JPS63140954A - 気体中の水素濃度を監視するためのセンサー - Google Patents
気体中の水素濃度を監視するためのセンサーInfo
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- JPS63140954A JPS63140954A JP62282937A JP28293787A JPS63140954A JP S63140954 A JPS63140954 A JP S63140954A JP 62282937 A JP62282937 A JP 62282937A JP 28293787 A JP28293787 A JP 28293787A JP S63140954 A JPS63140954 A JP S63140954A
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
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- G01N27/403—Cells and electrode assemblies
- G01N27/406—Cells and probes with solid electrolytes
- G01N27/407—Cells and probes with solid electrolytes for investigating or analysing gases
- G01N27/4073—Composition or fabrication of the solid electrolyte
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は気体中の水素濃度を監視するたぬのセンサーに
関する。
関する。
水素センサーは知られている。それは一般に半導体酸化
物により作動する。その場合の欠点は、半導体酸化物は
摂氏数百度に加熱しなければならないこと、センサーの
所要時間がきわめて長し・こと、および他の気体に対し
ても高い感度示すことである。
物により作動する。その場合の欠点は、半導体酸化物は
摂氏数百度に加熱しなければならないこと、センサーの
所要時間がきわめて長し・こと、および他の気体に対し
ても高い感度示すことである。
本発明は気体中の水素濃度を監視するためのセンサーを
提供するという課題に基づくものであり、その際これは
安価に製造でき、特に検出すべき水素に関するきわぬて
わずかな所要時間によって優れており、検出すべきでな
い他の気体に対する交差感度(Querempfind
lich Keit )ができるだけ低いことと結びつ
くものでなければならない。
提供するという課題に基づくものであり、その際これは
安価に製造でき、特に検出すべき水素に関するきわぬて
わずかな所要時間によって優れており、検出すべきでな
い他の気体に対する交差感度(Querempfind
lich Keit )ができるだけ低いことと結びつ
くものでなければならない。
この課題は、固体電解質を備え、これに叡視すべき気体
に暴露された、金属白金またはその酸化物からなる検出
電極(Nachweiselektrode )、およ
び参照電極が接していることを特徴とする本発明によっ
て解決される。
に暴露された、金属白金またはその酸化物からなる検出
電極(Nachweiselektrode )、およ
び参照電極が接していることを特徴とする本発明によっ
て解決される。
検出電極の周りが水素含有気体によって洗われると、水
素はセンサーと化学的に反応する。この′4極に生じた
電位または電位変化を次いで電子工学的に評価するか、
またはさらに処理することができる。その際本発明は、
監視すべき気体中に含有される水素が検出電極と化学的
に反応し、これにより検出信号を発する起電力がセンサ
ーに与えられるという事実をも利用している。
素はセンサーと化学的に反応する。この′4極に生じた
電位または電位変化を次いで電子工学的に評価するか、
またはさらに処理することができる。その際本発明は、
監視すべき気体中に含有される水素が検出電極と化学的
に反応し、これにより検出信号を発する起電力がセンサ
ーに与えられるという事実をも利用している。
固体電解質としては特にナジコン(Na5iconχチ
トジコン(Titsicon )、ヒビンスカイト(K
hibinskit )ワッデアイトまたはβ−Al2
O3が適している。
トジコン(Titsicon )、ヒビンスカイト(K
hibinskit )ワッデアイトまたはβ−Al2
O3が適している。
本発明の重要な形態は、固体電解質および各′電極を厚
膜法(Dickshichttechnik )により
支持体上に施すことを特徴とする。この方法によって本
発明のセンサーを大量にかつ安価に製造することかでき
る。しかし他の製法、たとえば蒸漸法も採用でさ、適切
である。
膜法(Dickshichttechnik )により
支持体上に施すことを特徴とする。この方法によって本
発明のセンサーを大量にかつ安価に製造することかでき
る。しかし他の製法、たとえば蒸漸法も採用でさ、適切
である。
センサーを、ガラス、プラスチックその他の適切な材料
からなり、検出電極の表面の少なくとも一部を覆わない
カバーで密封することが好ましい。
からなり、検出電極の表面の少なくとも一部を覆わない
カバーで密封することが好ましい。
センサーの下側が支持体で覆われているならば、カバー
はセンサーの上側のみを覆うだけでよい。
はセンサーの上側のみを覆うだけでよい。
さらに、検出電極が白金、パラジウムまたは酸化パラジ
ウムから形成さtていることか有利である。パラジウム
は金属白金の最大水素導電率を与え、このため高いセン
サー選択性が得られる。さらに参照電極が安定なナトリ
ウムイオン活性をもつ材料から作成されていること、ま
た参照電極がナトリウム−タングステン青銅からなるこ
とが有利である。ナトリウム−タングステン青銅の使用
により、参照電極と固体電解質の間の電位が一定に保た
れる。
ウムから形成さtていることか有利である。パラジウム
は金属白金の最大水素導電率を与え、このため高いセン
サー選択性が得られる。さらに参照電極が安定なナトリ
ウムイオン活性をもつ材料から作成されていること、ま
た参照電極がナトリウム−タングステン青銅からなるこ
とが有利である。ナトリウム−タングステン青銅の使用
により、参照電極と固体電解質の間の電位が一定に保た
れる。
本発明を以下において具体例に基づいてより詳細に説明
する。これからより重要な特色が明らかになるであろう
。
する。これからより重要な特色が明らかになるであろう
。
第1図は電極が平面状に配列した第1形態における本発
明のセンサーを概略的に示す。
明のセンサーを概略的に示す。
第2図は本発明のセンサーの他の形態を示し、この場合
各電極が横方向に配列されている。
各電極が横方向に配列されている。
市販の支持体材料1(たとえば96%Al2O,)上に
数工程で平面状(第1図)または横方向(第2図)の配
列で電極および固体電解質、すなわち固体電解質3の参
照電極2、および検出電極4を厚板法によりプリントす
る。電極2,4は市販の接続導線または接点5を備えて
いる。検出電極はたとえば白金、パラジウムまたは酸化
パラジウムから形成しうる。参照電極は一定のナトリウ
ムイオン活性をもつ材料、たとえばナトリウム−タング
ステン青銅から作成しうる。各プリント工程後に各層を
一定の条件下で焼結または燃焼または酸化させる。最終
工程において、電極2,4を接続導線5と接続したのち
、固体電解質3および一部の噴出電極4の表面をガラス
製またはプラスチック製のカバー6で密封することがで
きる。
数工程で平面状(第1図)または横方向(第2図)の配
列で電極および固体電解質、すなわち固体電解質3の参
照電極2、および検出電極4を厚板法によりプリントす
る。電極2,4は市販の接続導線または接点5を備えて
いる。検出電極はたとえば白金、パラジウムまたは酸化
パラジウムから形成しうる。参照電極は一定のナトリウ
ムイオン活性をもつ材料、たとえばナトリウム−タング
ステン青銅から作成しうる。各プリント工程後に各層を
一定の条件下で焼結または燃焼または酸化させる。最終
工程において、電極2,4を接続導線5と接続したのち
、固体電解質3および一部の噴出電極4の表面をガラス
製またはプラスチック製のカバー6で密封することがで
きる。
電極の材料としては市販の白金−またはパラジウムペー
ストを用いることができる。固体電解質のためのプリン
ト用ペーストは、たとえばナジコン電解質粉末を厚膜用
ペーストとして慣用されるビヒクル(たとえばテルピネ
オールを含むエチルセルロース)と適正な割合で混合す
ることによって得られる。ナジコン電解質粉末はたとえ
ば粉末混合物を焼結し、次いで粉砕することによって、
あるいはゾルゲル法(Solgelverfahren
)により調製される。
ストを用いることができる。固体電解質のためのプリン
ト用ペーストは、たとえばナジコン電解質粉末を厚膜用
ペーストとして慣用されるビヒクル(たとえばテルピネ
オールを含むエチルセルロース)と適正な割合で混合す
ることによって得られる。ナジコン電解質粉末はたとえ
ば粉末混合物を焼結し、次いで粉砕することによって、
あるいはゾルゲル法(Solgelverfahren
)により調製される。
カバーとしては市販のカバー材料(ケイ素、フェス)あ
るいは市販の誘電ペーストまたはオーバーガラスペース
トのプリント層が適している。
るいは市販の誘電ペーストまたはオーバーガラスペース
トのプリント層が適している。
ナジコンからなる固体゛電解質はNa、 +x Zr2
s ; XP3 XO12(式中Oくxく3である)
の化学式をもつ。実験に際してx = 2.2またはx
= 2のものを用い、こしらの実験は良好な結果を与
えた。
s ; XP3 XO12(式中Oくxく3である)
の化学式をもつ。実験に際してx = 2.2またはx
= 2のものを用い、こしらの実験は良好な結果を与
えた。
従って、被4験水素ガスと本発明のセンサーとの間の電
気化学的反応によってこれらがきわめて速やかに反応し
、それらの接続導春を通して短い所要時間後に信号を発
し、これを同様に厚膜法により得られた後続の電子工学
的装置により処理しうろことが明らかである。
気化学的反応によってこれらがきわめて速やかに反応し
、それらの接続導春を通して短い所要時間後に信号を発
し、これを同様に厚膜法により得られた後続の電子工学
的装置により処理しうろことが明らかである。
第1図は電極が平面状に配列した第1形態におけろ本発
明のセンサーを概略的に示す。 第2図は本発明のセンサーの他の形態を示し、この場合
各電極が横方向に配列されている。これらの図において
記号は下記のものを表わす。 1:支持体 4:検出電極2:参照電甑
5:接点 3:固体電解質 6:カバー FIG、 2
明のセンサーを概略的に示す。 第2図は本発明のセンサーの他の形態を示し、この場合
各電極が横方向に配列されている。これらの図において
記号は下記のものを表わす。 1:支持体 4:検出電極2:参照電甑
5:接点 3:固体電解質 6:カバー FIG、 2
Claims (7)
- (1)固体電解質(3)を備え、これに監視すべき気体
に暴露された、金属白金またはその酸化物からなる検出
電極(4)、および参照電極(2)が接していることを
特徴とする、気体中の水素濃度を監視するためのセンサ
ー。 - (2)固体電解質(3)がナジコン、チトジコトン、ヒ
ビンスカイト、ワッデアイトまたはβ−Al_2O_3
からなることを特徴とする、特許請求の範囲第1項に記
載のセンサー。 - (3)固体電解質(3)および電極(2、4)が厚膜法
により支持体(1)上に施されていることを特徴とする
、特許請求の範囲第1項または第2項に記載のセンサー
。 - (4)センサーが検出電極の表面の少なくとも一部を覆
わないカバー(6)で密封されていることを特徴とする
、特許請求の範囲第1項ないし第3項のいずれかに記載
のセンサー。 - (5)検出電極(4)が白金、パラジウムまたは酸化パ
ラジウムから形成されていることを特徴とする、特許請
求の範囲第1項に記載のセンサー。 - (6)参照電極(2)が安定なナトリウムイオン活性を
もつ材料から作成されていることを特徴とする、特許請
求の範囲第1項に記載のセンサー。 - (7)参照電極(2)がナトリウム−タングステン青銅
からなることを特徴とする、特許請求の範囲第6項に記
載のセンサー。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE3639802.0 | 1986-11-21 | ||
| DE19863639802 DE3639802A1 (de) | 1986-11-21 | 1986-11-21 | Sensor zur ueberwachung von wasserstoffkonzentrationen in gasen |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63140954A true JPS63140954A (ja) | 1988-06-13 |
Family
ID=6314456
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62282937A Pending JPS63140954A (ja) | 1986-11-21 | 1987-11-09 | 気体中の水素濃度を監視するためのセンサー |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4908118A (ja) |
| EP (1) | EP0268768B1 (ja) |
| JP (1) | JPS63140954A (ja) |
| DE (2) | DE3639802A1 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007248334A (ja) * | 2006-03-17 | 2007-09-27 | New Industry Research Organization | 還元性ガス検知素子及びその製造方法 |
| JP2007248335A (ja) * | 2006-03-17 | 2007-09-27 | New Industry Research Organization | 還元性ガス検知素子 |
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| DE4022136A1 (de) * | 1990-07-11 | 1992-01-23 | Battelle Institut E V | Co(pfeil abwaerts)2(pfeil abwaerts)-sensor |
| DE4023130A1 (de) * | 1990-07-20 | 1992-01-23 | Battelle Institut E V | Verfahren zur herstellung einer ionensensitiven arbeitselektrode eines schwermetallionen-sensors |
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| US5451920A (en) * | 1992-10-06 | 1995-09-19 | Martin Marietta Energy Systems, Inc. | Thick film hydrogen sensor |
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| DE19536719C2 (de) * | 1995-09-30 | 1997-09-11 | Dresden Ev Inst Festkoerper | Wasserstoffsensitives Bauelement |
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| US6638416B2 (en) * | 2001-09-24 | 2003-10-28 | Delphi Technologies, Inc. | Hydrogen sensing process |
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| EP2058649B1 (de) * | 2007-11-06 | 2011-06-29 | Micronas GmbH | Sensor-Brennstoffzelle |
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| RU2525643C2 (ru) * | 2012-11-19 | 2014-08-20 | Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт механики Уральского отделения РАН | Датчик водорода |
| CN109769394B (zh) * | 2017-09-04 | 2022-04-22 | 新唐科技日本株式会社 | 气体传感器及其制造方法、气体检测装置、燃料电池汽车 |
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1987
- 1987-09-15 DE DE8787113452T patent/DE3766600D1/de not_active Expired - Lifetime
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007248334A (ja) * | 2006-03-17 | 2007-09-27 | New Industry Research Organization | 還元性ガス検知素子及びその製造方法 |
| JP2007248335A (ja) * | 2006-03-17 | 2007-09-27 | New Industry Research Organization | 還元性ガス検知素子 |
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|---|---|
| DE3766600D1 (de) | 1991-01-17 |
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| US4908118A (en) | 1990-03-13 |
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