JPS63140976A

JPS63140976A - ビ−ムプロフアイルモニタ−

Info

Publication number: JPS63140976A
Application number: JP28842786A
Authority: JP
Inventors: Tetsuya Nakanishi; 哲也中西
Original assignee: Mitsubishi Electric Corp
Current assignee: Mitsubishi Electric Corp
Priority date: 1986-12-02
Filing date: 1986-12-02
Publication date: 1988-06-13
Also published as: JPH0567195B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔産業上の利用分野〕この発明は、例えば荷電粒子装置などをこおけるビーム
をモニターするビーム１０フアイルモニター斜視図する
ものである。

〔従来の技術〕

第２同は、雑誌（“〜Ｉｕｌｔｉｗｉｒｅ　ａｎｄ　Ｓ
ｉｎｇｌｅ　ＲｏｄＢｅａｍ　Ｐｒｏｆｉｌｅ　Ｍｏｎ
１ｔｏｒｓ　ｉｎ　ｔｈｅ　ＴＡＲＮ″Ｎ、Ｔｏｋｕｄ
ａｅｔａ４．　ＩＮＳ　−ＮＵＭＡ−１９，Ｍａｒ、　
１９８０　）　　に記載されたもので、ｌイオン蓄積に
用いられたＸ方向のビーム位ＨＨ，−４・強度分布を測
定するビームプロファイルモニターを示す構成図である
。図において、（１）はＸ方向に並べて配置され、Ｘ方
向のビームの位置・強度分布を測定する導線で、例えば
ＢｅＣｕの導線、（２）はこの導線（υを支持する支持
体で、例えばセラミックフレーム、（３）は導線（１）
のそれぞれからの引出８、（４）はセラミックフレーム
（２）を支持するモニター支持棒、（５）は支持棒（４
）をＸ方向に動かす移動機溝で、例えばモニター駆動モ
ータである。導線（１）、セラミックフレーム（２）、
引出線（３）、支持棒（４）でビームの測定センサーを
構成している。

次（こ動作について説明する。ビーム検出用のセンサー
を構成する導線（１］は１本又は複数本平行、かつほぼ
等間隔ζこＸ方向ｌこ張られている。ビームが導線（υ
に当１こると、ビームエネルギーやビーム種類によって
、ビームは導線（１）内で止まるか、導線（１）を突き
抜けるかする。ビームが導線（１）内で止まった場合、
それがそのまま検出電流となって引出線（３）より測定
される。また、ビームが導線（１）を突き抜ける場合は
、その際に金属表面から２次電子が放出され、検出電流
として測定される。どちらの場合にも、ビーム強度に比
例し１こ検出電流が得られる。この導線（１）はｙ軸に
平行に張っているため、任意のＸ位置に来たビームは、
ｙ位置（こは無関係にそのＸ位置にある導線（１）によ
り検出される。従って、Ｘ方向のビームの位置・強度分
布を測定することができる。導線（１）が複数本の場合
、ビーム径が複数の導線（１）で構成される導線群の幅
以内であれば、ビームの強度分布を測定できる。

この装置において、ビームの強度分布の測定精度をｔげ
るＴこめには、導線（１）の本数を増やさなければなら
ず、信号処理回路が複雑になる。これを避ける方法とし
て、導線（１］の位置を変えることが考えられる。例え
ば、導線間の間隔の１７２だけＸ方向に動かして同じ測
定を行なえば、測定点は２倍に増え、測定精度は局くな
る。この導線（１）の移動はセラミックフレーム（２）
を、支持棒（４）を介してモータ（５）で動かすことに
より実現できる。

〔発明が解決しようとする問題点〕

従来のビーム１０フアイルモニターは以上のように構成
されているので、測定は一方向に関してのみであり、例
えばＸ方向、Ｘ方向の２方向を測定したい場合には、２
方向にそれぞれ独立にモニターを用意しなければならず
、より広い設置場所が必要となり、また、コスト的にも
逝くなるという問題点があった。

この発明は、上記のような問題点を解消する１こめにな
されγこもので、一台で多方向のビームの位置・強度分
布を測定できる比較的コンパクトなビー１．プロファイ
ルモニターを得ることを目的とする。

〔問題点を解決する１こめの手段〕この発明に係るビームプロファイルモニターは、一方向
に並べて配置され、ビームの位置、強度分布を測定する
複数の導線と、これらと電気的に絶縁され、一方向と交
叉する他方向に並べて配置され、ビームの位置・強度分
布を測定する複数の導線と、各導線を支持する支持体と
を有する複数方向測定センサー、並びにこの支持体を少
なくとも一方向と他方向の成分を持つ方向に移動しうる
移動機構を備えＴこものである。

〔作用〕

この発明における複数方向測定センサーは、ビームの複
数方向に関する位置・強度分布が測定できる。また移動
機構は上記の複数方向のそれぞれの成分を持つ方向に移
動できるので、複数方向に精度よく測定できる。

〔実施例〕

以下、この発明の一実施例を図について説明する。第１
図はこの発明の一実施例によるビームプロファイルモニ
ターを示す構成図である。図において、（１）〜（５）
は従来装置と同一、又は相当部分を示すものであり、（
６）は複数の導線（１）の配置されている方向と交叉す
る他方向（こ並べて配置され１こ複数の導線であり、導
線（１）とは゛ｔα気的に絶縁されている。この実施例
では、導線（１）はＸ方向に並べて配置され、導線（６
）はこれと直交するＸ方向に並べて配置されている。ま
た、駆動モータ（５）は、セラミックフレーム（２）を
Ｘ方向とＸ方向の成分を持つ方向に移動することができ
、この場合は、セラミックフレーム（２）をＸ軸及びｙ
　＠　ｌこ対して４５°の角度に移動することができる
。

次に動作について説明する。ビームのＸ方向の位置・強
度分布は導線（１）で測定され、Ｘ方向の位置・強度分
布は導線（６）で測定される。測定点を増やすために、
導線（１１、（６）の位置を変える場合は、Ｘ軸に対し
て４５°の角度で取り付けられた支持棒（４）を、その
角度、方向に駆動モータ（５）により動かす。

この時、導線＋１）　、　（６）はＸ及びｙ方向齋こ移
動し、Ｘ方向用導線（１）によりビームのＸ方向の位置
・強度分布が、ま１こ、Ｘ方向用導線（６）によりＸ方
向のそれが各々精度良く測定されることになる。この実
施例で、移動する傾きを４５°とし１このは、ｘ、Ｘ方
向に等しく動かすためで、用途により、その傾きは変九
ることができる。

このように、上記実施例では、Ｘ方向とｙ方向の２方向
に対する位置・強度分布を測定でき、さら（ここの２方
向の成分を持つ方向にセンサーを移動すれば、測定点が
増え、測定精度を高くすることができる。ま１こ、セン
サーの移動は一台の移動１掃で行なっているため、コン
パクトな装置で構成できる。

なお、上記実施例では、フレーム（２）の移動は、ｘ　
−ｙ平面内として説明し１こが、これに限るものではな
く、ｘ　−ｙ平面（こ対して任意の角度方向撹動かして
もよい。

ま１こ、上記実施例では、ｘ　＊　Ｙ　２方向の測定で
考えたが、この方向は任意の方向に選べ、さらに、フレ
ーム（２）に張る導線の方向を増やすこと（こより、複
数方向の測定が可能である。ただし、異なる方向（こ配
置した導線間において、電気的（こ絶縁されているよう
にする。

さら（こ、上記実施例では、導線は測定したい方向に対
して直角に張ったが、この角度は正確１こ直角でなくて
もよい。１こだし、その場合、測定点が導線の幅齋こ加
えてその角度の分だけ広がり、測定誤差となる。同様に
導線は等間隔に平行に配置されていなくてもよい。

〔発明の効果〕

以ｔのように、この発明によれば、一方向に並べて配置
され、ビームの位置・強度分布を測定する複数の導線と
、これらと電気的に絶縁され、一方向と交叉する他方向
に並べて配置され、ビームの位置・強度分布を測定する
複数の導線と、各導線を支持する支持体とを有する複数
方向測定センサー、並びにこの支持体を少なくとも一方
向と他方向の成分を持つ方向をこ移動しうる移動機構を
備えたことにより、ビームの複数方向の位置・強度分布
を測定できる、比較的コンパクトなビームプロファイル
モニターが得られる効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の一実施例によるビームフ゛ロファイ
ルモニターを示す構成図、第２図は従来のビームフ゛ロ
ファイルモニターを示す構成図である。（１）、（６）・・・導線、（２１、（４）・・・支持
体、（５）・・・移動機構。（導線Ｌｌｌ　、　（６）、支持体（２１、（４）で複
数方向測定センサーを構成する。〕なお、同一符号は同一、又は相当部分を示す。

Claims

【特許請求の範囲】

（１）一方向に並べて配置され、ビームの位置・強度分
布を測定する複数の導線と、これらと電気的に絶縁され
、上記一方向と交叉する他方向に並べて配置され、ビー
ムの位置・強度分布を測定する複数の導線と、上記各導
線を支持する支持体とを有する複数方向測定センサー、
並びにこの支持体を少なくとも上記一方向と他方向の成
分を持つ方向に移動しうる移動機構を備えたビームプロ
フアイルモニター。
（２）一方向と他方向とは互いに垂直に交叉することを
特徴とする特許請求の範囲第１項記載のビームプロフア
イルモニター。