JPS6313255B2 - - Google Patents
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- JPS6313255B2 JPS6313255B2 JP9609484A JP9609484A JPS6313255B2 JP S6313255 B2 JPS6313255 B2 JP S6313255B2 JP 9609484 A JP9609484 A JP 9609484A JP 9609484 A JP9609484 A JP 9609484A JP S6313255 B2 JPS6313255 B2 JP S6313255B2
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- ferrite
- magnetic
- thin film
- perpendicular magnetization
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Description
〔産業上の利用分野〕
この発明は、耐摩耗性および磁気記録特性にす
ぐれ、かつ膜面に対して垂直の磁気異方性をもつ
た磁気記録媒体の薄膜を具備した垂直磁化記録体
にして、高密度の磁気記録を可能とする垂直磁化
記録機能をもつた磁気デイスク、フロツピーデイ
スク、オーデイオ用磁気テープ、VTR用磁気テ
ープ、磁気写真用デイスク、さらにコンピユータ
用磁気テープなどの垂直磁化記録体に関するもの
である。
〔従来技術およびその問題点〕
これらの垂直磁化記録体は、通常、プラスチツ
クフイルムや金属シート、さらに金属デイスクや
ガラスデイスクなどの基板の表面に、スパツタリ
ング法や真空蒸着法、さらに化学メツキ法などの
表面処理技術を用いて、膜面に対して垂直の磁気
異方性をもつたCo−Cr合金やCo−Ru合金、さら
にCo−Cr−Ru合金などのCo系合金で構成された
磁気記録媒体の薄膜を、直接、あるいは高透磁率
をもつたFe−Ni合金などの薄膜を介して形成す
ることによつて製造されている。しかし、上記の
垂直磁化記録体は、すぐれた垂直磁化特性をもつ
ものの、Co系合金で構成された磁気記録媒体の
薄膜が軟質であるために、磁気記録時に、Mn−
Zn系フエライトの単結晶や高密度フエライト、
さらにセンダストや非晶質金属などの硬質の材料
で構成されている磁気ヘツドと摩擦接触すると著
しく摩耗し、かつ損傷を受け易いことから、実用
に際しては、さらにその上に数100〜数1000Å程
度の膜厚で、アルミナ（Al2O3）やシリカ
（SiO2）などで構成された非磁性硬質薄膜を形成
し、磁気ヘツドによる摩耗の抑制をはかつている
のが現状である。
しかしながら、この耐摩耗性にすぐれた従来垂
直磁化記録体においても、上記のように最上層が
Al2O3やSiO2などの非磁性薄膜で構成されている
ために、磁気記録に際しては、磁気が前記最上層
の膜厚分だけ離された状態、すなわちスペースロ
スのある状態で、下層の磁気記録媒体に磁気記録
がなされることになることから、その分だけ磁気
記録密度が低下することになる。
〔研究の目的および研究に基づく知見事項〕
そこで、本発明者等は、上述のような観点か
ら、耐摩耗性にすぐれ、かつ磁気記録密度の低下
のない垂直磁化記録体を開発すべく研究を行なつ
た結果、垂直磁化記録体における膜面に対して垂
直の磁気異方性をもつたCo系合金で構成された
磁気記録媒体の薄膜の上面に、通常のスパツタリ
ング法にて、ターゲツトとして、Niフエライト、
Ni−Znフエライト、あるいはMn−Znフエライ
トを用い、このフエライトの薄膜を形成すると、
前記フエライト薄膜は、すぐれた耐摩耗性と磁気
特性をもつことから、この結果の最上層がNiフ
エライト、Ni−Znフエライト、あるいはMn−
Znフエライトの薄膜で構成された垂直磁化記録
体においては、磁気記録に際して、磁気ヘツドに
よる摩耗および損傷がほとんど皆無となつた状態
で、高密度の磁気記録を行なうことが可能となる
という知見を得たのである。
〔発明の構成要件〕
この発明は、上記知見にもとづいてなされたも
のであつて、膜面に対して垂直の磁気異方性をも
つたCo系合金で構成された磁気記録媒体の薄膜
の上面に、最上層として耐摩耗性および磁気特性
のすぐれたNiフエライト、Ni−Znフエライト、
あるいはMn−Znフエライトからなる薄膜を形成
してなる垂直磁化記録体に特徴を有するものであ
る。
〔実施例〕
つぎに、この発明の垂直磁化記録体を実施例に
より具体的に説明する。
基板として、厚さ：50μｍのポリエステルフイ
ルムを用意し、この基板を通常のマグネトロンス
パツタ装置に装着し、回転を加えながら、それぞ
れFe−Ni合金（Ni：50％含有）、Co−Cr合金
（Cr：18％含有）、アルミナ（Al2O3）、シリカ
（SiO2）、Niフエライト、Ni−Znフエライト、
Mn−Znフエライトのターゲツトを用い、
(1) 到達真空度：2.0×10-6torr以下、
(2) Arガス圧：3.0×10-3torr、
(3) 基板とターゲツト間の距離：50mm
(4) 放電パワーおよびスパツタ時間、
(a) Co−Cr合金およびFe−Ni合金ターゲツト
の場合：DC360Wで400秒、
(b) Niフエライト、Ni−Znフエライト、Mn
−Znフエライト、Al2O3、およびSiO2ターゲ
ツトの場合：RF100Wで600秒、
の条件でスパツタを行ない、それぞれ第１表に示
される平均層厚をもつた薄膜を上記基板表面に順
次形成することによつて本発明垂直磁化記録体１
〜３および従来垂直磁化記録体１，２をそれぞれ
製造した。
ついで、この結果得られた各種の垂直磁化記録
体について、振動型磁気測定装置を用いて、異方
性磁界（Hk）と保磁力（Hc）を測定し、さらに
これをフロツピーデイスクサイズに形成し、フエ
ライトヘツドを備えたデイスクドライブ装置を用
いて走行テストを行ない、耐摩耗性を評価する目
的で、100万バス経過後の再生電圧（Vm）の初
期再生電圧（Vi）に対する比、すなわちｒ＝
Vm／Vi（劣化率）を測定し、かつ高密度磁気記
録特性を評価する目的で、記録密度を変化
[Industrial Application Field] The present invention provides a perpendicular magnetization recording medium having a thin film of a magnetic recording medium that has excellent wear resistance and magnetic recording properties and has magnetic anisotropy perpendicular to the film surface. , perpendicular magnetization recording media such as magnetic disks with perpendicular magnetization recording function that enable high-density magnetic recording, floppy disks, magnetic tapes for audio, magnetic tapes for VTRs, magnetic photographic disks, and magnetic tapes for computers. It is related to. [Prior art and its problems] These perpendicular magnetization recording bodies are usually produced by sputtering, vacuum evaporation, chemical plating, etc. on the surface of a substrate such as a plastic film, metal sheet, metal disk, or glass disk. Magnetic recording media made of Co-based alloys such as Co-Cr alloys, Co-Ru alloys, and Co-Cr-Ru alloys that have magnetic anisotropy perpendicular to the film surface using surface treatment technology. It is manufactured by forming a thin film directly or through a thin film of Fe-Ni alloy with high magnetic permeability. However, although the perpendicular magnetization recording medium described above has excellent perpendicular magnetization characteristics, the thin film of the magnetic recording medium made of Co-based alloy is soft, so during magnetic recording, Mn-
Single crystals of Zn-based ferrite, high-density ferrite,
Furthermore, frictional contact with a magnetic head made of hard materials such as sendust or amorphous metal causes significant wear and is likely to cause damage. Currently, a hard, non-magnetic thin film made of alumina (Al 2 O 3 ), silica (SiO 2 ), etc. is formed to suppress wear caused by the magnetic head. However, even in conventional perpendicular magnetization recording materials with excellent wear resistance, the top layer is
Since it is composed of a non-magnetic thin film such as Al 2 O 3 or SiO 2 , during magnetic recording, the magnetic field is separated by the thickness of the uppermost layer, that is, in a state where there is a space loss. Since magnetic recording will be performed on the magnetic recording medium, the magnetic recording density will decrease accordingly. [Purpose of the research and findings based on the research] Therefore, from the above-mentioned viewpoints, the present inventors conducted research to develop a perpendicular magnetization recording medium that has excellent wear resistance and does not reduce magnetic recording density. As a result, using a normal sputtering method, as a target, a thin film of a magnetic recording medium made of a Co-based alloy with magnetic anisotropy perpendicular to the film surface of the perpendicular magnetization recording medium was coated. Ni ferrite,
When a thin film of Ni-Zn ferrite or Mn-Zn ferrite is formed,
Since the ferrite thin film has excellent wear resistance and magnetic properties, the resulting top layer is made of Ni ferrite, Ni-Zn ferrite, or Mn-ferrite.
We have obtained the knowledge that perpendicularly magnetized recording bodies composed of thin films of Zn ferrite can perform high-density magnetic recording with almost no wear or damage caused by the magnetic head. It was. [Elements of the Invention] The present invention has been made based on the above findings, and is based on the above-mentioned findings. The top layer is Ni ferrite, Ni-Zn ferrite, which has excellent wear resistance and magnetic properties.
Alternatively, it is characterized by a perpendicular magnetization recording body formed by forming a thin film made of Mn--Zn ferrite. [Example] Next, the perpendicular magnetization recording body of the present invention will be specifically explained with reference to Examples. A polyester film with a thickness of 50 μm was prepared as a substrate, and this substrate was mounted on a normal magnetron sputtering device, and while rotating, Fe-Ni alloy (containing 50% Ni) and Co-Cr alloy (containing 50% Ni) were prepared. Cr: 18% content), alumina (Al 2 O 3 ), silica (SiO 2 ), Ni ferrite, Ni-Zn ferrite,
Using a Mn-Zn ferrite target, (1) ultimate vacuum: 2.0×10 -6 torr or less, (2) Ar gas pressure: 3.0×10 -3 torr, (3) distance between substrate and target: 50 mm ( 4) Discharge power and sputtering time, (a) For Co-Cr alloy and Fe-Ni alloy targets: 400 seconds at DC360W, (b) Ni ferrite, Ni-Zn ferrite, Mn
- For Zn ferrite, Al 2 O 3 and SiO 2 targets: Perform sputtering at RF 100W for 600 seconds under the following conditions to sequentially form thin films with the average layer thickness shown in Table 1 on the above substrate surface. In particular, perpendicular magnetization recording body 1 of the present invention
- 3 and conventional perpendicular magnetization recording bodies 1 and 2 were manufactured, respectively. Next, the anisotropic magnetic field (Hk) and coercive force (Hc) of the various perpendicularly magnetized recording bodies obtained as a result were measured using a vibrating magnetic measuring device, and then this was formed into a floppy disk size. However, in order to evaluate the wear resistance by conducting a running test using a disk drive device equipped with a ferrite head, we determined the ratio of the reproducing voltage (Vm) to the initial reproducing voltage (Vi) after 1 million bus cycles, that is, r =
Varying recording density for the purpose of measuring Vm/Vi (deterioration rate) and evaluating high-density magnetic recording characteristics
上述のように、この発明の垂直磁化記録体は、
その最上層を実質的にNiフエライト、Ni−Znフ
エライトあるいはMn−Znフエライトからなる薄
膜で構成することによつて、すぐれた耐摩耗性が
確保され、かつ高密度の磁気記録を可能としたも
のである。
As mentioned above, the perpendicular magnetization recording body of the present invention has the following features:
The top layer is made of a thin film consisting essentially of Ni ferrite, Ni-Zn ferrite, or Mn-Zn ferrite, ensuring excellent wear resistance and enabling high-density magnetic recording. It is.
Claims (1)
もつたCo系合金の磁気記録媒体で構成された垂
直磁化記録媒体において、前記表面薄膜の上に、
さらに耐摩耗性および磁気特性のすぐれたNiフ
エライト、Ni−Znフエライト、あるいはMn−
Znフエライトからなる薄膜を形成してなる垂直
磁化記録体。1. In a perpendicular magnetization recording medium composed of a Co-based alloy magnetic recording medium in which the surface thin film has magnetic anisotropy perpendicular to the film surface, on the surface thin film,
In addition, Ni ferrite, Ni−Zn ferrite, or Mn− ferrite, which has excellent wear resistance and magnetic properties,
A perpendicular magnetization recording material made of a thin film made of Zn ferrite.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9609484A JPS60239917A (en) | 1984-05-14 | 1984-05-14 | Vertically magnetizable recording body |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9609484A JPS60239917A (en) | 1984-05-14 | 1984-05-14 | Vertically magnetizable recording body |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60239917A JPS60239917A (en) | 1985-11-28 |
| JPS6313255B2 true JPS6313255B2 (en) | 1988-03-24 |
Family
ID=14155804
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9609484A Granted JPS60239917A (en) | 1984-05-14 | 1984-05-14 | Vertically magnetizable recording body |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60239917A (en) |
-
1984
- 1984-05-14 JP JP9609484A patent/JPS60239917A/en active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS60239917A (en) | 1985-11-28 |
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