JPS6314485A - ガスレ−ザ発振装置 - Google Patents
ガスレ−ザ発振装置Info
- Publication number
- JPS6314485A JPS6314485A JP15803286A JP15803286A JPS6314485A JP S6314485 A JPS6314485 A JP S6314485A JP 15803286 A JP15803286 A JP 15803286A JP 15803286 A JP15803286 A JP 15803286A JP S6314485 A JPS6314485 A JP S6314485A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- laser
- laser output
- inverter
- fan
- blower
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/036—Means for obtaining or maintaining the desired gas pressure within the tube, e.g. by gettering, replenishing; Means for circulating the gas, e.g. for equalising the pressure within the tube
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の目的〕
（産業上の利用分野）
本発明はガスレーザ発振装置に係り１％にガスレーザ媒
質を放電部に流す方式の装置に関する。
質を放電部に流す方式の装置に関する。
（従来の技術）
第３図は光共振器の光軸とガスレーザ媒質を励起する放
電方向およびガスレーザ媒質の流れる方向が同一方向に
なるいわゆる高速軸流形のガスレーザ発振装置の従来例
の一つであって以下のように構成されている。すなわち
、（１）はガス放電管で１石英等からなる一対の管体（
２ａ）、 （２ｂ）を絶縁性を有する接続管（３）で接
続し、上記管体（２ａ）、 （２ｂ）内にそれぞれ一対
の放電電極（４ａ）、 （４ｂ）および（５ａ）、 （
５ｂ）をそれぞれ接続管（３）側を高電位にして設け、
二つの放電部（６ａ）、 （６ｂ）を形成しているよう
になっている。ガス放電管（１）の両端部にはミラーホ
ルダ（７ａ）、 （７ｂ）が気密に取り付けられている
。
電方向およびガスレーザ媒質の流れる方向が同一方向に
なるいわゆる高速軸流形のガスレーザ発振装置の従来例
の一つであって以下のように構成されている。すなわち
、（１）はガス放電管で１石英等からなる一対の管体（
２ａ）、 （２ｂ）を絶縁性を有する接続管（３）で接
続し、上記管体（２ａ）、 （２ｂ）内にそれぞれ一対
の放電電極（４ａ）、 （４ｂ）および（５ａ）、 （
５ｂ）をそれぞれ接続管（３）側を高電位にして設け、
二つの放電部（６ａ）、 （６ｂ）を形成しているよう
になっている。ガス放電管（１）の両端部にはミラーホ
ルダ（７ａ）、 （７ｂ）が気密に取り付けられている
。
一方のミラーホルダ（７ａ）には全反射鏡（８）が設け
られ、他方のミラーホルダ（７ｂ） Ｋは出力鏡（９）
が全反射鏡（８）に相対向して設けられている。接続管
（１）およびミラーホルダ（７ａ）、 （７ｂ）に対し
循環管体（１１がＥ形状に接続され、ガス放電管（１）
とともに循環路を構成している。循環管体翰には上記循
環路内に封入されているガスレーザ媒質を循環する手段
とシテメカニカルプース久ポンプ等の送風装置αＢが設
けられているとともに、この送風装ｆｉｔ（１１）の流
出側および吐出側に冷却手段としての熱交換器（１２ａ
）。
られ、他方のミラーホルダ（７ｂ） Ｋは出力鏡（９）
が全反射鏡（８）に相対向して設けられている。接続管
（１）およびミラーホルダ（７ａ）、 （７ｂ）に対し
循環管体（１１がＥ形状に接続され、ガス放電管（１）
とともに循環路を構成している。循環管体翰には上記循
環路内に封入されているガスレーザ媒質を循環する手段
とシテメカニカルプース久ポンプ等の送風装置αＢが設
けられているとともに、この送風装ｆｉｔ（１１）の流
出側および吐出側に冷却手段としての熱交換器（１２ａ
）。
（１２ｂ）が設けられている。また、上記送風装置αυ
は商用電源ａ３により、一定の回転数で回転駆動される
ようになっている。循環管体α値は可撓性に欠けるもの
から作られているため１組立時のｖ４整を容易にするた
めミラホルダー（７ａ）、 （７ｂ）と流入側になる熱
交換器（１２ａ）の近傍部分には金属製のベローズ（１
４ａ）、 （１４ｂ）、 （１４Ｃ）が取り付けられて
いる。
は商用電源ａ３により、一定の回転数で回転駆動される
ようになっている。循環管体α値は可撓性に欠けるもの
から作られているため１組立時のｖ４整を容易にするた
めミラホルダー（７ａ）、 （７ｂ）と流入側になる熱
交換器（１２ａ）の近傍部分には金属製のベローズ（１
４ａ）、 （１４ｂ）、 （１４Ｃ）が取り付けられて
いる。
なお、霞は放電電極用の電源部で安定化抵抗α０を介し
て各電極に接続している。電源部（１９内にはレーザ出
力設定部αηが設けられている。
て各電極に接続している。電源部（１９内にはレーザ出
力設定部αηが設けられている。
上記のような高速軸流形の装置では、放電入力に対する
レーザ出力（発振効率）は１５〜２０％と高い値となる
。ところで、ガスレーザ媒質を循環させる送風装置αＪ
は比較的消費電力の大きなタイプが使われる。そのため
、定格レーザ出力時での全入力（放電人力＋送風装置消
費電力＋電源損失電力）に対するレーザ出力の比（総合
効率）は７〜１０％となる。レーザが小出力のときは放
電入力、電力損失とも小さくてすむが送風装置の消費電
力は変化がなく、相対的に大きくなるため、総合効率は
大きく減少する。例えば、定格出力の１１５程度の出力
の場合、総合効率の値は３％程度にまで落ちてしまう。
レーザ出力（発振効率）は１５〜２０％と高い値となる
。ところで、ガスレーザ媒質を循環させる送風装置αＪ
は比較的消費電力の大きなタイプが使われる。そのため
、定格レーザ出力時での全入力（放電人力＋送風装置消
費電力＋電源損失電力）に対するレーザ出力の比（総合
効率）は７〜１０％となる。レーザが小出力のときは放
電入力、電力損失とも小さくてすむが送風装置の消費電
力は変化がなく、相対的に大きくなるため、総合効率は
大きく減少する。例えば、定格出力の１１５程度の出力
の場合、総合効率の値は３％程度にまで落ちてしまう。
（発明が解決すべき問題点）
本発明はレーザ出力の値によって送風装置の消費電力が
総合効率に大きく影響する問題を解消しレーザ出力が小
出力のときにも総合効率の低下の少ないガスレーザ発振
装置を提供することを目的とする。
総合効率に大きく影響する問題を解消しレーザ出力が小
出力のときにも総合効率の低下の少ないガスレーザ発振
装置を提供することを目的とする。
（問題点を解決するための手段）
レーザ光を発振するガス放電管と、このガス放電管に接
続して密閉循環路を構成する循環管体と、上記循環路内
に封入されたガスレーザ媒質を送風羽根の回転で循環す
る送風装置と、レーザ出力に応じて上記送風羽根の回転
数をレーザ出力設定値からの信号に基いて変化させる可
変手段とを備えた構成としたものである。
続して密閉循環路を構成する循環管体と、上記循環路内
に封入されたガスレーザ媒質を送風羽根の回転で循環す
る送風装置と、レーザ出力に応じて上記送風羽根の回転
数をレーザ出力設定値からの信号に基いて変化させる可
変手段とを備えた構成としたものである。
（作用）
可変手段を設けたことによりレーザ出力が小出力のとき
に送風手段としての送風装置の回転数を落とし、消費電
力を少なくすることができるようになった。
に送風手段としての送風装置の回転数を落とし、消費電
力を少なくすることができるようになった。
（実施例）
以下、実施例を示す図面に基いて本発明を説明する。
第１図は本発明の一実施例で、第３図と共通する部分に
は同一符号を付して説明を省略する。
は同一符号を付して説明を省略する。
！＄１図において、第４図に示した従来の構成と異なる
点は送風装置ａυを駆動する商用電源Ｑ３に対しこの商
用電源（１３の周波数を制御するインバータ翰が接続さ
れ、送風装置Ｉがこのインバータ翰によってその回転数
を制御される構成になっていることと、レーザ出力設定
部αηとインバータ■とが電気的）て接続し、このイン
バータ（イ）がレーザ出力設定部αηから送られてくる
設定出力の信号を受けて送風装置住υの回転数を変化す
る構成になっている点である。すなわち、最大レーザ出
力が７００Ｗ。
点は送風装置ａυを駆動する商用電源Ｑ３に対しこの商
用電源（１３の周波数を制御するインバータ翰が接続さ
れ、送風装置Ｉがこのインバータ翰によってその回転数
を制御される構成になっていることと、レーザ出力設定
部αηとインバータ■とが電気的）て接続し、このイン
バータ（イ）がレーザ出力設定部αηから送られてくる
設定出力の信号を受けて送風装置住υの回転数を変化す
る構成になっている点である。すなわち、最大レーザ出
力が７００Ｗ。
その時の送風装置の回転数が３６０Ｏｒｐｍの場合では
回転数は下表のように制御される。
回転数は下表のように制御される。
ここで、第２図に送風装置の回転数と消費電力の関係を
示す。上記実施例で、たとえば出力１００Ｗ時の送風装
置の（運転）回転数は５ＱＱｒｐｍ（ＩＱ）ｈ）０、Ｉ
ＫＷ であるので、総合効率は ／ （０，７ＫＷ ＋ ｏ
、ｏ ８ ＫＷ＋ ０．３ｘｗ ） ＝ ０．０９３
、すなわち、９．３％となる。この場合、従来では０．
Ｉ ＫＷ／ （０，７ＫＷ ＋ ２．２ ＫＷ ＋ ０
．３°ＫＷ）＝ ０．３３ 。
示す。上記実施例で、たとえば出力１００Ｗ時の送風装
置の（運転）回転数は５ＱＱｒｐｍ（ＩＱ）ｈ）０、Ｉ
ＫＷ であるので、総合効率は ／ （０，７ＫＷ ＋ ｏ
、ｏ ８ ＫＷ＋ ０．３ｘｗ ） ＝ ０．０９３
、すなわち、９．３％となる。この場合、従来では０．
Ｉ ＫＷ／ （０，７ＫＷ ＋ ２．２ ＫＷ ＋ ０
．３°ＫＷ）＝ ０．３３ 。
すなわち上記実施例の効率の約１／３程度の３．３％と
なる。
なる。
なお、上記実施例では高速軸流形のガスレーザ発振装置
で説明したが、光共振軸方向、放電方向。
で説明したが、光共振軸方向、放電方向。
ガスレーザ媒質の流れる方向の三方向が少なくとも二つ
が交差するいわゆる横流式のガスレーザ発振装置にも篩
用できるものである。また、インバータ翰はレーザ出力
設定部からの信号を受けて回転数を変化させるようにし
たが、レーザ発振装置から放出された実際のレーザ光の
出力を検出して、その検出出力に応じた回転数に変化さ
せるようにしてもよい。
が交差するいわゆる横流式のガスレーザ発振装置にも篩
用できるものである。また、インバータ翰はレーザ出力
設定部からの信号を受けて回転数を変化させるようにし
たが、レーザ発振装置から放出された実際のレーザ光の
出力を検出して、その検出出力に応じた回転数に変化さ
せるようにしてもよい。
レーザ出力に応じて送風装置の送風回転数を可変にした
ので、レーザ出力が小出力時に必要以上の送風回転数で
ガスレーザ媒質を循環することがなくなり、そのため、
消費電力の節減はもとより低出力時におけるレーザ発振
の総合効率を大福に向上することができた。
ので、レーザ出力が小出力時に必要以上の送風回転数で
ガスレーザ媒質を循環することがなくなり、そのため、
消費電力の節減はもとより低出力時におけるレーザ発振
の総合効率を大福に向上することができた。
第１図は本発明の一実施例を示す構成図、第２図は送風
装置の回転数と消費電力の相関関係を示す図、第３図は
従来例を示す構成図である。 （１）・・・ガス放電管 （ＩＩ・・・循環管
体（１１１・・・送風装置 ０・・・商用電源
部（ｌり・・・電源部 αη・・・レーザ
出力設定部（イ）・・・インバータ（可変手段） 代理人 弁理士 則 近 憲 佑 同 竹 花 喜久男 ＋７Ｌ−ザ郷加ｕ５β 第１８
装置の回転数と消費電力の相関関係を示す図、第３図は
従来例を示す構成図である。 （１）・・・ガス放電管 （ＩＩ・・・循環管
体（１１１・・・送風装置 ０・・・商用電源
部（ｌり・・・電源部 αη・・・レーザ
出力設定部（イ）・・・インバータ（可変手段） 代理人 弁理士 則 近 憲 佑 同 竹 花 喜久男 ＋７Ｌ−ザ郷加ｕ５β 第１８
Claims (1)
- レーザ発振するガス放電管と、このガス放電管に接続し
て密閉循環路を構成する循環管体と、上記循環路内に封
入されたガスレーザ媒質を送風羽根の回転で循環させる
送風装置と、上記送風羽根の回転数をレーザ出力設定値
からの信号に基いて変化させる可変手段とを備えたこと
を特徴とするガスレーザ発振装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15803286A JPS6314485A (ja) | 1986-07-07 | 1986-07-07 | ガスレ−ザ発振装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15803286A JPS6314485A (ja) | 1986-07-07 | 1986-07-07 | ガスレ−ザ発振装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6314485A true JPS6314485A (ja) | 1988-01-21 |
Family
ID=15662781
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15803286A Pending JPS6314485A (ja) | 1986-07-07 | 1986-07-07 | ガスレ−ザ発振装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6314485A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20240039228A1 (en) * | 2020-12-22 | 2024-02-01 | Cymer, Llc | Reducing energy consumption of a gas discharge chamber blower |
-
1986
- 1986-07-07 JP JP15803286A patent/JPS6314485A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20240039228A1 (en) * | 2020-12-22 | 2024-02-01 | Cymer, Llc | Reducing energy consumption of a gas discharge chamber blower |
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