JPS63149545A - 調節装置 - Google Patents

調節装置

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JPS63149545A
JPS63149545A JP62298885A JP29888587A JPS63149545A JP S63149545 A JPS63149545 A JP S63149545A JP 62298885 A JP62298885 A JP 62298885A JP 29888587 A JP29888587 A JP 29888587A JP S63149545 A JPS63149545 A JP S63149545A
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JP
Japan
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plate
adjustment
marks
support
mark
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Pending
Application number
JP62298885A
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English (en)
Inventor
ジークマール・バルトラフ
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Alcatel Lucent Deutschland AG
Original Assignee
Standard Elektrik Lorenz AG
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Filing date
Publication date
Application filed by Standard Elektrik Lorenz AG filed Critical Standard Elektrik Lorenz AG
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    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B7/00—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
    • G02B7/003—Alignment of optical elements
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B27/00—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
    • G02B27/62—Optical apparatus specially adapted for adjusting optical elements during the assembly of optical systems
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J9/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture, installation, removal, maintenance of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps

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  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
  • Microscoopes, Condenser (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、異なる光マークを付けられた板を光学的に調
節するための装置に関するものである。
〔従来技術］ ＤＥ−ＯＳ第３４３５５８７号明細書において、行およ
び列導体を上面に設置している薄いガラス板が相互、に
、および画像再生装置の蛍光スクリーンに対して調節可
能である光学的調節方法が明らかにされている。２つの
対角線的に向い合う角において、薄いガラス板はある板
においては小さい長方形から成り、別の板においては交
差線から成る光マークを宵する。特定されない光学装置
の下で、板は互に関して調節され、それから接着剤で固
定される。
［発明の解決すべき問題点コ 本発明の目的は、正確な調節を実現する光マーりを具備
した板を調節するための装置を提供することである。
［問題点解決のための手段］ この目的は、板用の調節支持部および調節板がマークの
領域内、に照明装置用の開口を有し、観察装置は垂直照
明装置を備えていることを特徴とする装置によって達成
される。さらに本発明の効果的な実施態様としては、調
節支持部が直接その上に乗っている板用の停止部を有し
、サクションポンプにより調節板上に設置可能とするこ
と、マーク領域内の照明装置および垂直照明装置は、冷
光源を具備すること、観察装置は各々のマークのために
十字線を具備した顕微鏡、カメラおよびモニタを有する
こと、板は金属から成り、マークは異なる形状の開口で
あること等がある。
［実施例コ 第１図に示された調節装置は、テーブル１の上に設置さ
れている。調節装置は、停止部１７を有する調節支持部
１６を保持し、テーブル１上に立っている支柱３により
支えられている調節板２を有している。調節板２および
調節支持部Ｉ６は、開口４を明示するために断面図で示
されている。開口４は、互に関して調節されるように板
６中の光マークと軸方向に整列している。これらの板６
は、互いに関して粗調整の状態で整列して調節支持部Ｉ
Ｂ上にあり、光マーク５は調節支持部１６および調節板
２の開口４の上方に位置している。
各開口４を通過する光軸７の延長線上において、十字線
を有する顕微鏡８は、互いに直角をなす２つの部材Ｌ５
ａおよび１５ｂから成る保持部上に設置されている。顕
微鏡の光軸は、光軸７と整列されることができる。その
画像が関連するモニタ１０上に再生されるカメラ９は、
各顕微鏡８の上方に設置されている。照明装置１１は、
調節板２中の各開口４の下に設置されている。各顕微鏡
８は、垂直照明装置１２を具備している。照明装置１１
および垂直照明装置１２は、光導波体１３を介して冷光
源１４ａおよび１４ｂとそれぞれ結合されている。
調節板２は、チャネル１９が結合されている孔ｆｇａお
よびＪ８ｂを有する。チャネル１９は、サクションポン
プ２０で終わっている。２つの矢印２１はチャネル１９
における吸引方向を示している。この吸引によって、調
節支持部１６は調節板２上に保持される。第１図では使
用されていない孔１８ｂはプラグ２２で封じられている
。
第２図の上図面には、調節板２および２枚の板６をその
上に設置している調節支持部１６が示されている。調節
ｔ１１２２は３つの開口４’　、４’　、４’′を有す
る。調節板２の右下角の開口４′は、調節板のほぼ中心
部における開口４′と共に、または上部左角における開
口４″と共に動作し、それはその上に板６を設置してい
る支持部１Ｇの大きさによって決められる。開口４の下
に照明装置１１が破線で示されている。また孔１８ａお
よび１８ｂの位置も示されている。
仮６は金属から成り、仮の対角線的に向い合う角の異な
る光マークは、異なる形状の開口である。
ある板は円形の開口を有し、別の阪は十字形の開口を有
する。もし複数の板６が互いに関して調節される必要が
ある場合、光マークの開口はその形状のみならず大きさ
においても異なってくる。
調節装置がオンに切換えられた後の動作シーケンスは、
以下の通りである。第１の板６は、支持部１Ｇの上に設
置され、停止部１７に対して移動される。板６は固定レ
バー２３によってその位置に保持される。第１の板を具
備する支持部１６は、マーク５が顕微鏡中の十字線の結
果としてモニタ１０上に現われる交差線に関して対称と
なるまでシフトされる。この位置において、サクション
ポンプ２０が動作されるので支持部１６は調節板２に対
して引張られ１、固定される。それから第２の板６が置
かれて、そのマーク５は第１の板のマークと一致するよ
うに調節される。板はそれから適切な物質（図示されて
いない）で加重されるため、それらは互いに平面平行と
なる。板６の対角線的に向い合う角において、これら平
面は適切な接着剤で接着されて相互に固定される。それ
から板は装置から取除かれることが可能である。最終的
にそれらは、例えばフリット処理で最終的に結合されて
もよい。
１枚の阪の代わりに、互いに結合した阪のバヶットが互
いに関してｍ１節されてもよい。
モニタ１０において、第１の板６におけるマーク５の十
字型の開口は明るい十字型として現われ、これらは十字
線と整列させやすい。第２の板６におけるマークの円形
の開口は、垂直照明装置のために明るい背最の中の暗灰
色領域として現われ、十字線と整列させやすく、明るい
十字形にも整列させやすい。板６は、十字型および円形
の開口の画像がモニタの十字線に関して完全に対称とな
るときに正確に調節された状態となる。
４、図の簡単な説明 第１図は、光学的調節を行なうための装置を一部断面図
で示し、 第２図は、調節板の上部を示している。
１・・・テーブル、２・・・調節板、３・・・支柱、４
・・・開口、５・・・光マーク、６・・・板、７・・・
光軸、８・・・顕微鏡、９・・・カメラ、ＩＯ・・・モ
ニタ、１１・・・照明装置、１２・・・垂直照明装置、
１３・・・光導波体、１４ａ　５１４ｂ・・・冷光源、
１Ｂ・・・調節支持部、１７・・・停止部、２０・・・
サクションポンプ、２３・・・固定レバー。

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. （１）異なる光マークを付けられた板を光学的に調節す
    るための装置において、 板用の調節支持部および調節板は、マーク領域内に照明
    装置用の開口を有し、観察装置が垂直照明装置を備えて
    いることを特徴とする調節装置。
  2. （２）調節支持部は、直接その上に乗っている板用の停
    止部を有し、サクションポンプにより調節板上に固定可
    能であることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の
    装置。
  3. （３）マーク領域内の照明装置および垂直照明装置は、
    冷光源を具備していることを特徴とする特許請求の範囲
    第１項記載の装置。
  4. （４）観察装置は、各々のマークのために十字線を具備
    した顕微鏡、カメラおよびモニタを有することを特徴と
    する特許請求の範囲第１項記載の装置。
  5. （５）板は金属から成り、マークは異なる形状の開口で
    あることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の装置
    。
JP62298885A 1986-11-27 1987-11-26 調節装置 Pending JPS63149545A (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE3640616.3 1986-11-27
DE19863640616 DE3640616A1 (de) 1986-11-27 1986-11-27 Justiervorrichtung

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS63149545A true JPS63149545A (ja) 1988-06-22

Family

ID=6314955

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP62298885A Pending JPS63149545A (ja) 1986-11-27 1987-11-26 調節装置

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EP (1) EP0269076B1 (ja)
JP (1) JPS63149545A (ja)
DE (2) DE3640616A1 (ja)

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