JPS631435A - 放電洗浄装置 - Google Patents
放電洗浄装置Info
- Publication number
- JPS631435A JPS631435A JP14303486A JP14303486A JPS631435A JP S631435 A JPS631435 A JP S631435A JP 14303486 A JP14303486 A JP 14303486A JP 14303486 A JP14303486 A JP 14303486A JP S631435 A JPS631435 A JP S631435A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- anode
- discharge
- vacuum container
- switch
- turned
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J3/00—Processes of utilising sub-atmospheric or super-atmospheric pressure to effect chemical or physical change of matter; Apparatus therefor
- B01J3/006—Processes utilising sub-atmospheric pressure; Apparatus therefor
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Manufacture Of Electron Tubes, Discharge Lamp Vessels, Lead-In Wires, And The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産某上の利用分野〕
本発明は真空容器や部品を放電洗浄する時に用いる放電
洗浄装置に詠り、特に表面と内部にゲツタ作用のある金
属（非蒸発ゲノタ材）で陽極を構成し，該陽極を熱陰極
あるいは直接通電によって加熱し、この１一極に排気機
能を加えた放電洗浄装置に関する。
洗浄装置に詠り、特に表面と内部にゲツタ作用のある金
属（非蒸発ゲノタ材）で陽極を構成し，該陽極を熱陰極
あるいは直接通電によって加熱し、この１一極に排気機
能を加えた放電洗浄装置に関する。
従来の放電用電極の１４１！極にはステンＶスやタング
ステンなどゲソタ作用のないものが主に使われて２シ、
陽極に排気機能を付加する点に関しては考慮されていな
かった。ゲッタ作用のめるチタンを閘極に用いている例
が、アグゾヶ−７ヨン オブ サイエンス（ Ａｐｐｌ
ｉｃａｔｉｏｎｓ ｏｆ ｓｃｉｅｌｃｅ）６ （１９
８０）第４７３頁から第４８８頁に論じられているが、
この装ＩＩｔｖｃはチタンをゲッタ材としてＩ＃かせる
ための加熱機構がなく、排気機能は付加されていない。
ステンなどゲソタ作用のないものが主に使われて２シ、
陽極に排気機能を付加する点に関しては考慮されていな
かった。ゲッタ作用のめるチタンを閘極に用いている例
が、アグゾヶ−７ヨン オブ サイエンス（ Ａｐｐｌ
ｉｃａｔｉｏｎｓ ｏｆ ｓｃｉｅｌｃｅ）６ （１９
８０）第４７３頁から第４８８頁に論じられているが、
この装ＩＩｔｖｃはチタンをゲッタ材としてＩ＃かせる
ための加熱機構がなく、排気機能は付加されていない。
たとえ襠，刀口熱して排気を行うとしても、■チタンは
衣面郎にしかゲノタ作用がなく、すぐ飽和状態となって
排気能カがなくなる、■飽和したチタンを活性化するた
めには、表面のチタンを蒸発させて活性な面と出さなけ
ｔ′Ｌ１−１′ならず、雰囲気金チタンで汚してし−ま
う、などの問題点がめった。
衣面郎にしかゲノタ作用がなく、すぐ飽和状態となって
排気能カがなくなる、■飽和したチタンを活性化するた
めには、表面のチタンを蒸発させて活性な面と出さなけ
ｔ′Ｌ１−１′ならず、雰囲気金チタンで汚してし−ま
う、などの問題点がめった。
さらに、真空谷器や部品の吸着ガスｔ取り除く友めＫ放
電洗浄を行うと、放遡後、残留するガスはほとんど水素
である。この水素ガスは、ターボ分子ポンプなど機械的
な真空ポンプは排気しにくいため、いかに効率よく水素
ガスを排気できるかが問題であった。
電洗浄を行うと、放遡後、残留するガスはほとんど水素
である。この水素ガスは、ターボ分子ポンプなど機械的
な真空ポンプは排気しにくいため、いかに効率よく水素
ガスを排気できるかが問題であった。
上記従来技術には区極部に排気機能はなかった。
ここで、排気時間の短縮や極高真空化の之めには、真空
装置の排気速度を増す必要があるが、新たにポンプを付
け加えることは，空間的にも制限がある。そこで，本発
明の目的に，特に耕たな空間を必要とすることなく，さ
らに雰囲気を汚染せずに、放′這用寛極にゲノタボンプ
の機能を付加することで排気速度を増し、水素などの活
性ガスを効率よく排気する放電洗浄装置を提供すること
にある。
装置の排気速度を増す必要があるが、新たにポンプを付
け加えることは，空間的にも制限がある。そこで，本発
明の目的に，特に耕たな空間を必要とすることなく，さ
らに雰囲気を汚染せずに、放′這用寛極にゲノタボンプ
の機能を付加することで排気速度を増し、水素などの活
性ガスを効率よく排気する放電洗浄装置を提供すること
にある。
上記目的に、放電用電極の隣甑全、表ｊと内部にゲツタ
作用のある非蒸発ゲツタ材で構成し、この陽極を熱陰極
あるいは直接通電することによって加熱する機構とする
ことによって達成される。
作用のある非蒸発ゲツタ材で構成し、この陽極を熱陰極
あるいは直接通電することによって加熱する機構とする
ことによって達成される。
非蒸発ゲツタ材は、める温度以上に加熱すると排気作用
をぼじめる。放電時はもちろん、放電後も、熱陰極める
いは直接通電によって陽極の非蒸発ゲツタ材を加熱する
ことで排気機能をもたせることができる。さらに、非蒸
発性であるため、雰囲気を汚すことがなく、取付け場所
に制限がない。
をぼじめる。放電時はもちろん、放電後も、熱陰極める
いは直接通電によって陽極の非蒸発ゲツタ材を加熱する
ことで排気機能をもたせることができる。さらに、非蒸
発性であるため、雰囲気を汚すことがなく、取付け場所
に制限がない。
以下、本発明の一実施例を第１図によυ説明する。放電
用電極に、夕／グステン線製の熱陰極２と，これを祖う
ように配置した非蒸発ゲツタ材であるジルコニウム、バ
ナジウム、鉄の会金製陽極１から成る。
用電極に、夕／グステン線製の熱陰極２と，これを祖う
ように配置した非蒸発ゲツタ材であるジルコニウム、バ
ナジウム、鉄の会金製陽極１から成る。
まず真空ボンプ８を用いて真空容器６の中を１０−’Ｔ
Ｏｒｒ以下に排気する。次にスイッチ９をＯＦＦ’、ス
イッチ１０をＯＮにして電源１１により陽極１を４５０
０まで加熱する。これを３０分から１時間程度行う。上
記加熱によって陽極であるゲツタ材は活性化され、常温
でも排気能力を有すｌようになろう ゲツタ材の活性化が終ったところで、放電洗浄に入る。
Ｏｒｒ以下に排気する。次にスイッチ９をＯＦＦ’、ス
イッチ１０をＯＮにして電源１１により陽極１を４５０
０まで加熱する。これを３０分から１時間程度行う。上
記加熱によって陽極であるゲツタ材は活性化され、常温
でも排気能力を有すｌようになろう ゲツタ材の活性化が終ったところで、放電洗浄に入る。
１ずスイッチ１０をＯＦ’Ｆ．スイッチ９をＯＮにして
放電用の回路とする。次に放電用のアルゴンガス１２を
真空容器内圧力が３ｘｌＯ−３Ｔｏｒｒ程度を保つよう
にパルプ７を調節しながら導入する。放電中は上記ガス
１２を流し続ける。
放電用の回路とする。次に放電用のアルゴンガス１２を
真空容器内圧力が３ｘｌＯ−３Ｔｏｒｒ程度を保つよう
にパルプ７を調節しながら導入する。放電中は上記ガス
１２を流し続ける。
ガス導入後、熱陰極２から成子を放出させるために，電
源３で上記熱陰極２を１５００Ｃ程度まで力口熱し、竃
源４によりこの熱陰極２の電位を陽極１及び真空容器６
に対して負（−２０〜３００Ｖ）とする。これによって
熱陰極２と陽極１との間でグロー放竃が起こり、さらに
電源５により陽極１の電位を真窒容器６に対して正（＋
２０〜４００Ｖ）にすると、陽極１と真空容器６の間で
もグロー放邂が起こる。そして，この放電で生じるイオ
ンによって真空容器、部品が洗浄される。洗浄を終了す
ル隊ハ、Ｚ源Ｓ，４．３をＯＦＦＫＬ．バルブ７を閉じ
てガス導入を止める。
源３で上記熱陰極２を１５００Ｃ程度まで力口熱し、竃
源４によりこの熱陰極２の電位を陽極１及び真空容器６
に対して負（−２０〜３００Ｖ）とする。これによって
熱陰極２と陽極１との間でグロー放竃が起こり、さらに
電源５により陽極１の電位を真窒容器６に対して正（＋
２０〜４００Ｖ）にすると、陽極１と真空容器６の間で
もグロー放邂が起こる。そして，この放電で生じるイオ
ンによって真空容器、部品が洗浄される。洗浄を終了す
ル隊ハ、Ｚ源Ｓ，４．３をＯＦＦＫＬ．バルブ７を閉じ
てガス導入を止める。
放電洗浄前に活性化しておいた陽極１は，放電中、放心
後も排気を行う。特に放電洗浄後の主な残留ガスである
水素を排気する能力が大きいため，第２図に示すように
、短時間で圧力が降下すると共に、到達圧力も向上する
。なお、図において曲線２１は１′４極に排気機能のな
いものの排気曲線、曲線２２は陽極をポンプとして作動
させたものの排気曲線である。
後も排気を行う。特に放電洗浄後の主な残留ガスである
水素を排気する能力が大きいため，第２図に示すように
、短時間で圧力が降下すると共に、到達圧力も向上する
。なお、図において曲線２１は１′４極に排気機能のな
いものの排気曲線、曲線２２は陽極をポンプとして作動
させたものの排気曲線である。
陽極１の材料には，ジルコニウム・アルミニウム合金を
用いてもよい。また、本実施例でに直接通電して陽極１
を加熱したが、熱陰極２を加熱して、その輻射熱で陽極
１を加熱してもよい。
用いてもよい。また、本実施例でに直接通電して陽極１
を加熱したが、熱陰極２を加熱して、その輻射熱で陽極
１を加熱してもよい。
〔発明の効果〕
本発明によれば、放電用電極にポンプ機能を付加するこ
とにより、水素などの活性ガスを効率よく排気すること
ができる放電洗浄装置が得られる。
とにより、水素などの活性ガスを効率よく排気すること
ができる放電洗浄装置が得られる。
第１図は本発明の放電洗浄装置の構成図、第２図は排気
時間と真空容器内の圧力変化の関係を示す排気曲線図で
ある。 １・・・陽極、２・・・熱陰極、３〜５・・・ｔ源、６
・・・真空容器、７・・・バルプ、８・・・真空ボ／プ
、９．１０・・・スイッチ、１１・・・電源、１２・・
・放電用ガス。
時間と真空容器内の圧力変化の関係を示す排気曲線図で
ある。 １・・・陽極、２・・・熱陰極、３〜５・・・ｔ源、６
・・・真空容器、７・・・バルプ、８・・・真空ボ／プ
、９．１０・・・スイッチ、１１・・・電源、１２・・
・放電用ガス。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、熱陰極と、該陰極を加熱する装置と、前記陰極を覆
うように配置され、全体に貫通孔のある陽極と、該陽極
に電圧を印加するための電源から成る放電用電極におい
て、表面と内部にゲツタ作用のある金属で陽極を構成す
ることを特徴とする放電洗浄装置。 ２、熱陰極で陽極を加熱することを特徴とする第１項記
載の放電洗浄装置。 ３、陽極を直接通電で加熱するための電源を設けたこと
を特徴とする第１項記載の放電洗浄装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14303486A JPS631435A (ja) | 1986-06-20 | 1986-06-20 | 放電洗浄装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14303486A JPS631435A (ja) | 1986-06-20 | 1986-06-20 | 放電洗浄装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS631435A true JPS631435A (ja) | 1988-01-06 |
Family
ID=15329371
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14303486A Pending JPS631435A (ja) | 1986-06-20 | 1986-06-20 | 放電洗浄装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS631435A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US11724308B2 (en) | 2020-12-04 | 2023-08-15 | Refractory Intellectual Property Gmbh & Co. Kg | Refractory ring and refractory ring system and methods for assembling the same |
-
1986
- 1986-06-20 JP JP14303486A patent/JPS631435A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US11724308B2 (en) | 2020-12-04 | 2023-08-15 | Refractory Intellectual Property Gmbh & Co. Kg | Refractory ring and refractory ring system and methods for assembling the same |
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