JPS6313632U - - Google Patents

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JPS6313632U
JPS6313632U JP10660186U JP10660186U JPS6313632U JP S6313632 U JPS6313632 U JP S6313632U JP 10660186 U JP10660186 U JP 10660186U JP 10660186 U JP10660186 U JP 10660186U JP S6313632 U JPS6313632 U JP S6313632U
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JP10660186U
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Description

【図面の簡単な説明】
第１図及び第２図は本考案超精密切削用デイス
クの着脱装置の１例を示す概略説明図、第３図は
従来のデイスク着脱装置による着脱時間と圧力と
の関係説明図、第４図は本考案デイスク着脱装置
による着脱時間と圧力との関係説明図である。 １……エアースピンドル、５……空気通路孔、
６……液体通路孔、７……空気供給源、８……液
体供給源、１２……スペーサー、１３……面板、
１４，１４′，１４″……微細孔。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 長手方向に沿つて挿通孔を設けたエアースピン
    ドルの１端に面板を取付け、該面板にアルミデイ
    スクを密着並に離脱せしめる超精密切削用デイス
    クの着脱装置において、該エアースピンドルの挿
    通孔を気体通路孔と液体通路孔とに分割して設け
    たことを特徴とする超精密切削用デイスクの着脱
    装置。
JP10660186U 1986-07-11 1986-07-11 Pending JPS6313632U (ja)

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JP10660186U JPS6313632U (ja) 1986-07-11 1986-07-11

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JP10660186U JPS6313632U (ja) 1986-07-11 1986-07-11

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JPS6313632U true JPS6313632U (ja) 1988-01-29

Family

ID=30982112

Family Applications (1)

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JP10660186U Pending JPS6313632U (ja) 1986-07-11 1986-07-11

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Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS57163035A (en) * 1981-03-27 1982-10-07 Toyoda Mach Works Ltd Vacuum chuck

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS57163035A (en) * 1981-03-27 1982-10-07 Toyoda Mach Works Ltd Vacuum chuck

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