JPH03222876A - 複合ポンプ - Google Patents
複合ポンプInfo
- Publication number
- JPH03222876A JPH03222876A JP1641790A JP1641790A JPH03222876A JP H03222876 A JPH03222876 A JP H03222876A JP 1641790 A JP1641790 A JP 1641790A JP 1641790 A JP1641790 A JP 1641790A JP H03222876 A JPH03222876 A JP H03222876A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pump
- getter
- nonevaporating
- getter material
- heater
- Prior art date
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- Pending
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- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は、電界放出型電子銃を収容電子銃室等のように
清浄かつ超高真空を必要とする真空室を排気するに好適
な複合ポンプ、特に非蒸発ゲッタポンプとイオンポンプ
とを複合した！ポンプの改良に関する。
清浄かつ超高真空を必要とする真空室を排気するに好適
な複合ポンプ、特に非蒸発ゲッタポンプとイオンポンプ
とを複合した！ポンプの改良に関する。
［従来の技術］
固体内部へのガス拡散機構によりポンプ作用を誘起する
非蒸発ゲッタポンプは、最近、例えば３００〜５００℃
で活性化すれば、常温で吸着作用を行う非蒸発ゲッタ材
料（例えばジルコンとバナジウムと鉄の合金）が開発さ
れ、手軽に使用できようになった。ところで、かかる非
蒸発ゲッタポンプはＨ２やＣＯに対して大きな排気速度
を持つが、ガスの選択性が強いため、通常は他のポンプ
と併用される。つまり、非蒸発ゲッタポンプとイオンポ
ンプとを複合した複合ポンプとして使用されるのが普通
である。
非蒸発ゲッタポンプは、最近、例えば３００〜５００℃
で活性化すれば、常温で吸着作用を行う非蒸発ゲッタ材
料（例えばジルコンとバナジウムと鉄の合金）が開発さ
れ、手軽に使用できようになった。ところで、かかる非
蒸発ゲッタポンプはＨ２やＣＯに対して大きな排気速度
を持つが、ガスの選択性が強いため、通常は他のポンプ
と併用される。つまり、非蒸発ゲッタポンプとイオンポ
ンプとを複合した複合ポンプとして使用されるのが普通
である。
第２図はかかる複合ポンプの従来例を示す構成概略断面
図であり、１はスパッタイオンポンプのポンプ容器、２
はこのポンプ容器の開放端部に設置されたフランジで、
このフランジを介して図示外の真空室に接続される。３
は前記ポンプ容器１の張り出し部１ａ内に組み込まれた
イオンポンプ素子であり、このポンプ素子は相対向する
ように置かれた板状の２枚のカソード４ａ、４ｂ （４
ｂは図示せず）とこの各カソード間に置かれた多数の円
筒状のアノード５ａ、５ｂ、５ｃ、・・・とから構成さ
れている。また、前記張り出し部分の外部には前記アノ
ードの軸方向に沿って磁場を形成するための磁石６が設
置しである。尚、前記各カソードはチタンで形成される
と共に、アノードに対して負の電圧が印加される。７は
前記ポンプ容器１内に設置された非蒸発ゲッタポンプで
あり、このポンプはポンプ容器１の底部１ａに固定され
た棒状ヒータ８と非蒸発ゲッタポンプ素子（以下単にゲ
ッタポンプ素子と称す）９とから構成されている。前記
ゲッタポンプ素子は帯状の金属製薄板の表裏面に前述し
た常温で吸着作用を行う非蒸発ゲッタ材を塗布したもの
であり、このゲッタポンプ素子を波状に折り曲げてヒー
タ８の外周に巻き付けながら固定することにより構成さ
れている。
図であり、１はスパッタイオンポンプのポンプ容器、２
はこのポンプ容器の開放端部に設置されたフランジで、
このフランジを介して図示外の真空室に接続される。３
は前記ポンプ容器１の張り出し部１ａ内に組み込まれた
イオンポンプ素子であり、このポンプ素子は相対向する
ように置かれた板状の２枚のカソード４ａ、４ｂ （４
ｂは図示せず）とこの各カソード間に置かれた多数の円
筒状のアノード５ａ、５ｂ、５ｃ、・・・とから構成さ
れている。また、前記張り出し部分の外部には前記アノ
ードの軸方向に沿って磁場を形成するための磁石６が設
置しである。尚、前記各カソードはチタンで形成される
と共に、アノードに対して負の電圧が印加される。７は
前記ポンプ容器１内に設置された非蒸発ゲッタポンプで
あり、このポンプはポンプ容器１の底部１ａに固定され
た棒状ヒータ８と非蒸発ゲッタポンプ素子（以下単にゲ
ッタポンプ素子と称す）９とから構成されている。前記
ゲッタポンプ素子は帯状の金属製薄板の表裏面に前述し
た常温で吸着作用を行う非蒸発ゲッタ材を塗布したもの
であり、このゲッタポンプ素子を波状に折り曲げてヒー
タ８の外周に巻き付けながら固定することにより構成さ
れている。
１０は前記ポンプ容器１の外壁に巻き付けられた焼出し
用の加熱ヒータである。
用の加熱ヒータである。
このように非蒸発ゲッタポンプとスパッタイオンポンプ
とを組み合わせた複合ポンプとなせば、ゲッタポンプ素
子８で排気しにくいガスをイオンポンプ素子３にて排気
することができる。
とを組み合わせた複合ポンプとなせば、ゲッタポンプ素
子８で排気しにくいガスをイオンポンプ素子３にて排気
することができる。
ところで、かかる複合ポンプを真空室へ取り付けた後あ
るいは超高真空に保たれた真空室内を大気に開放した後
に、真空室内を排気するときには、ヒータ８を通電して
ゲッタポンプ素子８を３００〜５００℃の高温度に加熱
してゲッタポンプ素子８の活性化を図る必要がある。ま
た、同時に、ヒータ１０にも通電してポンプ容器１を高
温に加熱して焼出しを行い、スパッタイオンポンプを構
成する部材からガスを放出させる必要がある。
るいは超高真空に保たれた真空室内を大気に開放した後
に、真空室内を排気するときには、ヒータ８を通電して
ゲッタポンプ素子８を３００〜５００℃の高温度に加熱
してゲッタポンプ素子８の活性化を図る必要がある。ま
た、同時に、ヒータ１０にも通電してポンプ容器１を高
温に加熱して焼出しを行い、スパッタイオンポンプを構
成する部材からガスを放出させる必要がある。
［発明が解決しようとする課題］
しかしながら、かかる複合ポンプではポンプ容器１内に
ヒータ８を組み込んでいるため、構造の複雑化を避ける
ことができない。また、スパッタイオンポンプの焼出し
用ヒータも組み込まれているため、コスト面においても
非常に効率が悪い。
ヒータ８を組み込んでいるため、構造の複雑化を避ける
ことができない。また、スパッタイオンポンプの焼出し
用ヒータも組み込まれているため、コスト面においても
非常に効率が悪い。
そこで、本発明はかかる点に鑑みてなされたものであり
、イオンポンプの焼出し用ヒータをゲッタポンプ素子の
活性化にも兼用することのできる複合ポンプを提供する
ことを目的とするものである。
、イオンポンプの焼出し用ヒータをゲッタポンプ素子の
活性化にも兼用することのできる複合ポンプを提供する
ことを目的とするものである。
［課題を解決するための手段］
上記目的を達成するため、本発明の複合ポンプは、非蒸
発ゲッタポンプとイオンポンプとを複合した複合ポンプ
において、前記イオンポンプを構成するポンプ内壁に取
り付けられた前記ゲッタポンプを構成する非蒸発ゲッタ
材と、該非蒸発ゲッタ材の活性温度までこの非蒸発ゲッ
タ材を加熱するために前記ポンプ容器に取り付けられた
加熱手段とを備えたことを特徴とするものである。
発ゲッタポンプとイオンポンプとを複合した複合ポンプ
において、前記イオンポンプを構成するポンプ内壁に取
り付けられた前記ゲッタポンプを構成する非蒸発ゲッタ
材と、該非蒸発ゲッタ材の活性温度までこの非蒸発ゲッ
タ材を加熱するために前記ポンプ容器に取り付けられた
加熱手段とを備えたことを特徴とするものである。
以下、本発明の実施例を図面に基づいて詳説する。
［実施例］
第１図は本発明に係る複合ポンプの一例を示す構成概略
断面図であり、第２図と同一番号のものは同一構成要素
を示す。
断面図であり、第２図と同一番号のものは同一構成要素
を示す。
本実施例において、第２図の従来例と相違するところは
、ポンプ容器１の内部にヒータ８とゲッタポンプ素子と
を一体化した非蒸発ゲッタポンプを設置することなく、
例えばコンスタンタンのような金属製薄板（図示せず）
に常温で吸着作用を行う非蒸発ゲッタ材１１を圧着によ
り保持させ、この薄板をポンプ容器１内壁に密着固定し
た点である。
、ポンプ容器１の内部にヒータ８とゲッタポンプ素子と
を一体化した非蒸発ゲッタポンプを設置することなく、
例えばコンスタンタンのような金属製薄板（図示せず）
に常温で吸着作用を行う非蒸発ゲッタ材１１を圧着によ
り保持させ、この薄板をポンプ容器１内壁に密着固定し
た点である。
このようになせば、ポンプ容器１の内面が非蒸発ゲッタ
ポンプとして作用し、また、非蒸発ゲッタ材はポンプ容
器１を介してヒータ９により熱伝導にて効率良く加熱さ
れる。その結果、従来のようにポンプ容器内部に非蒸発
ゲッタ材用の加熱ヒータを設置することなく、ポンプ容
器外周部に取り付けた１つの加熱ヒータ９によりスパッ
タイオンポンプを構成する部材及び非蒸発ゲッタ材を所
望の高温に加熱することができるため、スパッタイオン
ポンプの焼出し及び蒸発ゲッタポンプの活性化を同時に
行うことができる。
ポンプとして作用し、また、非蒸発ゲッタ材はポンプ容
器１を介してヒータ９により熱伝導にて効率良く加熱さ
れる。その結果、従来のようにポンプ容器内部に非蒸発
ゲッタ材用の加熱ヒータを設置することなく、ポンプ容
器外周部に取り付けた１つの加熱ヒータ９によりスパッ
タイオンポンプを構成する部材及び非蒸発ゲッタ材を所
望の高温に加熱することができるため、スパッタイオン
ポンプの焼出し及び蒸発ゲッタポンプの活性化を同時に
行うことができる。
尚、前述の説明は本発明の一例であり、実施にあたって
は幾多の変形が考えられる。例えば、上記実施例では非
蒸発ゲッタ材を薄板を介在させてポンプ容器内壁に取り
付けたが、薄板を用いることなく、非蒸発ゲッタ材をペ
レット状などにして直接ポンプ容器内壁に取り付けても
良い。
は幾多の変形が考えられる。例えば、上記実施例では非
蒸発ゲッタ材を薄板を介在させてポンプ容器内壁に取り
付けたが、薄板を用いることなく、非蒸発ゲッタ材をペ
レット状などにして直接ポンプ容器内壁に取り付けても
良い。
また、上記実施例では非蒸発ゲッタ材として常温で使用
する場合について述べたが、これに限定されることなく
、常温より高い温度で吸着作用を行うものを使用しても
よいことは言うまでもない。
する場合について述べたが、これに限定されることなく
、常温より高い温度で吸着作用を行うものを使用しても
よいことは言うまでもない。
さらに、上記実施例ではイオンポンプとしてスパッタイ
オンポンプを使用したが、スパッタ作用を行わないイオ
ンポンプを使用しても良い。
オンポンプを使用したが、スパッタ作用を行わないイオ
ンポンプを使用しても良い。
さらに、また、上記実施例では焼出し用ヒータをポンプ
容器外周部に巻き付けたが、ヒータをポンプ容器側壁に
埋め込むようにしても良い。
容器外周部に巻き付けたが、ヒータをポンプ容器側壁に
埋め込むようにしても良い。
［効果］
以上詳述したように本発明によれば、イオンポンプのポ
ンプ容器内壁を非蒸発ゲッタポンプとして使用すること
ができるため、従来のようにポンプ容器内部にヒータを
組み込む必要がなくなる。
ンプ容器内壁を非蒸発ゲッタポンプとして使用すること
ができるため、従来のようにポンプ容器内部にヒータを
組み込む必要がなくなる。
そのため、ヒータからのガス放出の影響を防止すること
ができると共に、構造の簡略化を図ることができる。ま
た、イオンポンプ焼出し用のヒータにより非蒸発ゲッタ
材の活性化を行うことができるため、コストの低減を図
ることができる。さらに、非蒸発ゲッタ材の加熱は熱伝
導により行うことができるため、効率の良い加熱を行う
ことができる。
ができると共に、構造の簡略化を図ることができる。ま
た、イオンポンプ焼出し用のヒータにより非蒸発ゲッタ
材の活性化を行うことができるため、コストの低減を図
ることができる。さらに、非蒸発ゲッタ材の加熱は熱伝
導により行うことができるため、効率の良い加熱を行う
ことができる。
第１図は本発明に係る複合ポンプの一例を示す構成概略
断面図、第２図は従来の複合ポンプを示す構成概略断面
図である。 １：ポンプ容器 ２：フランジ ３ニイオンボンブ素子 ４ａ：カソード ５ａ、５ｂ、５Ｃニアノード ６：磁石 ７：非蒸発ゲッタポンプ ｓ、ｉｏ：加熱ヒータ： ９：非蒸発ゲッタポンプ素子 １１：非蒸発ゲッタ材
断面図、第２図は従来の複合ポンプを示す構成概略断面
図である。 １：ポンプ容器 ２：フランジ ３ニイオンボンブ素子 ４ａ：カソード ５ａ、５ｂ、５Ｃニアノード ６：磁石 ７：非蒸発ゲッタポンプ ｓ、ｉｏ：加熱ヒータ： ９：非蒸発ゲッタポンプ素子 １１：非蒸発ゲッタ材
Claims (1)
- 非蒸発ゲッタポンプとイオンポンプとを複合した複合ポ
ンプにおいて、前記イオンポンプを構成するポンプ内壁
に取り付けられた前記ゲッタポンプを構成する非蒸発ゲ
ッタ材と、該非蒸発ゲッタ材の活性温度までこの非蒸発
ゲッタ材を加熱するために前記ポンプ容器に取り付けら
れた加熱手段とを備えたことを特徴とする複合ポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1641790A JPH03222876A (ja) | 1990-01-26 | 1990-01-26 | 複合ポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1641790A JPH03222876A (ja) | 1990-01-26 | 1990-01-26 | 複合ポンプ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03222876A true JPH03222876A (ja) | 1991-10-01 |
Family
ID=11915660
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1641790A Pending JPH03222876A (ja) | 1990-01-26 | 1990-01-26 | 複合ポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03222876A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2001042652A1 (en) * | 1999-12-07 | 2001-06-14 | Samjoo Machinery Co., Ltd. | Hydraulic pump |
| JP2006294481A (ja) * | 2005-04-13 | 2006-10-26 | Hitachi High-Technologies Corp | 荷電粒子線装置 |
| JP2007157682A (ja) * | 2005-11-10 | 2007-06-21 | Hitachi High-Technologies Corp | 荷電粒子線装置 |
| JP2011517836A (ja) * | 2008-03-28 | 2011-06-16 | サエス ゲッターズ ソチエタ ペル アツィオニ | ゲッタポンプ及びイオンポンプを具備する複合排気システム |
| JP2019091576A (ja) * | 2017-11-13 | 2019-06-13 | 国立研究開発法人情報通信研究機構 | 真空作成装置 |
| GB2619340A (en) * | 2022-06-01 | 2023-12-06 | Edwards Ltd | Vacuum component and vacuum apparatus |
-
1990
- 1990-01-26 JP JP1641790A patent/JPH03222876A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2001042652A1 (en) * | 1999-12-07 | 2001-06-14 | Samjoo Machinery Co., Ltd. | Hydraulic pump |
| JP2006294481A (ja) * | 2005-04-13 | 2006-10-26 | Hitachi High-Technologies Corp | 荷電粒子線装置 |
| JP2007157682A (ja) * | 2005-11-10 | 2007-06-21 | Hitachi High-Technologies Corp | 荷電粒子線装置 |
| JP2011517836A (ja) * | 2008-03-28 | 2011-06-16 | サエス ゲッターズ ソチエタ ペル アツィオニ | ゲッタポンプ及びイオンポンプを具備する複合排気システム |
| EP2260502B1 (en) * | 2008-03-28 | 2023-05-03 | SAES GETTERS S.p.A. | Combined pumping system comprising a getter pump and an ion pump |
| JP2019091576A (ja) * | 2017-11-13 | 2019-06-13 | 国立研究開発法人情報通信研究機構 | 真空作成装置 |
| GB2619340A (en) * | 2022-06-01 | 2023-12-06 | Edwards Ltd | Vacuum component and vacuum apparatus |
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