部の他端と連結し
他端が処理室に延びる気化原料取出用配管を延設
したことを特徴とする蒸発器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1989064670U JPH0742481Y2 (ja) | 1989-06-01 | 1989-06-01 | 蒸発器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1989064670U JPH0742481Y2 (ja) | 1989-06-01 | 1989-06-01 | 蒸発器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH033734U true JPH033734U (ja) | 1991-01-16 |
| JPH0742481Y2 JPH0742481Y2 (ja) | 1995-10-04 |
Family
ID=31595821
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1989064670U Expired - Lifetime JPH0742481Y2 (ja) | 1989-06-01 | 1989-06-01 | 蒸発器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0742481Y2 (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63291601A (ja) * | 1987-05-21 | 1988-11-29 | Mitsubishi Electric Corp | 液体材料制御装置 |
-
1989
- 1989-06-01 JP JP1989064670U patent/JPH0742481Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63291601A (ja) * | 1987-05-21 | 1988-11-29 | Mitsubishi Electric Corp | 液体材料制御装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0742481Y2 (ja) | 1995-10-04 |