JPS63140161A - 位置決めテ−ブル - Google Patents
位置決めテ−ブルInfo
- Publication number
- JPS63140161A JPS63140161A JP61287917A JP28791786A JPS63140161A JP S63140161 A JPS63140161 A JP S63140161A JP 61287917 A JP61287917 A JP 61287917A JP 28791786 A JP28791786 A JP 28791786A JP S63140161 A JPS63140161 A JP S63140161A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- nut
- feed screw
- axis
- holding member
- movable
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Transmission Devices (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、位置決めテーブルに関し、特に送りねじでテ
ーブルを移動させるようにした位置決めテーブルにおい
て、その送りねじに螺合するナツトの取付構造の改良に
関するものである。
ーブルを移動させるようにした位置決めテーブルにおい
て、その送りねじに螺合するナツトの取付構造の改良に
関するものである。
従来の技術
従来の送りねじを用いた位置決めテーブルにおいては、
第３図に示すように、テーブル３２を空気軸受を介して
〃イドレール３１に沿って移動自在に支持するとともに
、〃イドレール３１に沿って送りねじ３３を並設し、こ
の送りねじ３３をサーボモータ３４にて回転駆動するよ
うに構成し、前記送りねじ３３に螺合したナツト３５を
前記テーブル３２に取付け、さらにこのナラ）３５の取
付構造として、第４図（ａ） 、（ｂ） 、 （ｅ）
、（ｄ）に示すように、ナツト３５の上下両側に送りね
じ３３の軸心方向に対して垂直に、丸軸３６と角軸３７
を突設し、丸軸３６はボール３８を介してその軸心方向
に移動可能にかつボール３８の接、αを中心にして揺動
可能に支持し、角軸３７は前記送りねじ３３の軸心に対
して垂直な平面と平行な側面３７ａをボール３９を介し
て平面移動可能に支持した構造のものが知られている。
第３図に示すように、テーブル３２を空気軸受を介して
〃イドレール３１に沿って移動自在に支持するとともに
、〃イドレール３１に沿って送りねじ３３を並設し、こ
の送りねじ３３をサーボモータ３４にて回転駆動するよ
うに構成し、前記送りねじ３３に螺合したナツト３５を
前記テーブル３２に取付け、さらにこのナラ）３５の取
付構造として、第４図（ａ） 、（ｂ） 、 （ｅ）
、（ｄ）に示すように、ナツト３５の上下両側に送りね
じ３３の軸心方向に対して垂直に、丸軸３６と角軸３７
を突設し、丸軸３６はボール３８を介してその軸心方向
に移動可能にかつボール３８の接、αを中心にして揺動
可能に支持し、角軸３７は前記送りねじ３３の軸心に対
して垂直な平面と平行な側面３７ａをボール３９を介し
て平面移動可能に支持した構造のものが知られている。
このような構造によって、ナツト３５は上下移動可能に
かつ丸軸３６のボール３８との接点を中心にして角軸３
７の側面３７ａに沿って揺動可能に支持されており、ナ
ツト３５をガイドレール３１と送りねじ３３の相対位置
の偏差、を吸収して円滑に移動駆動できることになる。
かつ丸軸３６のボール３８との接点を中心にして角軸３
７の側面３７ａに沿って揺動可能に支持されており、ナ
ツト３５をガイドレール３１と送りねじ３３の相対位置
の偏差、を吸収して円滑に移動駆動できることになる。
発明が解決しようとする問題点
しかしながら、上記位置決めテーブルの構成では、ナツ
ト３５は送りねじ３３の軸心振れに対して上下左右には
追従できるが、送りねじ３３の軸心の傾きに対しては拘
束されているため追従が完全でないという問題があり、
そのためにテーブル３２の移動にヨーイングやピッチン
グを生ずるという問題があった。さらに、上記構成では
、送りねじ３３の回転トルクに対する支、儂は前記ナツ
ト３５の上方の丸軸３６とボール３８の接点唯一つであ
り、このため送りねじ３３の回転トルクの反力が送りね
じ３３の左右振れを生ザしぬるという問題があった。
ト３５は送りねじ３３の軸心振れに対して上下左右には
追従できるが、送りねじ３３の軸心の傾きに対しては拘
束されているため追従が完全でないという問題があり、
そのためにテーブル３２の移動にヨーイングやピッチン
グを生ずるという問題があった。さらに、上記構成では
、送りねじ３３の回転トルクに対する支、儂は前記ナツ
ト３５の上方の丸軸３６とボール３８の接点唯一つであ
り、このため送りねじ３３の回転トルクの反力が送りね
じ３３の左右振れを生ザしぬるという問題があった。
本発明は上記従来の問題点をＦｉ￥ｊｌＹ Ｌ、ナツト
が送りねじの軸心方向に灯して垂直な平面上を可動でか
つ送りねじのいずれの方向の傾きにも追従できるように
した、送り？１１度の高い位置決めテーブルを提供する
ことを目的とする。
が送りねじの軸心方向に灯して垂直な平面上を可動でか
つ送りねじのいずれの方向の傾きにも追従できるように
した、送り？１１度の高い位置決めテーブルを提供する
ことを目的とする。
問題点を解決するための手段
本発明に係る位置決めテーブルは、上記目的を達成する
ため、テーブルと、テーブルを移動可能に支持する直線
案内軸受と、前記テーブルの移動方向に沿うように配設
された口伝駆動可能な送りねじと、送りねじに螺合され
たナツトと、ナツトを保持したナツト保持部材と、前記
ナツトの軸心を通るとともにこれに対して垂直な軸心回
りに揺動並びに軸心方向に移動可能に前記ナンド保持部
材を支持する揺動枠と、前記ナツトの軸心を通るととも
にこれに対して垂直でかつ前記ナツト保持部材の支持軸
心に対して略垂直な軸心回りに揺動並びに軸心方向に移
動可能に前記揺動枠を支持する取付部材とから成ること
を特徴とする。
ため、テーブルと、テーブルを移動可能に支持する直線
案内軸受と、前記テーブルの移動方向に沿うように配設
された口伝駆動可能な送りねじと、送りねじに螺合され
たナツトと、ナツトを保持したナツト保持部材と、前記
ナツトの軸心を通るとともにこれに対して垂直な軸心回
りに揺動並びに軸心方向に移動可能に前記ナンド保持部
材を支持する揺動枠と、前記ナツトの軸心を通るととも
にこれに対して垂直でかつ前記ナツト保持部材の支持軸
心に対して略垂直な軸心回りに揺動並びに軸心方向に移
動可能に前記揺動枠を支持する取付部材とから成ること
を特徴とする。
作用
本発明の上記構成によれば、ナツトは送りねじ−こよる
送り方向と回転方向にのみ規制された状態で取付部材に
て支持されており、４自由度を完全に備えているため、
直線案内軸受と送りねじの間の平行度や送りねじの真直
度に誤差があっても、ナツトの円滑な送りを確保でき、
テーブルの高い送り精度を得ることができる。
送り方向と回転方向にのみ規制された状態で取付部材に
て支持されており、４自由度を完全に備えているため、
直線案内軸受と送りねじの間の平行度や送りねじの真直
度に誤差があっても、ナツトの円滑な送りを確保でき、
テーブルの高い送り精度を得ることができる。
実施例
以下、本発明の一実施例を第１図〜第４図を参照しなが
ら説明する。
ら説明する。
第２図において、１はベースであって、その上に四隅部
のスラスト空気軸受２にて移動自在に支持された移動テ
ーブル３が配設されている。前記ベース１上には、Ｘ方
向に沿うＸ〃ガイドレールが配設されるとともに、この
Ｘ〃ガイドレールに沿って移動可能なＸテーブル５が移
動テーブル３の下に配設されている。このＸテーブル５
のＸ方向の両端部には、前記Ｘ〃ガイドレールに沿って
移１１１３案内される空気軸受６が配設されている。ま
た、このＸテーブル５のＸ方向の一端部には、１１ｊ記
Ｘ〃イドレール４の一端部に配設されたＤＣサーボモー
タ８にて回転駆動されるボールねじ９に螺合するポール
ナツト７が配設されている。さらに、前記Ｘテーブル５
にはＹ方向に沿うＹ〃ガイドレール１０配設され、この
Ｙガイドレール１０に沿って移動案内される空気軸受１
１が前記移動テーブル３の下面に配設されている。また
、このＹ７フーイドレール１０の側部にこれと平行にＤ
Ｃサーボモータ１２にて回転駆動されるボールねじ１３
が配設され、前記移動テーブル３の下面に配設されたボ
ールナツト （図示せず）が螺合されている。なお、前
記Ｘテーブル５もスラスト空気軸受１４にて前記ベース
１上を移動自在に支持されている。
のスラスト空気軸受２にて移動自在に支持された移動テ
ーブル３が配設されている。前記ベース１上には、Ｘ方
向に沿うＸ〃ガイドレールが配設されるとともに、この
Ｘ〃ガイドレールに沿って移動可能なＸテーブル５が移
動テーブル３の下に配設されている。このＸテーブル５
のＸ方向の両端部には、前記Ｘ〃ガイドレールに沿って
移１１１３案内される空気軸受６が配設されている。ま
た、このＸテーブル５のＸ方向の一端部には、１１ｊ記
Ｘ〃イドレール４の一端部に配設されたＤＣサーボモー
タ８にて回転駆動されるボールねじ９に螺合するポール
ナツト７が配設されている。さらに、前記Ｘテーブル５
にはＹ方向に沿うＹ〃ガイドレール１０配設され、この
Ｙガイドレール１０に沿って移動案内される空気軸受１
１が前記移動テーブル３の下面に配設されている。また
、このＹ７フーイドレール１０の側部にこれと平行にＤ
Ｃサーボモータ１２にて回転駆動されるボールねじ１３
が配設され、前記移動テーブル３の下面に配設されたボ
ールナツト （図示せず）が螺合されている。なお、前
記Ｘテーブル５もスラスト空気軸受１４にて前記ベース
１上を移動自在に支持されている。
以上のような全体構成の位置決めテーブルにおいて、前
記ポールナツト７のＸテーブル５に対する取付構造を第
１図（ａ） 、（ｂ） 、（ｃ）により詳細に説明する
。尚、ボールねじ１３に螺合するポールナツトの移動テ
ーブル３に対する取付構造も同様の構造となっており、
説明は省略する。
記ポールナツト７のＸテーブル５に対する取付構造を第
１図（ａ） 、（ｂ） 、（ｃ）により詳細に説明する
。尚、ボールねじ１３に螺合するポールナツトの移動テ
ーブル３に対する取付構造も同様の構造となっており、
説明は省略する。
１５は前記Ｘテーブル５の一端部」二面に取付固定され
た取付部材であり、その両側支持片１５ａから内側に突
出された一対の水平揺動ビン１７が、揺動枠１６の両側
部に穿設された支持孔１８に嵌入されるとともに、それ
らの間にボール１９が介装され、揺動枠１Ｇが水平揺動
ビン１７にて左右移動並びにビン軸心回りに揺動可能に
支持されている。前記揺動枠１６には、前記水平揺動ビ
ン１７の軸心に対して略垂直に支持孔２２が穿設されて
いる。一方、前記ボールナフト７はナツト保持部材２０
に嵌合保持されるとともにボルト２４にて固定されてお
り、このナツト保持部材２０から上下にボールナツト７
の軸心に対して垂直に垂直揺動ビン２１が突出され、こ
の垂直揺動ピン２１が前記支持孔２２に嵌入されるとと
もにそれらの間にボール２３が介装され、ナツト保持部
材２０が垂直揺動ピン２１にて上下移動並びにビン軸心
回りに揺動可能に支持されている。
た取付部材であり、その両側支持片１５ａから内側に突
出された一対の水平揺動ビン１７が、揺動枠１６の両側
部に穿設された支持孔１８に嵌入されるとともに、それ
らの間にボール１９が介装され、揺動枠１Ｇが水平揺動
ビン１７にて左右移動並びにビン軸心回りに揺動可能に
支持されている。前記揺動枠１６には、前記水平揺動ビ
ン１７の軸心に対して略垂直に支持孔２２が穿設されて
いる。一方、前記ボールナフト７はナツト保持部材２０
に嵌合保持されるとともにボルト２４にて固定されてお
り、このナツト保持部材２０から上下にボールナツト７
の軸心に対して垂直に垂直揺動ビン２１が突出され、こ
の垂直揺動ピン２１が前記支持孔２２に嵌入されるとと
もにそれらの間にボール２３が介装され、ナツト保持部
材２０が垂直揺動ピン２１にて上下移動並びにビン軸心
回りに揺動可能に支持されている。
以上の構成において、ＤＣサーボモータ８と１２を作動
させることによって移動テーブル３をＸガイドレール４
とＸガイドレール１０を案内としてＸ方向とＹ方向に移
動させて位置合わせを行う。
させることによって移動テーブル３をＸガイドレール４
とＸガイドレール１０を案内としてＸ方向とＹ方向に移
動させて位置合わせを行う。
その際、Ｘテーブル５を移動駆動するについて、ボール
ねじ９がＸガイドレール４にｉｔ して正確に平行でな
かったり、ボールねじ９の真直度が十分でない場合でも
、ポールナツト７はナツト保持部材２０及び揺動枠１６
を介して上下及び左右に移動可能でしかも水平揺動ビン
１７回り及び垂直揺動ビン２１回りに揺動可ｆｍである
ため、このボールねじ９の軸心の振れや傾きに対して、
Ｘテーブル５に移動方向以外の力を及ぼすことなく円滑
に追従して移動する。そのため、Ｘテーブル５の送りは
円滑で精度が高く、直進性を損なうことはな′ｖ１１１ 尚、説明は省略したが、Ｘテーブル５に対する移動テー
ブル３のＹ方向の移動に対しても同様の移動機構を採用
していることによって同様の効果が得られる。
ねじ９がＸガイドレール４にｉｔ して正確に平行でな
かったり、ボールねじ９の真直度が十分でない場合でも
、ポールナツト７はナツト保持部材２０及び揺動枠１６
を介して上下及び左右に移動可能でしかも水平揺動ビン
１７回り及び垂直揺動ビン２１回りに揺動可ｆｍである
ため、このボールねじ９の軸心の振れや傾きに対して、
Ｘテーブル５に移動方向以外の力を及ぼすことなく円滑
に追従して移動する。そのため、Ｘテーブル５の送りは
円滑で精度が高く、直進性を損なうことはな′ｖ１１１ 尚、説明は省略したが、Ｘテーブル５に対する移動テー
ブル３のＹ方向の移動に対しても同様の移動機構を採用
していることによって同様の効果が得られる。
本発明は上記実施例に限定されるものではない。
例えば上記実施例では送りｆｉｌ＋１として、ボールね
じと空気軸受の組み合わせを例示したが、他の送りねじ
や直線案内軸受を用いることもできる。さらに、上記実
施例では送りねじを固定側に、ナツトを移動テーブル側
に配設したものを例示したが、逆にしてもよい。
じと空気軸受の組み合わせを例示したが、他の送りねじ
や直線案内軸受を用いることもできる。さらに、上記実
施例では送りねじを固定側に、ナツトを移動テーブル側
に配設したものを例示したが、逆にしてもよい。
発明の効果
本発明の位置決めテーブルによれば、以上のようにナツ
トは送りねじの軸心方向に対して垂直な平面に沿って２
紬方向に可動でかつ送りねじ紬の２方向の傾きに対して
も追従可能となっており、４自由度を完全に備えている
ため、送りねじと直線案内軸受との間の平行度や送りね
じ自体の真直度にｉｖ％差があってもナツトの円滑な送
りを確保でさ、その結果テーブルの高い送り精度を確保
できるという効果がある。
トは送りねじの軸心方向に対して垂直な平面に沿って２
紬方向に可動でかつ送りねじ紬の２方向の傾きに対して
も追従可能となっており、４自由度を完全に備えている
ため、送りねじと直線案内軸受との間の平行度や送りね
じ自体の真直度にｉｖ％差があってもナツトの円滑な送
りを確保でさ、その結果テーブルの高い送り精度を確保
できるという効果がある。
第１図及び第２図は本発明の一実施例を示し、第１図（
ａ）は要部の正面図、第１図（１＋）は同縦断側面図、
第１図（ｅ）は同図（ｂ）のｆ−１線断面図、ｆｉ２図
は位置決めテーブルの全体分解斜視図、第３図及び第４
図は従来例を示し、第３図は移動機構の斜視図、第４図
（ａ）はその要部の縦断側面図、第４図（ｂ）は同縦断
正面図、第４図（ｅ）は同図（ｂ）の■−■線断面図、
第４図（ｄ）は同図（ｂ）の■−■線断面図である。 ３・・・・・・・・・移動テーブル ５・・・・・・・・・Ｘテーブル ６・・・・・・・・・空気軸受 ７・・・・・・・・・ポールナツト ９・・・・・・・・・ボールねじ １５・・・・・・・・・取付部材 １６・・・・・・・・・揺動枠 １７・・・・・・・・・水平揺動ビン ２０・・・・・・・・・ナツト保持部材２１・・・・・
・・・・垂直揺動ピン。 代理人のへ２弁理士 中尾敏男 はか１名第 １ 図（
Ｃ） ７〜ボールナツト ９・、ボールねヒ １５ ・・取付部材 １６・・播動枠 １７、本ｒｖ−揺動仁゛ン ２０ ・ フｉ・ ・ン ト イｉ 持５ｌｌＩヨ１２
ｒ・・・垂直猛動ヒ・ン 第２図
ａ）は要部の正面図、第１図（１＋）は同縦断側面図、
第１図（ｅ）は同図（ｂ）のｆ−１線断面図、ｆｉ２図
は位置決めテーブルの全体分解斜視図、第３図及び第４
図は従来例を示し、第３図は移動機構の斜視図、第４図
（ａ）はその要部の縦断側面図、第４図（ｂ）は同縦断
正面図、第４図（ｅ）は同図（ｂ）の■−■線断面図、
第４図（ｄ）は同図（ｂ）の■−■線断面図である。 ３・・・・・・・・・移動テーブル ５・・・・・・・・・Ｘテーブル ６・・・・・・・・・空気軸受 ７・・・・・・・・・ポールナツト ９・・・・・・・・・ボールねじ １５・・・・・・・・・取付部材 １６・・・・・・・・・揺動枠 １７・・・・・・・・・水平揺動ビン ２０・・・・・・・・・ナツト保持部材２１・・・・・
・・・・垂直揺動ピン。 代理人のへ２弁理士 中尾敏男 はか１名第 １ 図（
Ｃ） ７〜ボールナツト ９・、ボールねヒ １５ ・・取付部材 １６・・播動枠 １７、本ｒｖ−揺動仁゛ン ２０ ・ フｉ・ ・ン ト イｉ 持５ｌｌＩヨ１２
ｒ・・・垂直猛動ヒ・ン 第２図
Claims (1)
- テーブルと、テーブルを移動可能に支持する直線案内軸
受と、前記テーブルの移動方向に沿うように配設された
回転駆動可能な送りねじと、送りねじに螺合されたナッ
トと、ナットを保持するナット保持部材と、前記ナット
の軸心を通るとともにこれに対して垂直な軸心回りに揺
動並びに輪心方向に移動可能に前記ナット保持部材を支
持する揺動枠と、前記ナットの軸心を通るとともにこれ
に対して垂直でかつ前記ナット保持部材の支持軸心に対
して略垂直な軸心回りに揺動並びに軸心方向に移動可能
に前記揺動枠を支持する取付部材とから成ることを特徴
とする位置決めテーブル。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61287917A JPS63140161A (ja) | 1986-12-03 | 1986-12-03 | 位置決めテ−ブル |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61287917A JPS63140161A (ja) | 1986-12-03 | 1986-12-03 | 位置決めテ−ブル |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63140161A true JPS63140161A (ja) | 1988-06-11 |
Family
ID=17723402
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61287917A Pending JPS63140161A (ja) | 1986-12-03 | 1986-12-03 | 位置決めテ−ブル |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63140161A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63290988A (ja) * | 1987-05-22 | 1988-11-28 | 日立電子エンジニアリング株式会社 | ステージ移動機構 |
| JPH0262455A (ja) * | 1988-08-26 | 1990-03-02 | Seibu Electric & Mach Co Ltd | 送りねじ支持機構 |
-
1986
- 1986-12-03 JP JP61287917A patent/JPS63140161A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63290988A (ja) * | 1987-05-22 | 1988-11-28 | 日立電子エンジニアリング株式会社 | ステージ移動機構 |
| JPH0262455A (ja) * | 1988-08-26 | 1990-03-02 | Seibu Electric & Mach Co Ltd | 送りねじ支持機構 |
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