JPH01150096A - 保温機能を有する導管 - Google Patents
保温機能を有する導管Info
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- JPH01150096A JPH01150096A JP62305828A JP30582887A JPH01150096A JP H01150096 A JPH01150096 A JP H01150096A JP 62305828 A JP62305828 A JP 62305828A JP 30582887 A JP30582887 A JP 30582887A JP H01150096 A JPH01150096 A JP H01150096A
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- Japan
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- heating element
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- Pending
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Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16L—PIPES; JOINTS OR FITTINGS FOR PIPES; SUPPORTS FOR PIPES, CABLES OR PROTECTIVE TUBING; MEANS FOR THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16L53/00—Heating of pipes or pipe systems; Cooling of pipes or pipe systems
- F16L53/30—Heating of pipes or pipe systems
- F16L53/35—Ohmic-resistance heating
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Pipe Accessories (AREA)
- Thermal Insulation (AREA)
- Rigid Pipes And Flexible Pipes (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
「産業上の利用分野」
本発明は、半導体等を製造するときに使用するガスを導
く導管において、導管の外周から加熱できるようにした
保温機能を有する導管に関する。
く導管において、導管の外周から加熱できるようにした
保温機能を有する導管に関する。
「従来の技術」
半導体を製造する場合、各種のガスを使用するが、それ
らガスは使用時の反応温度が高いため、ガスを供給する
管路においても予熱しておくことが望ましい。そのため
従来では、ガスを供給するように配管した導管の外周に
、アスベストやセラミックファイバーを巻き回し、その
上にニクロム線を巻き、その外周を絶縁および断熱のた
めにアスベストやセラミックファイバーで覆っている。
らガスは使用時の反応温度が高いため、ガスを供給する
管路においても予熱しておくことが望ましい。そのため
従来では、ガスを供給するように配管した導管の外周に
、アスベストやセラミックファイバーを巻き回し、その
上にニクロム線を巻き、その外周を絶縁および断熱のた
めにアスベストやセラミックファイバーで覆っている。
そして、ニクロム線に電圧を印加して導管を加熱してい
る。
る。
「発明が解決しようとする問題点」
従来、導管を加熱する場合、配管された導管にアスベス
トやセラミックファイバーを巻きつけ、さらにニクロム
線を巻きつける作業があるために、その作業に時間を要
し、不経済であった。
トやセラミックファイバーを巻きつけ、さらにニクロム
線を巻きつける作業があるために、その作業に時間を要
し、不経済であった。
また導管の外周をアスベストやセラミックファイバーで
覆っているが、それらは、時の経過により微粉となっっ
て落下したり、あるいはほこりとなって飛散するなど、
半導体製造に必要な装置付近のクリーン度が低下すると
いう問題があった。
覆っているが、それらは、時の経過により微粉となっっ
て落下したり、あるいはほこりとなって飛散するなど、
半導体製造に必要な装置付近のクリーン度が低下すると
いう問題があった。
さらにニクロム線を巻きつけて加熱する場合、各巻き線
は間隔があけられるので導管の各位置を均一温度に加熱
することが困難であるという問題があった。
は間隔があけられるので導管の各位置を均一温度に加熱
することが困難であるという問題があった。
そこで本発明は、導管の外周に設ける加熱のための外装
から微粉やほこりが発生しないようにするとともに、均
一に加熱できるようにし、しかも作業性良く配管作業が
できるようにすることを目的とする。
から微粉やほこりが発生しないようにするとともに、均
一に加熱できるようにし、しかも作業性良く配管作業が
できるようにすることを目的とする。
ｒ問題点を解決するための手段」
本発明は、導管の外周に、内側から順次、内側絶縁層、
発熱体層、外側絶縁層を設け、発熱体層に電圧印加でき
るようにした保温機能を有する導管である。
発熱体層、外側絶縁層を設け、発熱体層に電圧印加でき
るようにした保温機能を有する導管である。
内側および外側絶縁層は、アルミナ、ＭｇＡｌ２Ｏ４、
ガラス等のセラミック材を溶射して形成され、発熱体層
はセラミックと導電性金属との混合体で形成される。ま
た外側絶縁層の外周に、シリコンゴム、テフロン等の熱
絶縁層を設けて保温効果を向上させることもできる。
ガラス等のセラミック材を溶射して形成され、発熱体層
はセラミックと導電性金属との混合体で形成される。ま
た外側絶縁層の外周に、シリコンゴム、テフロン等の熱
絶縁層を設けて保温効果を向上させることもできる。
「作用」
上記手段において、導管はその全外周が均一に発熱体層
で覆われているので、導管全体を均一に加熱できる。ま
た、外周層としての外側絶縁層あるいは熱絶縁層は、溶
射したセラミック層あるいはシリコンゴム等であるので
、時の経過により微粉を落下させたり、はこりを生じさ
せることがない。さらに、導管の外周に設ける絶縁層や
発熱体層は配管する前に溶射により形成するので、その
配管作業性がよい。
で覆われているので、導管全体を均一に加熱できる。ま
た、外周層としての外側絶縁層あるいは熱絶縁層は、溶
射したセラミック層あるいはシリコンゴム等であるので
、時の経過により微粉を落下させたり、はこりを生じさ
せることがない。さらに、導管の外周に設ける絶縁層や
発熱体層は配管する前に溶射により形成するので、その
配管作業性がよい。
「実施例」
本発明である保温機能を有する導管の実施例を図面によ
り説明する。
り説明する。
ガス等を導くため金属、合成樹脂等により形成した導管
ｌは、適宜長さを有し、本実施例ではＳＵ Ｓ ３１１
３により外径６璽謬、内径５．３ ＋ｓｍに形成した。
ｌは、適宜長さを有し、本実施例ではＳＵ Ｓ ３１１
３により外径６璽謬、内径５．３ ＋ｓｍに形成した。
導管１の外周に、内側から順次、約３００ｇｍの厚さの
内側絶縁層２、約０．１５ｍｍの厚さの発熱体層３、約
０．１ ａｍ厚さの外側絶縁層４が形成される。
内側絶縁層２、約０．１５ｍｍの厚さの発熱体層３、約
０．１ ａｍ厚さの外側絶縁層４が形成される。
また導管１の外周での断熱性を向上させるため、外側絶
縁層４の外周に０．５〜５ ｍｍの厚さの熱絶縁層５を
設けることができ、その材料としてシリコンゴム、テフ
ロン、バルーン等を使用できる。
縁層４の外周に０．５〜５ ｍｍの厚さの熱絶縁層５を
設けることができ、その材料としてシリコンゴム、テフ
ロン、バルーン等を使用できる。
発熱体層３は、導電性金属とセラミックとの混合体を溶
射して形成され、例えばニクロムあるいはＦｅ−Ｃｒ−
Ａｌ合金とアルミナの混合体、あるいはニクロムあるい
はＦｅ−Ｃｒ−Ａｌ合金と各種フェライトの混合体等を
使用できる。また発熱体層３の外周における軸方向両端
部に、図示を省略した例えばリング状の電極がそれぞれ
設けられ、その電極を介して発熱体層３に電圧を印加す
ることにより加熱できるようになっている。すなわち発
熱体層３は、セラミック基地中に分散された金属が平面
的なネットワークを形成して電気的に連続し、所定の抵
抗値を持つようになっている。
射して形成され、例えばニクロムあるいはＦｅ−Ｃｒ−
Ａｌ合金とアルミナの混合体、あるいはニクロムあるい
はＦｅ−Ｃｒ−Ａｌ合金と各種フェライトの混合体等を
使用できる。また発熱体層３の外周における軸方向両端
部に、図示を省略した例えばリング状の電極がそれぞれ
設けられ、その電極を介して発熱体層３に電圧を印加す
ることにより加熱できるようになっている。すなわち発
熱体層３は、セラミック基地中に分散された金属が平面
的なネットワークを形成して電気的に連続し、所定の抵
抗値を持つようになっている。
内側絶縁層２と外側絶縁層４は、発熱体層３の内側と外
側を絶縁させるためのものであり、それぞれ例えばアル
ミナを溶射して形成される。なお、各絶縁層の材料は、
内周と外周の材料のものに付着しやすく、かつそれぞれ
の熱膨張率の差が小さいものが望ましく、アルミナ以外
にＭｇＡ！２０４、ガラス等のセラミック材を適用する
こともできる。また導管ｌが電気的絶縁体で形成される
場合は、内側絶縁層が不要になる。
側を絶縁させるためのものであり、それぞれ例えばアル
ミナを溶射して形成される。なお、各絶縁層の材料は、
内周と外周の材料のものに付着しやすく、かつそれぞれ
の熱膨張率の差が小さいものが望ましく、アルミナ以外
にＭｇＡ！２０４、ガラス等のセラミック材を適用する
こともできる。また導管ｌが電気的絶縁体で形成される
場合は、内側絶縁層が不要になる。
そして前記構成の保温機能を有する導管を複数本連続さ
せて、半導体製造装置等の配管をすれば、それで保温機
能を有する管路が形成される。なお、前記では直線状の
導管であったが、屈曲した導管にも本発明を適用できる
。
せて、半導体製造装置等の配管をすれば、それで保温機
能を有する管路が形成される。なお、前記では直線状の
導管であったが、屈曲した導管にも本発明を適用できる
。
「発明の効果」
本発明の保温機能を有する導管は、導管の外周に発熱体
層を設けているので、保温機能を有する管路の配管作業
が簡単になる。また導管の外周は、溶射したセラミック
層、あるいはシリコンゴム等の熱絶縁層であるので、微
粉が生じたりほこりを生じることがなく、半導体製造装
置を設けた室内をクリーンに保つことができる。また加
熱するのは面状の発熱体層であるので、各位置での加熱
状態を均一に保つことができ、熱効率がよい。
層を設けているので、保温機能を有する管路の配管作業
が簡単になる。また導管の外周は、溶射したセラミック
層、あるいはシリコンゴム等の熱絶縁層であるので、微
粉が生じたりほこりを生じることがなく、半導体製造装
置を設けた室内をクリーンに保つことができる。また加
熱するのは面状の発熱体層であるので、各位置での加熱
状態を均一に保つことができ、熱効率がよい。
図面は本発明の保温機能を有する導管の横断面図である
。 ｌ；導管 ２：内側絶縁層 ３；発熱体層 ４；外側絶縁層 ５；熱絶縁層
。 ｌ；導管 ２：内側絶縁層 ３；発熱体層 ４；外側絶縁層 ５；熱絶縁層
Claims (4)
- （１）導管の外周に、内側から順次、内側絶縁層、発熱
体層、外側絶縁層を設け、発熱体層に電圧印加用の電極
を設けたことを特徴とする保温機能を有する導管。 - （２）外側絶縁層の外周に、シリコンゴム、テフロン等
の熱絶縁層を設けたことを特徴とする特許請求の範囲第
１項に記載の保温機能を有する導管。 - （３）発熱体層は、セラミックと導電性金属との混合体
からなることを特徴とする特許請求の範囲第１項と、第
２項に記載の保温機能を有する導管。 - （４）内側と外側の絶縁層は、アルミナ、ＭｇＡｌ＿２
Ｏ＿４、ガラス等のセラミック材を溶射することにより
形成したことを特徴とする特許請求の範囲第１項に記載
の保温機能を有する導管。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62305828A JPH01150096A (ja) | 1987-12-04 | 1987-12-04 | 保温機能を有する導管 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62305828A JPH01150096A (ja) | 1987-12-04 | 1987-12-04 | 保温機能を有する導管 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01150096A true JPH01150096A (ja) | 1989-06-13 |
Family
ID=17949862
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62305828A Pending JPH01150096A (ja) | 1987-12-04 | 1987-12-04 | 保温機能を有する導管 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01150096A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004353681A (ja) * | 2003-05-26 | 2004-12-16 | Sumitomo Electric Ind Ltd | ベーキング方法 |
| US11001784B2 (en) | 2012-09-13 | 2021-05-11 | Ecolab Usa Inc. | Detergent composition comprising phosphinosuccinic acid adducts and methods of use |
| US11053458B2 (en) | 2012-09-13 | 2021-07-06 | Ecolab Usa Inc. | Hard surface cleaning compositions comprising phosphinosuccinic acid adducts and methods of use |
| JP2021101143A (ja) * | 2016-02-18 | 2021-07-08 | ベバスト エスエーＷｅｂａｓｔｏ ＳＥ | 熱交換器、特に水空気熱交換器又は油水熱交換器 |
| US11865219B2 (en) | 2013-04-15 | 2024-01-09 | Ecolab Usa Inc. | Peroxycarboxylic acid based sanitizing rinse additives for use in ware washing |
| JP2024510243A (ja) * | 2021-03-15 | 2024-03-06 | ベーアーエスエフ・エスエー | 流体の温度を制御するための装置 |
-
1987
- 1987-12-04 JP JP62305828A patent/JPH01150096A/ja active Pending
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004353681A (ja) * | 2003-05-26 | 2004-12-16 | Sumitomo Electric Ind Ltd | ベーキング方法 |
| US11001784B2 (en) | 2012-09-13 | 2021-05-11 | Ecolab Usa Inc. | Detergent composition comprising phosphinosuccinic acid adducts and methods of use |
| US11053458B2 (en) | 2012-09-13 | 2021-07-06 | Ecolab Usa Inc. | Hard surface cleaning compositions comprising phosphinosuccinic acid adducts and methods of use |
| US11859155B2 (en) | 2012-09-13 | 2024-01-02 | Ecolab Usa Inc. | Hard surface cleaning compositions comprising phosphinosuccinic acid adducts and methods of use |
| US11952556B2 (en) | 2012-09-13 | 2024-04-09 | Ecolab Usa Inc. | Detergent composition comprising phosphinosuccinic acid adducts and methods of use |
| US11865219B2 (en) | 2013-04-15 | 2024-01-09 | Ecolab Usa Inc. | Peroxycarboxylic acid based sanitizing rinse additives for use in ware washing |
| JP2021101143A (ja) * | 2016-02-18 | 2021-07-08 | ベバスト エスエーＷｅｂａｓｔｏ ＳＥ | 熱交換器、特に水空気熱交換器又は油水熱交換器 |
| JP2024510243A (ja) * | 2021-03-15 | 2024-03-06 | ベーアーエスエフ・エスエー | 流体の温度を制御するための装置 |
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