JPS63149057U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS63149057U JPS63149057U JP4056487U JP4056487U JPS63149057U JP S63149057 U JPS63149057 U JP S63149057U JP 4056487 U JP4056487 U JP 4056487U JP 4056487 U JP4056487 U JP 4056487U JP S63149057 U JPS63149057 U JP S63149057U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- anode
- electron beam
- holder
- anode holder
- exhaust hole
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims description 9
- 108010083687 Ion Pumps Proteins 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Description
第１図は、本考案に係る電子ビーム装置の主要
部の模式図、第２図は、本考案に係る電子ビーム
装置のアノードの水平断面図、第３図は、従来の
電子ビーム装置の主要部の側断面図、である。 図において、１……電子銃室、２……鏡筒室、
３……電子銃、４……アノード、４１……アノー
ド、４２……アノードホルダ、４１ａ……電子ビ
ーム通過孔、４１ｂ……排気孔、４２ａ……固定
排気孔、４３……アノード押さえ、５……イオン
ポンプ、６……調整手段、６１……アクチユエー
タ、６２……作動シヤフト、７……隔壁、をそれ
ぞれ表す。
部の模式図、第２図は、本考案に係る電子ビーム
装置のアノードの水平断面図、第３図は、従来の
電子ビーム装置の主要部の側断面図、である。 図において、１……電子銃室、２……鏡筒室、
３……電子銃、４……アノード、４１……アノー
ド、４２……アノードホルダ、４１ａ……電子ビ
ーム通過孔、４１ｂ……排気孔、４２ａ……固定
排気孔、４３……アノード押さえ、５……イオン
ポンプ、６……調整手段、６１……アクチユエー
タ、６２……作動シヤフト、７……隔壁、をそれ
ぞれ表す。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 電子銃室１と鏡筒室２との間が、電子ビーム通
過穴４１ａを備えたアノード４１により仕切られ
ている電子ビーム装置において、 円周部に前記電子ビーム通過穴４１ａより大面
積の固定排気孔４２ａを備えた略円筒状のアノー
ドホルダ４２と、 円周側面上の前記固定排気孔４２ａに対応する
位置に排気孔４１ｂを備え、前記アノードホルダ
４２と回動自在に嵌合し、且つアノード押さえ４
３により保持されるアノード４１と、 前記アノード押さえ４３を介して前記アノード
４１に回動動作を伝達する作動シヤフト６２と、
前記電子銃室１の外部に設けたアクチユエータ６
１とからなる調整手段６とを設けたことを特徴と
する電子ビーム装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4056487U JPH0546202Y2 (ja) | 1987-03-19 | 1987-03-19 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4056487U JPH0546202Y2 (ja) | 1987-03-19 | 1987-03-19 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63149057U true JPS63149057U (ja) | 1988-09-30 |
| JPH0546202Y2 JPH0546202Y2 (ja) | 1993-12-02 |
Family
ID=30854762
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4056487U Expired - Lifetime JPH0546202Y2 (ja) | 1987-03-19 | 1987-03-19 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0546202Y2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002358920A (ja) * | 2001-06-01 | 2002-12-13 | Ulvac Japan Ltd | 荷電粒子線装置 |
-
1987
- 1987-03-19 JP JP4056487U patent/JPH0546202Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002358920A (ja) * | 2001-06-01 | 2002-12-13 | Ulvac Japan Ltd | 荷電粒子線装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0546202Y2 (ja) | 1993-12-02 |