JPS63137420A - 加熱炉 - Google Patents
加熱炉Info
- Publication number
- JPS63137420A JPS63137420A JP28309186A JP28309186A JPS63137420A JP S63137420 A JPS63137420 A JP S63137420A JP 28309186 A JP28309186 A JP 28309186A JP 28309186 A JP28309186 A JP 28309186A JP S63137420 A JPS63137420 A JP S63137420A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- inner tube
- tube
- heating furnace
- outer tube
- mullite
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は半導体製造装置における加熱炉の改良に関する
ものである。
ものである。
［従来の技術］
半導体装置の製造工程において熱酸化、熱拡酸、ＣＶＤ
（化学気相成長）、アニーリングなど加熱炉の利用範
囲は大きく、半導体製造工程において加熱炉は益々重要
な要素の１つになりつつある。この加熱炉に要求される
特性として、加熱炉内の温度分布の均一なこと、保温性
に優れていること、耐高温性であること、急速な温度の
昇降温特性のあること、発塵対策の施しであること、取
扱の利便性なとである。
（化学気相成長）、アニーリングなど加熱炉の利用範
囲は大きく、半導体製造工程において加熱炉は益々重要
な要素の１つになりつつある。この加熱炉に要求される
特性として、加熱炉内の温度分布の均一なこと、保温性
に優れていること、耐高温性であること、急速な温度の
昇降温特性のあること、発塵対策の施しであること、取
扱の利便性なとである。
従来の加熱炉においては加熱炉内の保温性を保持するた
め断熱材として耐火レンガや石綿などが用いられてきた
が加熱炉自身の熱容量が大きくなり、急速な温度の昇降
温性が悪く、また断熱材よりの発塵が問題であった。加
熱炉内の温度分布の均一性については断熱材上に発熱体
が配設されており、均熱範囲（均熱長）は炉長に対して
１／２前後にとどまっていた。
め断熱材として耐火レンガや石綿などが用いられてきた
が加熱炉自身の熱容量が大きくなり、急速な温度の昇降
温性が悪く、また断熱材よりの発塵が問題であった。加
熱炉内の温度分布の均一性については断熱材上に発熱体
が配設されており、均熱範囲（均熱長）は炉長に対して
１／２前後にとどまっていた。
［発明が解決しようとする問題点］
本発明は前述した従来の欠点を除去し、加熱炉本体の熱
容量を小さくして、加熱炉内の急速な温度昇降性を高め
、また温度分布の均一な領域を拡張し、加熱炉自体から
の発塵の問題を解消した加熱炉を提供することを目的と
する。
容量を小さくして、加熱炉内の急速な温度昇降性を高め
、また温度分布の均一な領域を拡張し、加熱炉自体から
の発塵の問題を解消した加熱炉を提供することを目的と
する。
［問題点を解決するための手段］
前記の目的を達成するために本発明の加熱炉では、管状
の外管とほぼ同軸上にあり、且つ該外管とある一定の間
隔を持ったＳｉＣ製の内管を該外管に宙吊りに配設し、
該内管に絶縁碍子により発熱体を配設し、外管と内管の
中間にムライト管を単一もしくは複数個設け、外管及び
ムライト管の而の空気層により断熱効果を保持する。ま
た外管とムライト管の間に断熱材を入れることによって
、より断熱効果を上げることも可能である。
の外管とほぼ同軸上にあり、且つ該外管とある一定の間
隔を持ったＳｉＣ製の内管を該外管に宙吊りに配設し、
該内管に絶縁碍子により発熱体を配設し、外管と内管の
中間にムライト管を単一もしくは複数個設け、外管及び
ムライト管の而の空気層により断熱効果を保持する。ま
た外管とムライト管の間に断熱材を入れることによって
、より断熱効果を上げることも可能である。
このことにより加熱炉本体の熱容量を小さくし、温度の
昇降温特性を上げ、空気を外管と内管の間に送り込み降
温特性を更に上げることもでき、加熱炉自体からの発塵
をＳｉＣ製内管及びムライト管により防止しうる。加熱
炉内の温度の均一性については発熱体が熱伝導性の良好
なＳｉＣ製内管に配設されているため内管の熱伝導効果
により加熱炉内の温度分布の均一性を保つ領域も拡大し
うる。
昇降温特性を上げ、空気を外管と内管の間に送り込み降
温特性を更に上げることもでき、加熱炉自体からの発塵
をＳｉＣ製内管及びムライト管により防止しうる。加熱
炉内の温度の均一性については発熱体が熱伝導性の良好
なＳｉＣ製内管に配設されているため内管の熱伝導効果
により加熱炉内の温度分布の均一性を保つ領域も拡大し
うる。
［実施例コ
第１図に従来の加熱炉、第２図に本発明による加熱炉の
一実施例を示す。第２図において外管１とほぼ同軸上に
内管（ＳｉＣ）５を配設する。
一実施例を示す。第２図において外管１とほぼ同軸上に
内管（ＳｉＣ）５を配設する。
外管１と内管５の間にムライト管６を配設しムライト管
６と外管１の間に断熱材２を入れることにより加熱炉内
の保温性をより向上させることができる。
６と外管１の間に断熱材２を入れることにより加熱炉内
の保温性をより向上させることができる。
外管１、ムライト管６、内管５はそれぞれ断熱性の支持
棒７によりそれぞれ宙吊りの状態に保たれている。
棒７によりそれぞれ宙吊りの状態に保たれている。
内管５には発熱体３が絶縁碍子８を介して固定される。
その固定方法の詳細は、第３図及び第４図に示す。
第３図は発熱体３を内管５の外側に固定した例を示し、
第４図は発熱体３を内管５の内側に固定した例を示す。
第４図は発熱体３を内管５の内側に固定した例を示す。
第３図において内管５に複数個の円周方向の溝ＩＩを設
け、これをガイドとして複数の固定板ｌＯを内管５の外
側に設け、絶縁碍子８を介して発熱体３を固定ネジ９に
より内管５に固定する。
け、これをガイドとして複数の固定板ｌＯを内管５の外
側に設け、絶縁碍子８を介して発熱体３を固定ネジ９に
より内管５に固定する。
第４図において発熱体３を内管５の内側に配設のとき、
内管５を半割りにして、発熱体３を絶縁碍子８を介して
固定ネジ９により内管５の内側に配設する。
内管５を半割りにして、発熱体３を絶縁碍子８を介して
固定ネジ９により内管５の内側に配設する。
また外管１には加熱炉内の熱効率を高め均熱性改善のた
め内側に金メッキを施し、加熱炉の外管（通常金属体）
の保護のため水冷パイプ４を設ける。
め内側に金メッキを施し、加熱炉の外管（通常金属体）
の保護のため水冷パイプ４を設ける。
上記に示したように加熱炉本体の熱容量を小さくして、
温度の昇降温特性を上げ、またＳｉＣの内管の熱伝導性
により加熱炉の温度分布の均一領域を拡げることを特徴
とする加熱炉を提供するものである。
温度の昇降温特性を上げ、またＳｉＣの内管の熱伝導性
により加熱炉の温度分布の均一領域を拡げることを特徴
とする加熱炉を提供するものである。
第１図は従来の加熱炉で、第２図に本発明による加熱炉
の一実施例を示す。第３図は発熱体を内管の外側に固定
した場合、第４図は発熱体を内管の内側に固定した例を
示す。 １−一一一外管 ６−−− ムライト管
２−−−− 断熱材 ７−−−支持棒
３−−ｍ−発熱体 ８−一 絶縁碍子
４−ｍ−冷却パイプ ９−ｍ−固定ネジ５
−−一 内 管 １０−一固定板１１
−−−固定ガイド 図面のγρ書 箋１１１ 特許庁長官 小 川 邦 夫 殿 １．事件の表示 ３、補正をする者 事件との関係 特許出題式 住 所 郵便番号 ２１４ 神奈川県川崎市多摩区長尾６丁目２０番３号５、補正の
対象 図面 ６、補正の内容 別紙の通り
の一実施例を示す。第３図は発熱体を内管の外側に固定
した場合、第４図は発熱体を内管の内側に固定した例を
示す。 １−一一一外管 ６−−− ムライト管
２−−−− 断熱材 ７−−−支持棒
３−−ｍ−発熱体 ８−一 絶縁碍子
４−ｍ−冷却パイプ ９−ｍ−固定ネジ５
−−一 内 管 １０−一固定板１１
−−−固定ガイド 図面のγρ書 箋１１１ 特許庁長官 小 川 邦 夫 殿 １．事件の表示 ３、補正をする者 事件との関係 特許出題式 住 所 郵便番号 ２１４ 神奈川県川崎市多摩区長尾６丁目２０番３号５、補正の
対象 図面 ６、補正の内容 別紙の通り
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １）管状の外管と該外管とほぼ同心軸上にあり、且つ前
記外管とある一定の間隔を有する内管が前記外管に宙吊
りに固定され、該内管に発熱体を絶縁碍子により配設さ
れた加熱炉において内管がＳｉＣよりなることを特徴と
する加熱炉。 ２）発熱体を前記内管の外側に配設する場合、前記内管
の外側に円周方向に複数個の溝を設け耐熱性の複数の帯
状の固定板を該円周方向溝に嵌合して固定し、該固定板
に絶縁碍子により発熱体を固定する方法。 ３）発熱体を前記内管の内側に配設する場合、前記内管
を半割りにし、かつ前記内管に複数個の貫通孔を設け前
記内管の内側に該貫通孔に取り付けられた絶縁碍子によ
り発熱体を固定する方法。 ４）外管とＳｉＣよりなる内管の間に単一もしくは複数
個のムライト管を外管及び内管とほぼ同心軸上に所定の
間隔をおいて配設することを特徴とする加熱炉。 ５）前記による特許請求範囲第４項記載の複数個のムラ
イト管で構成されている加熱炉において相互のムライト
管の間に断熱材を挿入した加熱炉。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28309186A JPS63137420A (ja) | 1986-11-29 | 1986-11-29 | 加熱炉 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28309186A JPS63137420A (ja) | 1986-11-29 | 1986-11-29 | 加熱炉 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63137420A true JPS63137420A (ja) | 1988-06-09 |
Family
ID=17661100
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP28309186A Pending JPS63137420A (ja) | 1986-11-29 | 1986-11-29 | 加熱炉 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63137420A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0786194A (ja) * | 1993-09-09 | 1995-03-31 | Sansha Electric Mfg Co Ltd | 炭化硅素製炉芯管を有する拡散炉 |
-
1986
- 1986-11-29 JP JP28309186A patent/JPS63137420A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0786194A (ja) * | 1993-09-09 | 1995-03-31 | Sansha Electric Mfg Co Ltd | 炭化硅素製炉芯管を有する拡散炉 |
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