JPS63138509A - 磁気ヘツド - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は磁気ディスク装置等に用いる浮上型磁気ヘッド
の構造に関する。

〔発明の概要〕

本発明は磁気ディスク装置等に用いる浮上灘磁気ヘッド
の構造において、磁気記録ギャップ部に記録幅に相当す
る軟磁性金属膜を形成することにより、高密度記録に適
した狭トラツク、狭ギヤツプヘッドを高精度、低価格に
て提供するものである。

〔従来の技術〕

近年磁気ディスク装置は広く一般に普及し、大型コンピ
ュータのみならず、パーソナルコンピュータ向けの小型
磁気ディスク市場が急速に拡大しククある。小型磁気デ
ィスクは５．２５　　インチから３．５インチへと小型
化の傾向にあシ、技術的特漱としては、高密度化（高線
密度化、高トラツク密度化）による大容量化があげられ
、ディスク媒体も塗布型からメツギ、スパッタによる薄
膜ディスクを用いるなど、記録容量も数十メガバイト機
種が開発されている。それに伴うて、Ｂｉ気ヘッドはモ
ノリシックタイプからミニモノリシックタイプと小型化
される一方で、コアとスライダーを複合して成るミニ・
コンポジット、薄膜ヘッドなどが出現している１周知の
ごとく、高密度記録化には。

磁気ヘッドの狭トラツク化が重要で１ハｉニコ／ポジツ
ト、＃膜ヘッド出現の背景には、ミニモノリシックタイ
プの狭トラツク化の限界を超える必要性があった。また
、高保磁力ディスク媒体を融化する必要もあるため、特
開昭６０−１５４３１０に見られるようにコアチップを
複合構造としたコンポジットヘッドも考案されている。

〔発明が解決しようとする問題点〕゛ しかし、前述の従来技術による方法では％第１に、ミニ
コンポジットヘッドではコアチップとスライダーを別々
に加工して融着する方法をとるためガラス融着等による
高温加熱冷却工程が２〜３回必要となり工程の複雑さの
みならず、異種材料接着による熱膨張の問題等から発生
する歩留り低下に起因するヘッドの高価格化を招き易い
、第２に、薄膜ヘッドにあっても、磁極形成プロセスに
おけるコスト高や難加工性材料（ム１ｍｏｓ−Ｔ４Ｃ）
　ｔ−用いる為発生する後工程に於ける磁極形成膜、保
Ｍ［剥離などの問題等があ）、いずれもヘッドの低価格
化は困難である。第２図に現在最も広く用いられている
低コストヘッドとしてミニモノリシックヘッドの斜視図
を示す、ヘッドコア部２１はスライダるなどと共にフェ
ライト材が用いられ、中央部スがトラック幅に等しい寸
法に研削加工にて絞シ込まれている。ギャップ部ηは非
磁性材のｓｈｏ、やＡ４ｍ０３等がギャップ幅に等しく
なるよう形成され、ガラス融着されている。２５はヘッ
ドの支持台となるサスペンションが接着される切欠きで
ある。このミニモノリシックタイプヘッドでは、別の狭
トラツク加工が幅Ｉμ惜前後が限界であり、低価格ヘッ
ドでありながら高密度記録対応には適さない、そこで本
発明はこのような問題点を解決するもので、その目的と
するところは、高密度記録に適した狭トラツク、狭ギャ
ップヘラドラ高精度、低価格にて提供するところにある
。

〔問題点を解決するための手段〕

本発明の磁気ヘッドは、スライダ部をもの浮上型磁気ヘ
ッドに於いて、記録ギャップ部に記録幅に相当する軟磁
性金属！［を形成したことｔ−特徴とする。

〔実施列〕

第１図は本発明の一実施例である浮上型磁気ヘッドの斜
視図であル、媒体側から見た図である。

第１図に於いて％ｌ】はスライダ部であり単結晶もしく
は多結晶フェライト材を用いている。　１２はコアチッ
プに相当するもので１１と同様フェライト材を用いてい
る。７エライ暫は加工性、耐摩耗性に優れた材質を選択
する必要があシ、特にメディアとのＣｌ３８特性（〈９
返し接触−浮上特性）が重要な決定要因になる。また１
本発明の磁気ヘッドに後述するごとく軟ｔａ性金属Ｉ［
金主磁極とする為補助磁極としてのフェライトの磁気特
性が優れていることも必要である。第３図に本発明の磁
気ヘッドの記録ギャップ近傍の拡大図を示す、スライダ
３１．コアテップ３２はフェライトを用い磁気ギャップ
は非ａ性材料のｓｈｏ　１．ム７．ｏ、等を使用し、最
も重要なギャップ近傍に高透磁率磁性材の軟磁性金属＠
３４ヲ形成し、融着ガラスあにてコアチップ３２、スラ
イダ３１ヲ融着せしめる。トラック幅３６を金属磁性膜
あの幅にて決定している点が−りの％微である。金属磁
性膜の役割は、ギャップ近傍の漏れ磁束を急峻に媒体側
に立ち上げ％フェライトのみでは磁化出来ない高保持力
媒体への記録を可能ならしめることである。第４図から
第８図に於いて本発明の一実施例である磁気ヘッドの製
造法の一列を簡単に示す、最初に第４図に示すとと〈７
エ２イト材をブロック切断し、ギャップ面４１を鏡面仕
と研摩する。スライダ面４２ｔ−基準に各面の垂直、平
行度を精度良く加工する。第５図はコアチップとなるフ
ェライトバーであり、ギャップ面５１ｔ−４１と同じ工
程にて鏡面仕上研摩加工し、完成後にコイルを巻き付け
る巻線溝５２及びガラス融着溝５３をスライシングマシ
ン等で高精度に溝加工する。第５図に示した７エライト
バーは第６図で示すごとく軟ＷＢ注金属膜６１．非磁性
層６２をスパッタリング、蒸着、メッキ等にょり形成す
る。

第７図では、半導体プロセス等で用いられる７オトリソ
エ程（ウェットエツチング、ドライエツチングなど）に
てコアチップ形成に必要な位置にトラック幅に相当する
軟磁性金属＠７１及び非磁性層７２のみ残して他は除去
する。最後に第８図に示すごとく、第４図にて作成した
スライダ部とガラス融着し、サスペンション接着溝８１
及びスライダ溝８２等の加工を行い、斜線部を除去し細
部の仕上加工等を行って第１図に示す磁気ヘッドを得る
０本発明の磁気ヘッドに用いる軟磁性金属膜は、ＩＦｇ
−ＡＩＩ−８７合金（センダスト）　ＩＦｅ、Ｃｏ系ア
モルファス、パーマロイ等いずれでも良く、場合によっ
てはより高透磁率を得る為に積層Ｉｌｌ造とすることも
可能である。

〔発明の効果〕

以上述べたように１本発明によれば、軟磁性金属［１−
ギャップ近傍に形成且つエツチング加工によ）狭トラツ
ク化することによフ高密度記録用ヘッドの実現を可能と
し、フェライトモノリシックヘッドの加工工程に準じた
製法がとれる為、低コスト量産性に優れている。また、
同じ工程にて軟磁性金属膜の種類、最大飽和磁束密度を
変えたシ、積層構造とすることなどが可能な為、媒体の
抗磁力に合わせたヘッドを作成することが可能となるな
ど薄膜ヘッドに勝る特性が発揮され且つアセンブル工程
はミニモノリシックと同機であるなどの数々の曖れた効
果を発揮するものである。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の磁気ヘッドの一実施例を示す斜視図、
　１１・・スライダ部　１２・・コアチップ１３・・ギ
ャップ部 第２図は従来のモノリシックヘッドを示ス斜視図、２１
・・ヘッドコア部　ρ・・ギャップ８Ｂ２３・・スライ
ダ部　冴・・狭トラツク加工部　５会・サスペンション
接着用切欠き。 第３図は本発明の磁気ヘッドの記録ギャップ近傍の拡大
図、３１・・スライダ部　諺・・コアチップ　お・・融
着ガラス　あ・・軟磁性金属膜　３５・・ギャップ部　
３６・・トラック幅 第４図は、スライダ用フェライトブロックの斜視図、４
１・・ギャップ面　４２＠・スライダ面第５図〜７図は
コアチップ用７エライトバーの斜視図、５１・−ギャッ
プ面　５２・・巻線＠５３・・融着ガラス！１ｆ　６１
・７１０・軟磁性金属膜６２・７２・・非磁性層 第８ｒＩ！Ｊはスライダ部及びコアチップ部の融着稜を
示す斜視図、８１・・サスペンション接着溝８２・・ス
ライダ溝。 以　　　と 出願人　セイコーエプソン株式会社 代理人　弁理士最　上　　務他１名 、　、・−） ２＋ 第２図 第　３　囚 第　４　口 第　Ｓ　凹 ′Ｘ　ｔ　図 冨　７　図 第　８　囚

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. スライダ部をもつ浮上型磁気ヘッドにおいて、記録ギャ
   ップ部に記録幅に相当する軟磁性金属膜を形成したこと
   を特徴とする磁気ヘッド。