JPS63149159A - インクジエツト記録ヘツド - Google Patents
インクジエツト記録ヘツドInfo
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- JPS63149159A JPS63149159A JP29595286A JP29595286A JPS63149159A JP S63149159 A JPS63149159 A JP S63149159A JP 29595286 A JP29595286 A JP 29595286A JP 29595286 A JP29595286 A JP 29595286A JP S63149159 A JPS63149159 A JP S63149159A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ink
- plate
- groove
- recording head
- main surface
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
- B41J2/14201—Structure of print heads with piezoelectric elements
- B41J2/14209—Structure of print heads with piezoelectric elements of finger type, chamber walls consisting integrally of piezoelectric material
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
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- B41J2/14201—Structure of print heads with piezoelectric elements
- B41J2/14209—Structure of print heads with piezoelectric elements of finger type, chamber walls consisting integrally of piezoelectric material
- B41J2002/14217—Multi layer finger type piezoelectric element
Landscapes
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、圧電効果を利用してインクキャビティ内のイ
ンクをインクノズルから液滴状に噴射すせるマルチノズ
ル式インクジェット記録ヘッドに関する。
ンクをインクノズルから液滴状に噴射すせるマルチノズ
ル式インクジェット記録ヘッドに関する。
圧電効果を利用してインクキャビティ内のインクをイン
クノズルから液滴状に噴射させることは古くから知られ
ていた。第５図は従来技術によるマルチノズル式インク
ジェット記録ヘッドの１面図である。図において、■は
内部に液室を有する圧電素子円筒体である。液室２の一
方はインク供給路３、他方はインク通路４となっており
、インク通路４の先にはノズル５が形成されている。イ
ンクはインク供給口６から供給されて共通供給室７に溜
められている。この記録ヘッドにおいては、圧電素子円
筒体１は工ボキシ樹脂製本体８内に埋設されている。し
かして、圧電素子円筒体１を選択駆動することにより、
当該圧電素子円筒体１の液室２が体積を収縮されて、そ
の液室２内のインクがノズル５を介して噴射させられる
。
クノズルから液滴状に噴射させることは古くから知られ
ていた。第５図は従来技術によるマルチノズル式インク
ジェット記録ヘッドの１面図である。図において、■は
内部に液室を有する圧電素子円筒体である。液室２の一
方はインク供給路３、他方はインク通路４となっており
、インク通路４の先にはノズル５が形成されている。イ
ンクはインク供給口６から供給されて共通供給室７に溜
められている。この記録ヘッドにおいては、圧電素子円
筒体１は工ボキシ樹脂製本体８内に埋設されている。し
かして、圧電素子円筒体１を選択駆動することにより、
当該圧電素子円筒体１の液室２が体積を収縮されて、そ
の液室２内のインクがノズル５を介して噴射させられる
。
また、別の従来技術によるインクジェット記録ヘッドの
断面構造を第６図に示す。第６図の１１はヘッドであシ
、ヘッド１１には圧力室１２、インク通路１３、ノズル
１４が形成され、圧力２＆１１１．；−よびインク通路
１３にはインクを供給するためのインク供給管１５が接
続されている。インク供給も１５はさらにインク供給源
１６に連らなっている。一方、圧力室１２の背面は金属
からなる可撓性プレート１７およびそれに接合された電
気−機械変換素子（圧電素子〕１８で構成されている。
断面構造を第６図に示す。第６図の１１はヘッドであシ
、ヘッド１１には圧力室１２、インク通路１３、ノズル
１４が形成され、圧力２＆１１１．；−よびインク通路
１３にはインクを供給するためのインク供給管１５が接
続されている。インク供給も１５はさらにインク供給源
１６に連らなっている。一方、圧力室１２の背面は金属
からなる可撓性プレート１７およびそれに接合された電
気−機械変換素子（圧電素子〕１８で構成されている。
この構成において、記録し々い時には、ノズル１４より
インクが流失しないようにインク供給圧力はインクの表
面張力と平衡状態を保つように調整されている。記録時
忙は情報信号に応じて圧電素子１８に電圧パルスを与え
ると、可撓性プレート１７は圧力室１２の内側に向って
曲がる。この時の可撓性プレート１７の変形によって、
圧力室１２内に生ずる急激な体積変化がノズル１４に達
すると、その変化音に応じてインクの小滴が飛び出し記
録紙等に印字される。インクの補給は可撓性プレート１
７が元の位置に戻るときに生ずる負の圧力によってイン
ク供給源１６からインク供給管１５を通してなされる。
インクが流失しないようにインク供給圧力はインクの表
面張力と平衡状態を保つように調整されている。記録時
忙は情報信号に応じて圧電素子１８に電圧パルスを与え
ると、可撓性プレート１７は圧力室１２の内側に向って
曲がる。この時の可撓性プレート１７の変形によって、
圧力室１２内に生ずる急激な体積変化がノズル１４に達
すると、その変化音に応じてインクの小滴が飛び出し記
録紙等に印字される。インクの補給は可撓性プレート１
７が元の位置に戻るときに生ずる負の圧力によってイン
ク供給源１６からインク供給管１５を通してなされる。
ところで、この第５図に示した従来技術のインクジェッ
ト記録ヘッドにおいては、ノズル５からインクを噴射さ
せる手段として圧電素子円筒体１が用いられているが、
この圧電素子円筒体１は圧電材料からなる円筒体と、こ
の円筒体の内面および外側に設けられた内側電極および
外側電極とから構成されている。インクジェット記録ヘ
ッドを小形化するためには、それに応じて圧電素子円筒
体１も小形化しなければならない。しかしながら、小形
化すなわち外径および内径が極端に不さい圧電材料製円
筒体を製作し、さらにその内側（内壁面）に内側電極を
形成することは製作技術上非常釦困難である。たとえは
、ノズル口を４０μ島×４０μ島の大きさに形成し、か
つ１闘間隔に配置できるほど小形に形成するととは不可
能に近い。つまり、圧電素子円筒体１の外径は最大Ｑ、
５ ｘｍ、であシ、内径に至ってはそれよりもさらに小
さくなる。しかも、その内壁面に内側電極を形成しなけ
ればならない。このようなことは、現在の製作技術をも
ってしても不可能である。そのために、圧電素子円筒体
１はある程度の大きさに構成されるが、その結釆第５図
に示したように必要なノズル部の幅Ｌ１に比較して本体
８０幅り、が極めて大きくなってしまうという欠点を有
している。さらにエポキシ樹脂製本体８内に小形の圧電
素子円筒体１を埋設すること、および極細のインク供給
路３、インク通路４、ノズル５を形成することは可能で
あるが、実際には非常に困難である。
ト記録ヘッドにおいては、ノズル５からインクを噴射さ
せる手段として圧電素子円筒体１が用いられているが、
この圧電素子円筒体１は圧電材料からなる円筒体と、こ
の円筒体の内面および外側に設けられた内側電極および
外側電極とから構成されている。インクジェット記録ヘ
ッドを小形化するためには、それに応じて圧電素子円筒
体１も小形化しなければならない。しかしながら、小形
化すなわち外径および内径が極端に不さい圧電材料製円
筒体を製作し、さらにその内側（内壁面）に内側電極を
形成することは製作技術上非常釦困難である。たとえは
、ノズル口を４０μ島×４０μ島の大きさに形成し、か
つ１闘間隔に配置できるほど小形に形成するととは不可
能に近い。つまり、圧電素子円筒体１の外径は最大Ｑ、
５ ｘｍ、であシ、内径に至ってはそれよりもさらに小
さくなる。しかも、その内壁面に内側電極を形成しなけ
ればならない。このようなことは、現在の製作技術をも
ってしても不可能である。そのために、圧電素子円筒体
１はある程度の大きさに構成されるが、その結釆第５図
に示したように必要なノズル部の幅Ｌ１に比較して本体
８０幅り、が極めて大きくなってしまうという欠点を有
している。さらにエポキシ樹脂製本体８内に小形の圧電
素子円筒体１を埋設すること、および極細のインク供給
路３、インク通路４、ノズル５を形成することは可能で
あるが、実際には非常に困難である。
また第６図の圧電素子１８としては、従来からＰＺＴ
（チタン酸ジルコン酸鉛）系の圧電セラミックが使用さ
れていた。かかる構成の欠点は記録ヘッドが大型であっ
てエネルギー消費が大きく、かつ圧力室部分にはＰＺＴ
からなる圧電素子’に１枚１枚接着等の方法で貼付しな
ければならないため、労力がかがクコスト高となる。
（チタン酸ジルコン酸鉛）系の圧電セラミックが使用さ
れていた。かかる構成の欠点は記録ヘッドが大型であっ
てエネルギー消費が大きく、かつ圧力室部分にはＰＺＴ
からなる圧電素子’に１枚１枚接着等の方法で貼付しな
ければならないため、労力がかがクコスト高となる。
また、第６図の構造においてノズルをマルチ化する際に
も前記と同様の欠点がある。
も前記と同様の欠点がある。
この発明は以上の点に鑑みて力され、記録ヘッドの小形
化とノズルのマルチ化および製造コストの低減が可能々
インクジェット記録ヘッドの提供を目的とする。
化とノズルのマルチ化および製造コストの低減が可能々
インクジェット記録ヘッドの提供を目的とする。
前記の目的は、ドクターブレード法または押出し法で厚
さが０．１〜０．５闘前後の圧電セラミックグリーンシ
ートを得、このグリーンシートから所定形状のカバープ
レート、インク供給路プレート、インクキャビティプレ
ート、台板を採取し、プレス打抜き加工もしくはレーザ
加工６一 によってインク供給路プレートにはインク通路、インク
キャビティプレートにはインクキャビティ溝、インク供
給路湾、インクノズル溝を形成せしめ、さらに所定プレ
ートの所定部分にスクリーン印刷などでｐｔ、ｐｄある
いはｐｄ−Ａｇペーストを塗布して電極形成を行った後
、前記各プレートラ順次＃［層して熱圧浩ヲ行い、これ
を焼成して一体化することによって達成することができ
る。
さが０．１〜０．５闘前後の圧電セラミックグリーンシ
ートを得、このグリーンシートから所定形状のカバープ
レート、インク供給路プレート、インクキャビティプレ
ート、台板を採取し、プレス打抜き加工もしくはレーザ
加工６一 によってインク供給路プレートにはインク通路、インク
キャビティプレートにはインクキャビティ溝、インク供
給路湾、インクノズル溝を形成せしめ、さらに所定プレ
ートの所定部分にスクリーン印刷などでｐｔ、ｐｄある
いはｐｄ−Ａｇペーストを塗布して電極形成を行った後
、前記各プレートラ順次＃［層して熱圧浩ヲ行い、これ
を焼成して一体化することによって達成することができ
る。
このような構成において、２つの電極間に電圧を印加す
る七、両電極間の圧電セラミックが膨張してインクキャ
ビティ溝の体積を減少させ、その結果インクキャビティ
溝のインクがインクキャビティ溝に連通ずるインクノズ
ル溝を経て、インクノズルから一液一滴状に噴射され、
記録担体上にもたらされる。非常に微細なインクキャビ
ティ溝、インクノズルなどは本体を複数の平らなプレー
トで構成しているため、プレス打抜き加工もしくはレー
ザ加工を用いて形成でき、各プレートの積層および焼成
条件を制御すれば工業的に十分製造可能である。
る七、両電極間の圧電セラミックが膨張してインクキャ
ビティ溝の体積を減少させ、その結果インクキャビティ
溝のインクがインクキャビティ溝に連通ずるインクノズ
ル溝を経て、インクノズルから一液一滴状に噴射され、
記録担体上にもたらされる。非常に微細なインクキャビ
ティ溝、インクノズルなどは本体を複数の平らなプレー
トで構成しているため、プレス打抜き加工もしくはレー
ザ加工を用いて形成でき、各プレートの積層および焼成
条件を制御すれば工業的に十分製造可能である。
以下、本発明の構成を図面に基いて説明する。
第１図は本発明に関するインクジェット記録ヘッドの構
成部材を示したものである。
成部材を示したものである。
同図（Ａ）は公知のドクターブレード法などで得た圧電
セラミックグリーンシート１９である。
セラミックグリーンシート１９である。
本発明で使用する圧電セラミックはとくに圧電歪定数（
ｄ３３）の犬であることが要求されるので、組成として
はｐｔｌ（Ｚｒ、 Ｔｉ ）Ｏｘ −ｐｂ （ＮｉＮｂ
）０．＋ （ｐｂ、５ｒ）ＣＺｒｓＴｉ、５ｂ）Ｏｓあ
るいは（ｐｂ、５ｒ）（Ｚｒ、Ｔｉ、Ｎｂ）０３系など
が適している。圧電セラミックグリーンシートの厚さは
通常０．１〜Ｑ、 ５ ｍｍ程度であるならばその目的
に応じて長さ９幅とともに任意に制御できる。また、本
発明に関する圧電セラミックグリーンシートは押出し法
でも製造可能である。
ｄ３３）の犬であることが要求されるので、組成として
はｐｔｌ（Ｚｒ、 Ｔｉ ）Ｏｘ −ｐｂ （ＮｉＮｂ
）０．＋ （ｐｂ、５ｒ）ＣＺｒｓＴｉ、５ｂ）Ｏｓあ
るいは（ｐｂ、５ｒ）（Ｚｒ、Ｔｉ、Ｎｂ）０３系など
が適している。圧電セラミックグリーンシートの厚さは
通常０．１〜Ｑ、 ５ ｍｍ程度であるならばその目的
に応じて長さ９幅とともに任意に制御できる。また、本
発明に関する圧電セラミックグリーンシートは押出し法
でも製造可能である。
同図の）は第１図（４）の圧電セラミックグリーンシー
トから切断加工で採取したカバープレート２０である。
トから切断加工で採取したカバープレート２０である。
さらに同図（０はインク供給路プレート２１、同図（２
）はインクキャピテイプレート２４である。
）はインクキャピテイプレート２４である。
インク供給路プレート２１にはプレス打抜き加工あるい
はレーザ加工によって、−刀の主面から他方の主面およ
びこの主面と垂直な一側面に開口するインク通路２２が
形成され、一方の主面にはＰｊｅ ｐｃｉあるいはｐ
ｄ−Ａｇペーストが内部電極２３としてスクリーン印刷
法などで印刷されている。インクキャビティプレート２
４には、プレス打抜きあるいはレーザ加工によってイン
ク供給路プレートのインク通路２２と重々るインク供給
溝２６と、このインク供給溝２６に連通して一方の主面
から他方の主面に開口するインクキャビティ溝２５、イ
ンク供給溝２６、このインクキャビティ溝に連通して前
記主面と垂直な一側面に開口するインクノズル溝２７が
形成されている。第１図■は台板２８であり、インクキ
ャビティプレート２４に接しない他方の主面にはインク
キャビティ溝２５と同寸法の内部電極２９が印刷されて
いる。
はレーザ加工によって、−刀の主面から他方の主面およ
びこの主面と垂直な一側面に開口するインク通路２２が
形成され、一方の主面にはＰｊｅ ｐｃｉあるいはｐ
ｄ−Ａｇペーストが内部電極２３としてスクリーン印刷
法などで印刷されている。インクキャビティプレート２
４には、プレス打抜きあるいはレーザ加工によってイン
ク供給路プレートのインク通路２２と重々るインク供給
溝２６と、このインク供給溝２６に連通して一方の主面
から他方の主面に開口するインクキャビティ溝２５、イ
ンク供給溝２６、このインクキャビティ溝に連通して前
記主面と垂直な一側面に開口するインクノズル溝２７が
形成されている。第１図■は台板２８であり、インクキ
ャビティプレート２４に接しない他方の主面にはインク
キャビティ溝２５と同寸法の内部電極２９が印刷されて
いる。
以上の第１図に示した各プレートの厚さは、カバープレ
ート２０は０．１〜Ｑ、２ｉｘ、インク供給路プレート
２１は０．３〜Ｑ、５ｍｍ、インクキャビティプレート
２４は０．１〜０．２ ｍｉｘおよび台板２８は０．２
〜Ｑ、 ４ ｔｎｍの範囲が好ましいものである。さら
にインクキャビティ溝、インクノズル溝などの加工方法
として、プレス加工とレーザ加工に限定したのは、前記
方法が圧電セラミックグリーンシートの材料特性を損ね
ずに本発明で要求する微細加工を可能とするためであ乞
。
ート２０は０．１〜Ｑ、２ｉｘ、インク供給路プレート
２１は０．３〜Ｑ、５ｍｍ、インクキャビティプレート
２４は０．１〜０．２ ｍｉｘおよび台板２８は０．２
〜Ｑ、 ４ ｔｎｍの範囲が好ましいものである。さら
にインクキャビティ溝、インクノズル溝などの加工方法
として、プレス加工とレーザ加工に限定したのは、前記
方法が圧電セラミックグリーンシートの材料特性を損ね
ずに本発明で要求する微細加工を可能とするためであ乞
。
次に、第１図に示した各プレートを台板２８、インクキ
ャビティプレート２４、インク供給路プレート２１、カ
バーブレー）２０の順に積層し、温度６０°〜１２００
Ｃ、圧力８０〜２００に９／ａｄの条件で感温プレスを
行い、各々のプレートを熱圧着させる。熱圧着された積
層体を電気炉に挿入し、４００〜６００ ’Ｏに数時間
保持して圧電セラミックグリーンシートに含まれている
有機バインダーを除去した後、さらに１１５０〜１２５
０″Ｏまで昇温させ、この温度で数時間保持することに
よシ各々のプレートが一体化し、インクジェット記録ヘ
ッドが得られる。
ャビティプレート２４、インク供給路プレート２１、カ
バーブレー）２０の順に積層し、温度６０°〜１２００
Ｃ、圧力８０〜２００に９／ａｄの条件で感温プレスを
行い、各々のプレートを熱圧着させる。熱圧着された積
層体を電気炉に挿入し、４００〜６００ ’Ｏに数時間
保持して圧電セラミックグリーンシートに含まれている
有機バインダーを除去した後、さらに１１５０〜１２５
０″Ｏまで昇温させ、この温度で数時間保持することに
よシ各々のプレートが一体化し、インクジェット記録ヘ
ッドが得られる。
第２図は以上の工程で得たインクジェット記録ヘッドの
構成の一例であり、同図囚はその横断面図、同図ω）は
その縦断面図である。同図囚において２５はインクキャ
ビティ溝、２７Ａはインクノズル、２３と２９は電圧印
加用電極である。同図（６）の２２はインク通路でメジ
、図示していない外部のインク供給タンクと接続されて
いる。そして同図の）の２６はインク供給溝、２７はイ
ンクノズルである。
構成の一例であり、同図囚はその横断面図、同図ω）は
その縦断面図である。同図囚において２５はインクキャ
ビティ溝、２７Ａはインクノズル、２３と２９は電圧印
加用電極である。同図（６）の２２はインク通路でメジ
、図示していない外部のインク供給タンクと接続されて
いる。そして同図の）の２６はインク供給溝、２７はイ
ンクノズルである。
しかして、このように構成されたインクジェット記録ヘ
ッドにおいて、電極２３．２９間に電圧を印加すると、
両電極２３．２９間の圧電セラミック部が膨張してイン
クキャビティ溝２５の体積を減少させ、その結果インク
キャビティ溝２５のインクが昌該インクキャビティ溝２
５に連通ずるインクノズル溝２７を経テ、インクノズル
２７Ａから液滴状に噴射され、図示していない記録担体
上にもたらされる。
ッドにおいて、電極２３．２９間に電圧を印加すると、
両電極２３．２９間の圧電セラミック部が膨張してイン
クキャビティ溝２５の体積を減少させ、その結果インク
キャビティ溝２５のインクが昌該インクキャビティ溝２
５に連通ずるインクノズル溝２７を経テ、インクノズル
２７Ａから液滴状に噴射され、図示していない記録担体
上にもたらされる。
第２図に示した構成においては、第３図に詳細に示すよ
うに、ノズル２７Ａの大＊さｕｓ。
うに、ノズル２７Ａの大＊さｕｓ。
μｍＸ１００μｍ、ノズル２７Ａ、２７Ａの間隔Ｃは例
えば０．２５ ｍｘに形成されている。さらにインクキ
ャビティ溝２５の厚さＬ ｎ ０．１ ｍｍ 。
えば０．２５ ｍｘに形成されている。さらにインクキ
ャビティ溝２５の厚さＬ ｎ ０．１ ｍｍ 。
インクキャビティ溝２５の幅Ｂ。はＱ、 ２ｚｘに形成
されている。このように非常に微細なインクキャビティ
溝、インクノズルなどはプレス打抜き加工もしくはレー
ザ加工を用いて形成でき、さらに各プレートの積層およ
び焼成条件を制御することで工業的に十分製造可能であ
る。
されている。このように非常に微細なインクキャビティ
溝、インクノズルなどはプレス打抜き加工もしくはレー
ザ加工を用いて形成でき、さらに各プレートの積層およ
び焼成条件を制御することで工業的に十分製造可能であ
る。
さらに、本発明においては第４図に示す構成のインクジ
ェット記録ヘッドも提供できる。第４図忙おいては、イ
ンクキャビティ溝２５の上下に２３，２３Ａおよび２９
，２９Ａの電極を配設し、２３と２３Ａ、２９と２９Ａ
で一組の電圧印加用電極としたものである。第４図に示
す構成は第２図に示す構成の場合より電極間の圧電体の
厚さが薄くなるので、インクキャビティ溝２５の体積減
少をよシ低い電圧で可能にできるという利点を有する。
ェット記録ヘッドも提供できる。第４図忙おいては、イ
ンクキャビティ溝２５の上下に２３，２３Ａおよび２９
，２９Ａの電極を配設し、２３と２３Ａ、２９と２９Ａ
で一組の電圧印加用電極としたものである。第４図に示
す構成は第２図に示す構成の場合より電極間の圧電体の
厚さが薄くなるので、インクキャビティ溝２５の体積減
少をよシ低い電圧で可能にできるという利点を有する。
以上説明したように、本発明においては圧電セラミック
グリーンからカバープレート、インク通路をもつインク
供給プレート、複数列のインクキャビティ溝、インクノ
ズル溝、インク供給溝をもつインクキャビティプレート
および台板を得、さらに各プレートの所要部分に電極ペ
ーストを印刷した後、前記の各々のプレートを積層し焼
成することによって記録ヘッドを構成するようにしたの
で、コンバク）Ｋ構成できかつ製作が容易であるインク
ジェット記録ヘッドを提供することができる。
グリーンからカバープレート、インク通路をもつインク
供給プレート、複数列のインクキャビティ溝、インクノ
ズル溝、インク供給溝をもつインクキャビティプレート
および台板を得、さらに各プレートの所要部分に電極ペ
ーストを印刷した後、前記の各々のプレートを積層し焼
成することによって記録ヘッドを構成するようにしたの
で、コンバク）Ｋ構成できかつ製作が容易であるインク
ジェット記録ヘッドを提供することができる。
第１図は本発明の記録ヘッドの構成部材を示す斜視図で
あり、同図囚は圧電セラミックグリーンシート、同図の
）はカバープレート、同図（０はインク供給路プレート
、同図０はインクキャビティプレートおよび同図■は台
板である。第２図は本発明の構成を示すものであシ同図
■はその横断面図、同図（Ｂ）はその縦断面図である、
第３図は本発明の実施例の一部拡大断面図である、第４
図は本発明の第２の構成における横断面図を示したもの
である、第５図と第６図は従来技術によるインクジェッ
ト記録ヘッドの断面図である。 １：圧電素子円筒体、２：液室、３：インク供給室、４
：インク通路、５：インクノズル１．６：インク供給口
、７：インク共通供給案、８：エポキシ樹脂本体、１１
：ヘッド本体、１２：圧力室、１３：インク通路、１４
：インクノズル、１５：インク供給管、１６：インク供
給源、１７：可撓性プレート、１８：圧電素子、１９：
圧電セラミックグリーンシート、２ｏ：カバープレート
、２１：インク供給路プレート、２２：インク通路、２
３．２３Ａ、２９，２９Ａ：電極、２４：インクキャビ
ティプレート、２５：インクキャビティ溝、２６：イン
ク供給溝、２７：インクノズル溝、２８：台板。 第Ｚ 閃 υ 第５ 図 第３閃 葛７ｉ閃
あり、同図囚は圧電セラミックグリーンシート、同図の
）はカバープレート、同図（０はインク供給路プレート
、同図０はインクキャビティプレートおよび同図■は台
板である。第２図は本発明の構成を示すものであシ同図
■はその横断面図、同図（Ｂ）はその縦断面図である、
第３図は本発明の実施例の一部拡大断面図である、第４
図は本発明の第２の構成における横断面図を示したもの
である、第５図と第６図は従来技術によるインクジェッ
ト記録ヘッドの断面図である。 １：圧電素子円筒体、２：液室、３：インク供給室、４
：インク通路、５：インクノズル１．６：インク供給口
、７：インク共通供給案、８：エポキシ樹脂本体、１１
：ヘッド本体、１２：圧力室、１３：インク通路、１４
：インクノズル、１５：インク供給管、１６：インク供
給源、１７：可撓性プレート、１８：圧電素子、１９：
圧電セラミックグリーンシート、２ｏ：カバープレート
、２１：インク供給路プレート、２２：インク通路、２
３．２３Ａ、２９，２９Ａ：電極、２４：インクキャビ
ティプレート、２５：インクキャビティ溝、２６：イン
ク供給溝、２７：インクノズル溝、２８：台板。 第Ｚ 閃 υ 第５ 図 第３閃 葛７ｉ閃
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 カバープレートと、 このカバープレートに接する一方の主面から他方の主面
および該主面と垂直な一側面に開口するインク通路を有
し、該インク通路のない前記一方の主面にインクキャビ
ティ溝に対応する複数の電極を有するインク供給路プレ
ートと、前記インク通路と重なるインク供給溝と、この
インク供給溝に連通して一方の主面から他方の主面に開
口するインクキャビティ溝および、このインクキャビテ
ィ溝に連通して前記主面と垂直な一側面に開口するイン
クノズル溝を有するインクキャビティプレートと、 このインクキャビティプレートに接しない他方の主面に
前記インクキャビティ溝に対応する電極を有する台板と
を、 圧電セラミックグリーンシートから形成し、これらプレ
ートを順次積層し焼成することにより一体化したことを
特徴とするインクジェット記録ヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29595286A JPS63149159A (ja) | 1986-12-12 | 1986-12-12 | インクジエツト記録ヘツド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29595286A JPS63149159A (ja) | 1986-12-12 | 1986-12-12 | インクジエツト記録ヘツド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63149159A true JPS63149159A (ja) | 1988-06-21 |
Family
ID=17827225
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29595286A Pending JPS63149159A (ja) | 1986-12-12 | 1986-12-12 | インクジエツト記録ヘツド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63149159A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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-
1986
- 1986-12-12 JP JP29595286A patent/JPS63149159A/ja active Pending
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