JPS63137730A - 有害ガス緊急排気装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、半導体製造設備等で用いられる有害ガスのガ
スボンベや装置から漏出したガスの緊急排気装置に関す
る。

［従来の技術］ 従来、この種の有害ガス緊急排気装置としては、ボンベ
ボックス、送風器、有害ガス処理器等で構成された装置
がある。この装置は、有害ガスを使用する装置、あるい
はボンベを筐体内に設置し、内部を送風器により排気す
る構成をとフている。筐体内部を送風器により排気する
ことで、筐体内を外気より低圧力に保ち、筐体内のガス
ボンベ等から漏出した有害ガスを外部に拡散させて人体
への悪影響を防止している。また、送風器によって排気
された有害ガスは、有害ガス処理器により有害ガス成分
が除去され大気中に放散されていた。

［解決すべき問題点コ 上述した従来の有害ガス緊急排気装置では、筐体の容積
と筐体内から有害ガスを完全に排気するための所要時間
とを考慮すると、毎分当り１立方メートル以上の排気量
が必要となるため、有害ガス処理器として、大流量に圧
力損失が小さなアルカリ水容器を用いた洗浄器を使用し
、処理していた。しかし、これらの装置は、大流量を排
気処理するため、排気ダクトが太く、装置が大型になる
欠点があった。

また、上記有害ガス処理器としてアルカリ洗浄器の代り
にモレキュラシーブ等の固形吸着剤を使用し、装置自体
の小型化を図ったものもあるが、大量の排気処理をする
には固形吸着剤による圧力損失が大きすぎ、実用上緊急
排気装置として適当なものではなかった。

［問題点の解決手段］ 本発明は、上記従来の問題点を解決するためになされた
もので、そのための解決手段として、有害ガスボンベ等
を収納する筐体を気密に形成し、該筐体に、筐体下部及
び上部に各々吸入部と排出部を有しポンプ機能により筐
体内有害ガスを筐体内で送風循環させる送風器を設け、
該送風器の吸入部と排出部との間に有害ガス吸着用の吸
着剤を介装し、また、該筐体に筐体内有害ガスを検出し
前記有害ガスボンベ等の栓を閉じると共に前記送風器の
作動を開始又は停止させる有害ガス検出器を取付けてな
る有害ガス緊急排気装置を提供するものである。

［実施例］ 次に、本発明の実施例について図面を参照して説明する
。

第１図は本発明の一実施例に係る有害ガス緊急排気装置
の概略図である。また、第２図は本発明の他の実施例に
係る有害ガス緊急排気装置の概略図である。

有害ガス緊急排気装置は、第１図に示す如く、有害ガス
のガスボンベ１を収納する筺体２と、該筐体２内に設け
られた送風器３と、該送風器３の吸入部４と排気部５の
間に介装した有害ガス吸着用の吸着剤６と、該送風器３
と連動する有害ガス検出器７とよりなる。

筐体２は、気密に形成され漏出した有害ガスの外部への
放散を防止している。

送風器３は、管状の吸入部４を筺体２の下部に配しかつ
管状の排出部５を筺体２の上部に配した形で筐体２内に
設けられている。そのポンプ機能により、筐体２内の有
害ガスを筐体２内部で対流循環させる。

吸着剤６は、送風器３の吸入部４と排出部５との間に介
在した形で送風器３に取付けである。これにより吸入部
４から吸入した有害ガスが吸着剤６に吸着する。

有害ガス検出器７は、筺体２内に漏出した有害ガスの濃
度を検出する機能を有する。有害ガス検出器７は、ガス
ボンベ１及び送風器３と接続されており、有害ガスを検
出すると共にガスボンベ１の元栓を閉めかつ送風器３を
作動又は停止させるように設定されている。

本実施例の作用について説明する。

ガスボンベ１から有害ガスが漏出し、その濃度が一定値
以上になると有害ガス検出器７によって検出される。こ
のとき有害ガス検出器７は、検出と同時にガスボンベｌ
の元栓を閉め、更に送風器３を作動させる。送風器３が
作動すると筐体２内の有害ガスを含む気体を送風器３が
吸入部４から吸入し吸着剤６側に送り込む。吸着剤６に
送り込まれた気体は、吸着剤６を通過した後、排出部５
から筐体内に排出される。このとき、吸着剤６が気体中
の有害ガスを吸着する。この動作を連続的に繰り返して
いくと、筐体内の有害ガスの大部分が吸着剤６に吸着し
、有害ガスの濃度が低減する。有害ガス濃度が一定値以
下になると有害ガス検出器７が送風器３を停止させ、筐
体内の有害ガスの緊急排気は完了する。

尚、本実施例にあフては、送風器３の吸入部４を筺体２
の下部に配し、排出部５を上部に配しているが、これに
限定する趣旨ではなく、例えば有害ガスが空気より軽い
場合には、吸入部４を筺体２の上部に配し、排出部５を
下部に配して、気体の対流循環効率を図ることができる
のは明らかである。

次に、本発明の他の実施例を第２図に基づいて説明する
。

有害ガス緊急排気装置は、筺体２の側面に設けた送風器
３と、筺体２の内部に取付けた有害ガス吸着用の吸着剤
６と、有害ガス検出器７とよりなる。

吸着剤６は、筺体２を画する形で壁状に筐体２下部に取
付けてあり、その上部には空気より重い有害ガスの入っ
たガスボンベ１と有害ガス検出器７が配置されている。

送風器３は、筺体２の側面に配置され、吸入部４が吸着
剤６の下方位置に配され、排出部５が吸着剤６の上方位
置に配されている。

その他の点については、第１図の実施例に係る有害ガス
緊急排気装置と同様の構成をとフている。

本実施例の作用については以下の通りである。

ガスボンベ１から漏出した有害ガスは有害ガス検出器７
により検出され、有害ガス検出器７がガスボンベ１の元
栓を閉じると共に送風器３を動作させる。このとき、ガ
スボンベしから漏出した有害ガスは空気より重いため、
有害ガスの重さと送風器３との共働作用により下方から
上方へと効率よく対流循環する。その他の作用について
は第１図の実施例の作用と同様である。

［発明の効果］ 以上説明したように本発明は、有害ガスを供給、使用す
る部分を気密構造の筐体とし、かつその内部に送風器と
有害ガス吸着剤を設置し、筐体内部で有害ガスを含む気
体を循環させ有害ガスを取除く構成をとっているため、
送風器の小型化を図ることができると共に、有害ガス処
理器も大型の洗浄塔の代りに小型の固形吸着剤による処
理が可能となり、有害ガス緊急排気装置自体を小型にす
ることができる効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例に係る有害ガス緊急排気装置
の概略図、第２図は本発明の他の実施例に係る有害ガス
緊急排気装置の概略図である。 １：ガスボンベ　　２：筐体 ３：送風器　　　　４：吸入部 ５：排出部　　　　６：吸着剤 ７：有害ガス検出器

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 有害ガスボンベ等を収納する筐体を気密に形成し、該筐
   体に、筐体下部及び上部に各々吸入部と排出部を有しポ
   ンプ機能により筐体内有害ガスを筐体内で送風循環させ
   る送風器を設け、該送風器の吸入部と排出部との間に有
   害ガス吸着用の吸着剤を介装し、また、該筐体に筐体内
   有害ガスを検出し前記有害ガスボンベ等の栓を閉じると
   共に前記送風器の作動を開始又は停止させる有害ガス検
   出器を取付けてなる有害ガス緊急排気装置。