JPS63148088A - 連続式真空熱処理炉 - Google Patents
連続式真空熱処理炉Info
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- JPS63148088A JPS63148088A JP17496687A JP17496687A JPS63148088A JP S63148088 A JPS63148088 A JP S63148088A JP 17496687 A JP17496687 A JP 17496687A JP 17496687 A JP17496687 A JP 17496687A JP S63148088 A JPS63148088 A JP S63148088A
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Landscapes
- Tunnel Furnaces (AREA)
- Powder Metallurgy (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
この発明は、鉄系材料、磁性材料、超硬工具材料等の金
属、セラミックス、カーボン、グラファイト、複合材等
の被処理物を、真空室内で、真空、水素、窒素、アルゴ
ン、ヘリウム、炭化水素系ガス等の雰囲気の下で、試料
の用途に適合した各種の熱処理条件(例えば、予備過熱
、本過熱、焼結、焼き入れ、焼きもどし、焼きならし、
焼きなまし、脱バインダー、ロー付け、脱カス、還元、
窒化、浸炭、ホy l・プレス、拡散接合等)に従って
、連続的に処理する連続式真空熱処理炉に関するもので
ある。
属、セラミックス、カーボン、グラファイト、複合材等
の被処理物を、真空室内で、真空、水素、窒素、アルゴ
ン、ヘリウム、炭化水素系ガス等の雰囲気の下で、試料
の用途に適合した各種の熱処理条件(例えば、予備過熱
、本過熱、焼結、焼き入れ、焼きもどし、焼きならし、
焼きなまし、脱バインダー、ロー付け、脱カス、還元、
窒化、浸炭、ホy l・プレス、拡散接合等)に従って
、連続的に処理する連続式真空熱処理炉に関するもので
ある。
(従来技術)
一般に粉末焼結の熱処理には、ステアリン酸亜鉛やパラ
フィン系のワンクス等が使用され、これらは真空中やガ
ス気流中の雰囲気で熱処理されている。その熱処理過程
を第2図で説明する。
フィン系のワンクス等が使用され、これらは真空中やガ
ス気流中の雰囲気で熱処理されている。その熱処理過程
を第2図で説明する。
炉外台車6上に載せられた試料Aは、シリンダー7によ
り予備加熱室1に搬入され、開閉扉5が閉められた後、
予備加熱室1を真空排気しつつ、所定の温度にて予備加
熱を行う。予備加熱終了後、仕切弁4が開かれ試料Aは
シリンダー7により、予め予備加熱室1と同等に真空排
気された本加熱室2に搬入される。試料Aは本加熱室2
に搬入後、仕切弁4が閉められ、試料Aは本加熱室2に
て所定の圧力、温度にて熱処理が行われる。右熱処理終
了後、仕切弁4′が開かれ試料Aはシリンダー7゛によ
り、予め本加熱室2と同等に真空排気された冷却室3に
搬入される。試料Aは冷却室3に搬入後、仕切弁4゛が
閉められ、冷却室3内にガスが導入され所定の冷却を行
う。右冷却後冷却室3内を大気圧と同圧にして、開閉扉
5°を開き、試料Aはシリンダー7゛により炉外台車6
゛上に搬出される(以上を一般的な工程という。)以上
が一般的な工程であるが、靭性アップのために焼きもど
しをすることがある。右の場合は上記実施例で行うには
、試料Aを冷却後本加熱室2に戻すか、又は冷却室3の
後に加熱室を連結する方法が考えられる。
り予備加熱室1に搬入され、開閉扉5が閉められた後、
予備加熱室1を真空排気しつつ、所定の温度にて予備加
熱を行う。予備加熱終了後、仕切弁4が開かれ試料Aは
シリンダー7により、予め予備加熱室1と同等に真空排
気された本加熱室2に搬入される。試料Aは本加熱室2
に搬入後、仕切弁4が閉められ、試料Aは本加熱室2に
て所定の圧力、温度にて熱処理が行われる。右熱処理終
了後、仕切弁4′が開かれ試料Aはシリンダー7゛によ
り、予め本加熱室2と同等に真空排気された冷却室3に
搬入される。試料Aは冷却室3に搬入後、仕切弁4゛が
閉められ、冷却室3内にガスが導入され所定の冷却を行
う。右冷却後冷却室3内を大気圧と同圧にして、開閉扉
5°を開き、試料Aはシリンダー7゛により炉外台車6
゛上に搬出される(以上を一般的な工程という。)以上
が一般的な工程であるが、靭性アップのために焼きもど
しをすることがある。右の場合は上記実施例で行うには
、試料Aを冷却後本加熱室2に戻すか、又は冷却室3の
後に加熱室を連結する方法が考えられる。
又、粉末焼結の場合は試料Aに必ずワックス等が付着し
ており、試料Aは予備加熱室1において脱ワツクスされ
本加熱室2に搬入される。
ており、試料Aは予備加熱室1において脱ワツクスされ
本加熱室2に搬入される。
(発明が解決しようとする問題点)
上記の一般的な工程では、各処理工程のタイムサイクル
がまちまちの場合には試料Aの処理が効率的に行われな
い。
がまちまちの場合には試料Aの処理が効率的に行われな
い。
また、焼きもどしの場合は、一般的な工程では益々処理
時間が増加するし、冷却室3の後に加熱室を連結する方
法では、シリンダー7、シリンダー7′のシャフト長を
長くしなければならず、メカニズム的な問題も多い。
時間が増加するし、冷却室3の後に加熱室を連結する方
法では、シリンダー7、シリンダー7′のシャフト長を
長くしなければならず、メカニズム的な問題も多い。
更に粉末焼結の場合は試料Aは予備加熱室lにおいて脱
ワツクスされるので、予備加熱室lで発生したワンクス
が本加熱室2に侵入しやすく、右室での熱処理が円滑に
行われないことがある。
ワツクスされるので、予備加熱室lで発生したワンクス
が本加熱室2に侵入しやすく、右室での熱処理が円滑に
行われないことがある。
生産量が増加した場合、炉の増設を行うためには、炉シ
ステム全体を新たに設置する必要があり、設備に無駄を
生ずる。
ステム全体を新たに設置する必要があり、設備に無駄を
生ずる。
炉の保守を行う場合、1つの処理室を保守するためにも
炉全体を止める必要がある。
炉全体を止める必要がある。
(問題点を解決するための手段)
この発明は、鉄系材料、磁性材料、超硬工具材料等の金
属、セラミックス、カーボン、グラファイト、複合材等
の被処理物を、真空室内で、真空、水素、窒素、アルゴ
ン、ヘリウム、炭化水素系ガス等の雰囲気の下で、試料
の用途に適合した各種の熱処理条件(例えば、予備過熱
、本過熱、焼結、焼き入れ、焼きもどし、焼きならし、
焼きなまし、脱バインダー、ロー付け、脱ガス、還元、
窒化、浸炭、ホットプレス、拡散接合等)に従って効率
的に処理し、しかも処理時間を大幅に短縮させた連続式
真空熱処理炉を提供するものであるすなわち、加熱室、
冷却室、試料出し入れ室を移載室に連結したことを特徴
とする連続式真空熱処理炉を提供するものである。
属、セラミックス、カーボン、グラファイト、複合材等
の被処理物を、真空室内で、真空、水素、窒素、アルゴ
ン、ヘリウム、炭化水素系ガス等の雰囲気の下で、試料
の用途に適合した各種の熱処理条件(例えば、予備過熱
、本過熱、焼結、焼き入れ、焼きもどし、焼きならし、
焼きなまし、脱バインダー、ロー付け、脱ガス、還元、
窒化、浸炭、ホットプレス、拡散接合等)に従って効率
的に処理し、しかも処理時間を大幅に短縮させた連続式
真空熱処理炉を提供するものであるすなわち、加熱室、
冷却室、試料出し入れ室を移載室に連結したことを特徴
とする連続式真空熱処理炉を提供するものである。
(作用)
本発明の作用を第1図に従って説明すると、先ず開閉扉
5が開かれ、炉外台車6上の試料Aは炉外台車上の搬入
機構により、予備加熱室1に搬入される。そして開閉扉
5が閉められた後、予備加熱室1を真空排気しつつ所定
の温度にて予備加熱を行う。予備加熱終了後、仕切弁4
が開かれ試料Aはシリンダー7により、予め予備加熱室
lと同等に真空排気された移載室8に搬出され、仕切弁
4が閉められた後、移載機構9によって仕切弁4”の前
まで移送される。そして仕切弁4゛が開かれ試料Aはシ
リンダー7°により、予め移載室8と同等に真空排気さ
れた本加熱室2に搬入され、仕切弁4°が閉められた後
、試料Aは本加熱室2において所定の圧力、温度にて熱
処理が行われる上記熱処理終了後、仕切弁4°が開かれ
試料Aはシリンダー7°により、移載室8に搬出される
。仕切弁4′が閉められた後、試料Aは移送機構9によ
って仕切弁4”の前まで移送される。そして仕切弁4”
が開かれ、試料Aは予め移載室8と同等に真空排気され
た冷却室3に搬入される。試料Aは冷却室3に搬入後、
仕切弁4″が閉められ、冷却室3内にガスが導入され所
定の冷却を行う。上記冷却後冷却室3内を大気圧と同圧
にして、開閉扉5”を開き、試料Aはシリンダー7”に
より炉外台車6′上に搬出される。
5が開かれ、炉外台車6上の試料Aは炉外台車上の搬入
機構により、予備加熱室1に搬入される。そして開閉扉
5が閉められた後、予備加熱室1を真空排気しつつ所定
の温度にて予備加熱を行う。予備加熱終了後、仕切弁4
が開かれ試料Aはシリンダー7により、予め予備加熱室
lと同等に真空排気された移載室8に搬出され、仕切弁
4が閉められた後、移載機構9によって仕切弁4”の前
まで移送される。そして仕切弁4゛が開かれ試料Aはシ
リンダー7°により、予め移載室8と同等に真空排気さ
れた本加熱室2に搬入され、仕切弁4°が閉められた後
、試料Aは本加熱室2において所定の圧力、温度にて熱
処理が行われる上記熱処理終了後、仕切弁4°が開かれ
試料Aはシリンダー7°により、移載室8に搬出される
。仕切弁4′が閉められた後、試料Aは移送機構9によ
って仕切弁4”の前まで移送される。そして仕切弁4”
が開かれ、試料Aは予め移載室8と同等に真空排気され
た冷却室3に搬入される。試料Aは冷却室3に搬入後、
仕切弁4″が閉められ、冷却室3内にガスが導入され所
定の冷却を行う。上記冷却後冷却室3内を大気圧と同圧
にして、開閉扉5”を開き、試料Aはシリンダー7”に
より炉外台車6′上に搬出される。
以上の説明は、冷却室から試料Aが出入りする場合につ
いてのものであるが、試料出し入れ室を接続した場合も
、同室は冷却作用を除き上述の冷却室と同様の作用を行
う。
いてのものであるが、試料出し入れ室を接続した場合も
、同室は冷却作用を除き上述の冷却室と同様の作用を行
う。
(実施例)
本発明の一実施例を、第1図に従って説明すると、移載
室8は、予備加熱室1、本加熱室2、冷却室3の各室に
対応して三分割されており、しかも両端が7ランジ構造
になった同型のものになっており、いわゆるユニット構
造になっている。移載室8は移送Ia4TI9を内蔵し
ており、移送機構9はチェーン具備した駆動コンベアで
もよいし、エアシリンダーでもよい。又移載室8には図
のように予備加熱室1、本加熱室2、冷却室3の順に連
結されている。
室8は、予備加熱室1、本加熱室2、冷却室3の各室に
対応して三分割されており、しかも両端が7ランジ構造
になった同型のものになっており、いわゆるユニット構
造になっている。移載室8は移送Ia4TI9を内蔵し
ており、移送機構9はチェーン具備した駆動コンベアで
もよいし、エアシリンダーでもよい。又移載室8には図
のように予備加熱室1、本加熱室2、冷却室3の順に連
結されている。
予備加熱室1は移載室8側に仕切弁4を具備しており、
移載室8と反対側には開閉扉5を具備している。開閉扉
5に接して炉外台車6が延設されている。炉外台車6は
搬入機構を具えており、試料Aを予備加熱室lに搬′入
する。又シリンダー7を移載室8を中心にして予備加熱
室1と対称の位置に移載室8に接して延設し、試料Aを
予備加熱室工から移載室8へ搬出するつ 本加熱室2は移載室8側に仕切弁4′を具備している。
移載室8と反対側には開閉扉5を具備している。開閉扉
5に接して炉外台車6が延設されている。炉外台車6は
搬入機構を具えており、試料Aを予備加熱室lに搬′入
する。又シリンダー7を移載室8を中心にして予備加熱
室1と対称の位置に移載室8に接して延設し、試料Aを
予備加熱室工から移載室8へ搬出するつ 本加熱室2は移載室8側に仕切弁4′を具備している。
シリンダー7゛は移載室8を中心にして本加熱室2と対
称の位置に移載室8に接して延設されており、試料Aを
移載室8から本加熱室2に搬入、搬出する。
称の位置に移載室8に接して延設されており、試料Aを
移載室8から本加熱室2に搬入、搬出する。
冷却室3は移載室8側に仕切弁4”を具備しており、移
載室8と反対側には開閉扉5”を具備している。開閉扉
5”に接して炉外台車6”が延設されている。炉外台車
6”は搬出機構を具えており、試料Aを炉外台車6”上
に搬出する。又シリンダー7”を移載室8を中心にして
冷却室3と対称の位置に移載室8に接して延設し、試料
Aの冷却室3及び移載室8への搬出、搬入に使用する。
載室8と反対側には開閉扉5”を具備している。開閉扉
5”に接して炉外台車6”が延設されている。炉外台車
6”は搬出機構を具えており、試料Aを炉外台車6”上
に搬出する。又シリンダー7”を移載室8を中心にして
冷却室3と対称の位置に移載室8に接して延設し、試料
Aの冷却室3及び移載室8への搬出、搬入に使用する。
なお本発明はこの実施例に限定される訳でなく、本加熱
が予備加熱の2倍の時間がかかる時は本加熱室2を2つ
設けて、予備加熱室1で予備加熱したものを、順次2つ
の本加熱室2に搬入すればロスタイムなく試料Aを処理
できる。又焼さもどしをするには冷却室3の後に後熱処
理室10を設けて画室構造にしても良いし、第1図の様
な構造でも、2つの試料Aをそれぞれ本加熱室2、冷却
室3で同時処理してそれぞれの試料Aを入れ換えればよ
い。このようにすることにより、試料Aの熱処理を、効
率的に行えるのである。
が予備加熱の2倍の時間がかかる時は本加熱室2を2つ
設けて、予備加熱室1で予備加熱したものを、順次2つ
の本加熱室2に搬入すればロスタイムなく試料Aを処理
できる。又焼さもどしをするには冷却室3の後に後熱処
理室10を設けて画室構造にしても良いし、第1図の様
な構造でも、2つの試料Aをそれぞれ本加熱室2、冷却
室3で同時処理してそれぞれの試料Aを入れ換えればよ
い。このようにすることにより、試料Aの熱処理を、効
率的に行えるのである。
又、移載室8は、両端が7ランジ構造になったいわゆる
ユニット構造になっているので、第3図のように、本加
熱に時間がかかり、しかも焼きもどし等の処理をするに
は、木・加熱室2を2室設け、冷却室3の後に後熱処理
室10を設ける事も可能であり、第4図のように、予備
加熱が本加熱より時間がかかり、しかも焼きもどし等の
処理をするには、予備加熱室1を3室設け、本加熱室2
を2室設ければ良く、後熱処理に時間がかからないとき
は、冷却室3の後に後熱処理室10を1室設ければ良い
。
ユニット構造になっているので、第3図のように、本加
熱に時間がかかり、しかも焼きもどし等の処理をするに
は、木・加熱室2を2室設け、冷却室3の後に後熱処理
室10を設ける事も可能であり、第4図のように、予備
加熱が本加熱より時間がかかり、しかも焼きもどし等の
処理をするには、予備加熱室1を3室設け、本加熱室2
を2室設ければ良く、後熱処理に時間がかからないとき
は、冷却室3の後に後熱処理室10を1室設ければ良い
。
本発明の他の1実施例を構成するユニットについて一般
的に述べる。
的に述べる。
処理室(熱処理室、冷却室、試料出し入れ室)11は、
第5図のように、仕切弁4を介して移載室8に接続され
ている。移載室8内には、試料Aを処理室11と移載室
8間で移動する機構と、試料Aを1つの移載室から他の
処理室に接続された移載室に移動する機構の2通りの移
動機構を具えている。移動機構は常に常温の移載室内に
あって仕切弁によって遮断されているので、処理室から
の汚染、熱による悪影響がない。
第5図のように、仕切弁4を介して移載室8に接続され
ている。移載室8内には、試料Aを処理室11と移載室
8間で移動する機構と、試料Aを1つの移載室から他の
処理室に接続された移載室に移動する機構の2通りの移
動機構を具えている。移動機構は常に常温の移載室内に
あって仕切弁によって遮断されているので、処理室から
の汚染、熱による悪影響がない。
他のユニットとは移載室のフランジを接続すると一体と
なり、試料を1つの処理室から他の処理室へ移動させる
ことができる。
なり、試料を1つの処理室から他の処理室へ移動させる
ことができる。
熱処理室には、通常の熱処理を行う熱処理ユニット、バ
インダ材(パラフィン、ステアリン酸亜鉛、ショウノウ
等)の脱バインダを行うもので、チャンバーに排気系の
保護トラップ、バインダ回収機構、温水回路の付いた脱
バインダーユニット、試料に対しホットプレスを行う室
で、加熱機構のほか試料をプレスする油圧シリンダーを
具えているホットプレスユニット等がある。
インダ材(パラフィン、ステアリン酸亜鉛、ショウノウ
等)の脱バインダを行うもので、チャンバーに排気系の
保護トラップ、バインダ回収機構、温水回路の付いた脱
バインダーユニット、試料に対しホットプレスを行う室
で、加熱機構のほか試料をプレスする油圧シリンダーを
具えているホットプレスユニット等がある。
試料出し入れ室は、試料のローディング、アン0−ディ
ング用の室で、チャンバーにゲート弁の付いたものであ
る・ 本発明の他の実施例を、第6図に従って説明する。試料
Aが熱処理されている間に、すでに熱処理が終った試料
Bは移載室に付設された熱交換機とガス循環用送風機を
有する急冷パーツ15によって循環ガスで冷却され、試
料出入口14より出されて、次の試料がローディングさ
れる。試料Aの熱処理が完了すると、移動機構によって
Bの位置に、またローディングされた試料はAの位置に
移される。炉内で熱処理、冷却を行うバッチ型とくらべ
、効率的な半連続処理を行える。
ング用の室で、チャンバーにゲート弁の付いたものであ
る・ 本発明の他の実施例を、第6図に従って説明する。試料
Aが熱処理されている間に、すでに熱処理が終った試料
Bは移載室に付設された熱交換機とガス循環用送風機を
有する急冷パーツ15によって循環ガスで冷却され、試
料出入口14より出されて、次の試料がローディングさ
れる。試料Aの熱処理が完了すると、移動機構によって
Bの位置に、またローディングされた試料はAの位置に
移される。炉内で熱処理、冷却を行うバッチ型とくらべ
、効率的な半連続処理を行える。
(効果)
本発明によれば以下の効果がある。
(1) 本発明は、各種の熱処理条件、特に焼きもどし
のような複雑な熱処理条件について、第1図のような3
室構造でも、試料Aを効率的に処理出来、処理時間が、
大幅に短縮される。
のような複雑な熱処理条件について、第1図のような3
室構造でも、試料Aを効率的に処理出来、処理時間が、
大幅に短縮される。
(2)更に移載室8を第1図のようにユニット化すれば
、各種の熱処理条件に応じて自由に組み合わせる事がで
き、4室以上の構造にすればより効率的な熱処理が可能
となる。また、生産量の増加に合わせ、フレキシブルに
炉を増設することができる。
、各種の熱処理条件に応じて自由に組み合わせる事がで
き、4室以上の構造にすればより効率的な熱処理が可能
となる。また、生産量の増加に合わせ、フレキシブルに
炉を増設することができる。
(3)又、予備加熱室、本加熱室等が第2図のように直
線的につながっていないため、粉末焼・結の場合等には
予備加熱室1で脱ワツクスされたワックスが本加熱室2
に侵入しにくい構造になっており、このため試料Aは、
本加熱室2での熱処理においてワックスに影響されるこ
とがない。
線的につながっていないため、粉末焼・結の場合等には
予備加熱室1で脱ワツクスされたワックスが本加熱室2
に侵入しにくい構造になっており、このため試料Aは、
本加熱室2での熱処理においてワックスに影響されるこ
とがない。
(4)炉の保守が全ラインを止めることなく容易に実施
できる。
できる。
(5)試料出し入れ室及び冷却室を試料を収容できる最
小容積にすることができ、置換ガス、冷却ガスの消費量
が少ない。
小容積にすることができ、置換ガス、冷却ガスの消費量
が少ない。
第1図は本発明の1実施例の平面図を、第2図は従来型
の連続式真空熱処理炉の側面図を、第3図、第4ないし
6図は、本発明の他の実施例を示す平面図である。 1 : 予備加熱室 2 ; 本加熱室 3 : 冷却室 4.4°、4” : 仕切弁 5.5″ ; 開閉扉 6.6” : 炉外台車 7.7”、7” ; シリンダー 8 ; 移載室 9 : 移送機構 10 ; 後熱処理室 11 ニー 処理室 12 ; フランジ 13 ; 熱処理ユニット 14 : 試料出入口 15 ; 急冷パーツ 第5図 第6図 第4図 15f−一]
の連続式真空熱処理炉の側面図を、第3図、第4ないし
6図は、本発明の他の実施例を示す平面図である。 1 : 予備加熱室 2 ; 本加熱室 3 : 冷却室 4.4°、4” : 仕切弁 5.5″ ; 開閉扉 6.6” : 炉外台車 7.7”、7” ; シリンダー 8 ; 移載室 9 : 移送機構 10 ; 後熱処理室 11 ニー 処理室 12 ; フランジ 13 ; 熱処理ユニット 14 : 試料出入口 15 ; 急冷パーツ 第5図 第6図 第4図 15f−一]
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1 熱処理室を移載室に連結したことを特徴とする連続
式真空熱処理炉 2 移載室は、各熱処理室毎に、区画してなる特許請求
範囲第1項記載の連続式真空熱処理炉 3 熱処理室と、試料出し入れ室とを移載室に連結した
ことを特徴とする連続式真空熱処理炉 4 移載室は、各熱処理室及び各試料出し入れ室毎に、
区画してなる特許請求範囲第3項記載の連続式真空熱処
理炉 5 熱処理室と、冷却室とを移載室に連結したことを特
徴とする連続式真空熱処理炉 6 予備加熱室と、本加熱室と、冷却室とを移載室に連
結したことを特徴とする特許請求範囲第5項記載の連続
式真空熱処理炉 7 予備加熱室と、本加熱室と、冷却室と、後熱処理室
を移載室に連結したことを特徴とする特許請求範囲第5
項記載の連続式真空熱処理炉 8 移載室は、各熱処理室及び各冷却室毎に、区画して
なる特許請求範囲第5、6又は7項記載の連続式真空熱
処理炉 9 加熱室と、冷却室と、試料出し入れ室とを移載室に
連結したことを特徴とする連続式真空熱処理炉 10 移載室は、各熱処理室、各冷却室、及び各試料出
し入れ室毎に、区画してなる特許請求範囲第9項記載の
連続式真空熱処理炉
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16665986 | 1986-07-17 | ||
| JP61-166659 | 1986-07-17 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63148088A true JPS63148088A (ja) | 1988-06-20 |
Family
ID=15835357
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17496687A Pending JPS63148088A (ja) | 1986-07-17 | 1987-07-15 | 連続式真空熱処理炉 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63148088A (ja) |
Cited By (17)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0170835U (ja) * | 1987-10-30 | 1989-05-11 | ||
| JPH01212707A (ja) * | 1988-02-18 | 1989-08-25 | Mitsubishi Metal Corp | 還元脱脂炉 |
| JPH03129899U (ja) * | 1990-03-08 | 1991-12-26 | ||
| JPH0480318A (ja) * | 1990-07-24 | 1992-03-13 | Nippon Light Metal Co Ltd | 被処理材の熱処理方法 |
| JPH11237185A (ja) * | 1997-12-02 | 1999-08-31 | Etud & Constr Mecaniques Sa | モジュール式真空熱処理装置 |
| WO2001006826A3 (fr) * | 1999-07-22 | 2001-05-31 | Houei Syoukai Co Ltd | Dispositif de traitement et procede de traitement |
| JP2002294429A (ja) * | 2001-03-29 | 2002-10-09 | Dowa Mining Co Ltd | 浸炭焼入れ方法及び浸炭焼入れ装置 |
| JP2006063363A (ja) * | 2004-08-25 | 2006-03-09 | Daido Steel Co Ltd | 熱処理設備 |
| JP2009170943A (ja) * | 2004-04-28 | 2009-07-30 | Nakajima Glass Co Inc | 太陽電池モジュールの製造方法 |
| JP2009185349A (ja) * | 2008-02-07 | 2009-08-20 | Ihi Corp | 多室型熱処理炉 |
| JP2009277996A (ja) * | 2008-05-16 | 2009-11-26 | Ulvac Japan Ltd | 搬送装置および処理装置 |
| JP2011017040A (ja) * | 2009-07-07 | 2011-01-27 | Toyota Motor Corp | セル式減圧浸炭炉 |
| JP2014105358A (ja) * | 2012-11-27 | 2014-06-09 | Akane:Kk | 連続式通電焼結装置 |
| JP2014218702A (ja) * | 2013-05-09 | 2014-11-20 | 大同特殊鋼株式会社 | 真空焼入れ処理設備 |
| JP2015021646A (ja) * | 2013-07-17 | 2015-02-02 | 大同特殊鋼株式会社 | 真空焼結処理設備 |
| JP2016050321A (ja) * | 2014-08-29 | 2016-04-11 | 大同特殊鋼株式会社 | 真空焼結設備 |
| JP2020535312A (ja) * | 2018-02-01 | 2020-12-03 | 福建省長汀金龍希土有限公司Fujian Changting Golden Dragon Rare−Earth Co., Ltd. | 合金ワーク又は金属ワークの連続熱処理装置及び方法 |
-
1987
- 1987-07-15 JP JP17496687A patent/JPS63148088A/ja active Pending
Cited By (19)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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