JPS63134247A - インクジエツトヘツド及びその製造方法 - Google Patents
インクジエツトヘツド及びその製造方法Info
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- JPS63134247A JPS63134247A JP28105986A JP28105986A JPS63134247A JP S63134247 A JPS63134247 A JP S63134247A JP 28105986 A JP28105986 A JP 28105986A JP 28105986 A JP28105986 A JP 28105986A JP S63134247 A JPS63134247 A JP S63134247A
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はインクジェットヘッド及びその製造方法に関す
る。
る。
第２図に従来のインクジェットヘッドの分解斜視図を示
す。
す。
図において、１はガラスあるいはセラミック等の電気的
絶縁性を有する材質からなる基板であり６はステンレス
等の材質から成り、インク吐出用ノズル孔７が形成され
ているノズル板である。８は前記基板１とノズル＆６と
を接合するための接着性を持つ接合フィルムであり、９
はノズル敬６に接合され、各ノズル孔７を仕切る隔壁板
である。
絶縁性を有する材質からなる基板であり６はステンレス
等の材質から成り、インク吐出用ノズル孔７が形成され
ているノズル板である。８は前記基板１とノズル＆６と
を接合するための接着性を持つ接合フィルムであり、９
はノズル敬６に接合され、各ノズル孔７を仕切る隔壁板
である。
基板ｌには、発熱抵抗体２が形成され、この発熱抵抗体
２１こは選択書４１ｊ３を通じて記録状報に従って任意
の電気エネルギーが与えられ、熱エネルギーが発生する
ようになっている。インク室４中番こ常時溝たさｆｌて
いるインク液（図示せず）の発熱抵抗体２表面近傍のイ
ンクは、発熱抵抗体２からの熱エネルギーを受けて加熱
され、気泡が発生】“る。核気泡の圧力によって、発熱
抵抗体２に対向するノズル孔７から、インクが吐出して
記録紙（図示せず）上−こ記録状報に従った記録がなさ
イする。そして、インク室４へのインクの補充はインク
供給口５より行なわれる。
２１こは選択書４１ｊ３を通じて記録状報に従って任意
の電気エネルギーが与えられ、熱エネルギーが発生する
ようになっている。インク室４中番こ常時溝たさｆｌて
いるインク液（図示せず）の発熱抵抗体２表面近傍のイ
ンクは、発熱抵抗体２からの熱エネルギーを受けて加熱
され、気泡が発生】“る。核気泡の圧力によって、発熱
抵抗体２に対向するノズル孔７から、インクが吐出して
記録紙（図示せず）上−こ記録状報に従った記録がなさ
イする。そして、インク室４へのインクの補充はインク
供給口５より行なわれる。
しかしながら、このようなインクジェットヘッドにあっ
ては、基板ｌとノズル板６と隔壁板９とが全て別部材と
して形成されている１こめに、基板ｌと隔壁板９、およ
びノズル板６と隔壁板９間で位置合わせが必要となる。
ては、基板ｌとノズル板６と隔壁板９とが全て別部材と
して形成されている１こめに、基板ｌと隔壁板９、およ
びノズル板６と隔壁板９間で位置合わせが必要となる。
ちなみに、このようなインクジェットヘッドにおいては
、それぞれの発熱抵抗体２間あるいは各ノズル孔７間の
ピッチは０、１２５ ｗ以下であること、更にインク滴
の飛翔の安定性を得るため言い換えねば安定し１こ印字
品質を得るｆ：めに（ま高い位置精度を必要とする、し
かしながら従来は基板と隔壁板更に隔壁板とノズル板と
の位置合わせをくり返し行なわなければならず必要と］
″る精度か得にくいという欠点があった。
、それぞれの発熱抵抗体２間あるいは各ノズル孔７間の
ピッチは０、１２５ ｗ以下であること、更にインク滴
の飛翔の安定性を得るため言い換えねば安定し１こ印字
品質を得るｆ：めに（ま高い位置精度を必要とする、し
かしながら従来は基板と隔壁板更に隔壁板とノズル板と
の位置合わせをくり返し行なわなければならず必要と］
″る精度か得にくいという欠点があった。
本発明はこのような問題点Ｊｃ鑑みなきねたもので位置
合わせは１回行なうだけで良く、従って位置精度が正確
に出せるため印字品質のすぐれ１こインクジェットヘッ
ドを提供するこ６を目的とする。
合わせは１回行なうだけで良く、従って位置精度が正確
に出せるため印字品質のすぐれ１こインクジェットヘッ
ドを提供するこ６を目的とする。
上記目的を達成するために、本発明のインクジェットヘ
ッドにあっては複数個の発熱抵抗体と、この発熱抵抗体
に電気信号を供給するところの選択電極及び共通１電極
と、これら発熱抵抗体・選択電極・共通電極を保護する
絶縁保祿）＠古が形成された絶縁性基板上に、金属皮膜
を形成した後隔壁形成部分を除いてレジストでｔ％ｌ−
）た後金属メッキ処理により隔壁を形成後、前記レジス
トを除去しこのレジスト１を除去した絶縁性基板さ、イ
ンクが吐出される祷数個のノズル孔とが形成されたノズ
ル板とを接合一体化することを特徴とする。
ッドにあっては複数個の発熱抵抗体と、この発熱抵抗体
に電気信号を供給するところの選択電極及び共通１電極
と、これら発熱抵抗体・選択電極・共通電極を保護する
絶縁保祿）＠古が形成された絶縁性基板上に、金属皮膜
を形成した後隔壁形成部分を除いてレジストでｔ％ｌ−
）た後金属メッキ処理により隔壁を形成後、前記レジス
トを除去しこのレジスト１を除去した絶縁性基板さ、イ
ンクが吐出される祷数個のノズル孔とが形成されたノズ
ル板とを接合一体化することを特徴とする。
上述の手段は以下の様ｌこ作用する。
給線性基板上に発熱抵抗体とともに隔壁が一体形成され
るため、基板と隔壁板との位置合イ）せは必要とせず、
従って隔壁（基板）とノズル板との位置合わせを行なう
のみで良く位＠精度が正確に出せる。史に基板面全体に
金属皮膜が形成されているため、放熱性か良いという作
用を併せ持つ。
るため、基板と隔壁板との位置合イ）せは必要とせず、
従って隔壁（基板）とノズル板との位置合わせを行なう
のみで良く位＠精度が正確に出せる。史に基板面全体に
金属皮膜が形成されているため、放熱性か良いという作
用を併せ持つ。
以下、本発明の一実施例について説明する。
第１図は本発明の実施例によるインクジェットヘッドの
構造断面図であり、第２図はその基板部分の製造工程を
説明する説明図である。
構造断面図であり、第２図はその基板部分の製造工程を
説明する説明図である。
図示したように、ガラスあるいはセラミック等よりなる
電気的絶縁性の基板ｌｌ上Ｉこ発熱抵抗体１２および核
発熱抵抗体１２に電力を供給する選択電極１３および共
通ＩＥ極１４が形成され、これら発熱抵抗体１２、選択
１月３、共通電極１４を図示しない記録媒体による化学
的、力学的損傷から保護する絶縁保静鳩１５が形ｔｉｙ
されている。更に絶縁保撞層】５の上面には、基板１１
全面ｌこわたって合本皮膜１６が形成ぎわており、この
金属皮膜１６上に前記発熱抵抗体１２４個別に仕切るよ
うに隔壁１８が形成されている。そして、この隔Ｑ＆ｌ
Ｂ上にノズル板１７がぞれぞわのノズル孔１７ａが発熱
抵抗体１２と対向するように基板１１に折合、一体化さ
イ１ている。
電気的絶縁性の基板ｌｌ上Ｉこ発熱抵抗体１２および核
発熱抵抗体１２に電力を供給する選択電極１３および共
通ＩＥ極１４が形成され、これら発熱抵抗体１２、選択
１月３、共通電極１４を図示しない記録媒体による化学
的、力学的損傷から保護する絶縁保静鳩１５が形ｔｉｙ
されている。更に絶縁保撞層】５の上面には、基板１１
全面ｌこわたって合本皮膜１６が形成ぎわており、この
金属皮膜１６上に前記発熱抵抗体１２４個別に仕切るよ
うに隔壁１８が形成されている。そして、この隔Ｑ＆ｌ
Ｂ上にノズル板１７がぞれぞわのノズル孔１７ａが発熱
抵抗体１２と対向するように基板１１に折合、一体化さ
イ１ている。
次に第２図に従って、本発明のインクジェットヘッドの
製造方法について説明する。
製造方法について説明する。
まず、基板１１上に薄膜工程及びフォトリン工程によっ
て発熱抵抗体１２、選択電極１３、共通電極１４３よび
絶縁保護層１５を形成する。これらの形成方法は、サー
マルヘッドの製造方法として一般的なものであり、目新
しいことはない。次にこの基板１１上に無＝、′Ｍ、メ
ッキにより例えばニッケルからなる金属皮膜１６を全面
に形成１−る。史にこの金属皮膜１６上にドライフィル
ムレジストをラミネートする。この時レジスト１９厚み
は、隔壁１８の高さの１２０％程度の厚さとするのが望
ましい。このレジスト１９を所定のマスクを用いて紫外
線照射することにより選択的に硬化させ１９を形成する
。現像及び硬化処理を行った後電気メッキを行なうこと
にヨリレジスト１９が塗布されていない部分１９ａのみ
に金属を析出させる。その後前記レジスト１９を適当な
溶剤を用いてエツチングを行ないレジス）１９を除去す
る。このようにして基板１１上に隔壁１８が形成される
。
て発熱抵抗体１２、選択電極１３、共通電極１４３よび
絶縁保護層１５を形成する。これらの形成方法は、サー
マルヘッドの製造方法として一般的なものであり、目新
しいことはない。次にこの基板１１上に無＝、′Ｍ、メ
ッキにより例えばニッケルからなる金属皮膜１６を全面
に形成１−る。史にこの金属皮膜１６上にドライフィル
ムレジストをラミネートする。この時レジスト１９厚み
は、隔壁１８の高さの１２０％程度の厚さとするのが望
ましい。このレジスト１９を所定のマスクを用いて紫外
線照射することにより選択的に硬化させ１９を形成する
。現像及び硬化処理を行った後電気メッキを行なうこと
にヨリレジスト１９が塗布されていない部分１９ａのみ
に金属を析出させる。その後前記レジスト１９を適当な
溶剤を用いてエツチングを行ないレジス）１９を除去す
る。このようにして基板１１上に隔壁１８が形成される
。
また、ノズル板１７は通常電鋳あるいは金属薄板のエツ
チング等によって形成される。
チング等によって形成される。
そして上述のように形成した基板１１とノズル板１７と
を従来の如く、接着フィルム等を用いて接合一体化する
ことによりインクジェットヘッドカ製造される。
を従来の如く、接着フィルム等を用いて接合一体化する
ことによりインクジェットヘッドカ製造される。
上述したように、本発明のインクジェットヘッドに８い
ては、基板上面の絶縁皮膜上に金属皮膜を形成すること
により、放熱効果がよくなり、印字スピードアップとな
る。
ては、基板上面の絶縁皮膜上に金属皮膜を形成すること
により、放熱効果がよくなり、印字スピードアップとな
る。
更に、絶縁基板上に隔壁を一体で形成するため。
ノズル板との位置合わせは１回だけで良く位置精度が向
上し、結果として印字品質が向上する等の効果を葦する
。
上し、結果として印字品質が向上する等の効果を葦する
。
８ｇ１図は本発明のインクジェットヘッドの実施例で示
す構造断面図、第２図は第１図に示したインクジェット
ヘッドの基板部分の製造工程を示す神明図、第３図は従
来のインクジェットヘッドの分解斜視図である。 １１・・・基板 １２・・・発熱抵抗体 １３・・・選択電極 １４・・・共通電極 １５・・・絶縁保護層 １６・・・金属皮膜 １７・・・ノズル板 １８・・・隔壁 １９・・・レジスト ′！４１ 図 率 ２ 菌 （イ） （ロ）（ハ） １日
す構造断面図、第２図は第１図に示したインクジェット
ヘッドの基板部分の製造工程を示す神明図、第３図は従
来のインクジェットヘッドの分解斜視図である。 １１・・・基板 １２・・・発熱抵抗体 １３・・・選択電極 １４・・・共通電極 １５・・・絶縁保護層 １６・・・金属皮膜 １７・・・ノズル板 １８・・・隔壁 １９・・・レジスト ′！４１ 図 率 ２ 菌 （イ） （ロ）（ハ） １日
Claims (2)
- （１）絶縁性基板と、該基板上に形成された複数個の発
熱抵抗体と、該発熱抵抗体に電気信号を供給するところ
の選択電極及び共通電極と、これらの発熱抵抗体・選択
電極・共通電極を保護する絶縁保護層と、該絶縁保護層
上に形成された金属皮膜と該金属皮膜上に形成された隔
壁と、該隔壁上にインク滴を吐出するノズル孔が前記発
熱抵抗体と対向するように設置されるとともに、外周部
を前記基板に接合一体化されたノズル板とよりなること
を特徴とするインクジェットヘッド。 - （２）絶縁性基板上に複数個の発熱抵抗体と、該発熱抵
抗体に電気信号を供給するところの選択電極及び共通電
極と、これら発熱抵抗体・選択電極・共通電極を保護す
る絶縁保護層を形成した後、この絶縁性基板上に金属皮
膜を、更に該金属皮膜上に所望の隔壁形成部を除いてレ
ジストを塗皮した後、金属よりなる隔壁を形成し、その
後、前記レジストをエッチングにより除去し、その後更
にこのレジストを除去した絶縁性基板をインク滴が吐出
される複数個のノズル孔が形成されたノズル板とを前記
発熱抵抗体と、前記ノズル孔とが対向するように接合一
体化することを特徴とするインクジェットヘッドの製造
方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28105986A JPS63134247A (ja) | 1986-11-26 | 1986-11-26 | インクジエツトヘツド及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28105986A JPS63134247A (ja) | 1986-11-26 | 1986-11-26 | インクジエツトヘツド及びその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63134247A true JPS63134247A (ja) | 1988-06-06 |
Family
ID=17633736
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP28105986A Pending JPS63134247A (ja) | 1986-11-26 | 1986-11-26 | インクジエツトヘツド及びその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63134247A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02227256A (ja) * | 1989-03-01 | 1990-09-10 | Canon Inc | 液体噴射記録ヘッドの製造方法およびその方法により製造された液体噴射記録ヘッド |
-
1986
- 1986-11-26 JP JP28105986A patent/JPS63134247A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02227256A (ja) * | 1989-03-01 | 1990-09-10 | Canon Inc | 液体噴射記録ヘッドの製造方法およびその方法により製造された液体噴射記録ヘッド |
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