JPS63149576A - 基板検査装置 - Google Patents
基板検査装置Info
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- JPS63149576A JPS63149576A JP61297073A JP29707386A JPS63149576A JP S63149576 A JPS63149576 A JP S63149576A JP 61297073 A JP61297073 A JP 61297073A JP 29707386 A JP29707386 A JP 29707386A JP S63149576 A JPS63149576 A JP S63149576A
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- conductor wiring
- measured
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- circuit board
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- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R1/00—Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
- G01R1/02—General constructional details
- G01R1/06—Measuring leads; Measuring probes
- G01R1/067—Measuring probes
- G01R1/073—Multiple probes
- G01R1/07307—Multiple probes with individual probe elements, e.g. needles, cantilever beams or bump contacts, fixed in relation to each other, e.g. bed of nails fixture or probe card
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measuring Leads Or Probes (AREA)
- Testing Of Short-Circuits, Discontinuities, Leakage, Or Incorrect Line Connections (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、電気回路基板の測定端、例えば液晶パネル
などの配線の断線、短絡、リーク電流などの検査をする
のに用いる基板検査装置に関するものである。
などの配線の断線、短絡、リーク電流などの検査をする
のに用いる基板検査装置に関するものである。
従来の基板検査装置として、例えば、湘南エンジニアリ
ング社カタログ、日本電針社カタログ。
ング社カタログ、日本電針社カタログ。
精研社カタログ等に記載の第６図に示す様な基板検査装
置、あるいは、日本マイクロニクス社カタログ、共和理
研社カタログ、ヒューグルエレクトロニクス社カタログ
等に記載の第６図に示す様な基板検査装置があった。第
５図において、（１）はスプリング式プローブピン、（
２）ハブローブピン（１）ト電気的導通を有し、かつ測
定回路へと接続される引出し線、（３）はプローブピン
（１）を固定するための絶縁性を有するプローブピン固
定用基板、（４）は被測定電気回路基板、（５）は被測
定電気回路基板（４）上に形成された電気回路の測定端
である。また第６図において、（１）は板状プローブピ
ン、（２）は板状プローブピン（１）と電気的導通を有
し、かつ測定回路へと接続される引出し線、（３）は板
状プローブピン（１）を回定するための絶縁性を有する
プローブピン固定用基板、（４）は被測定電気回路基板
、（５）は被測定電気回路基板（４）上に形成された電
気回路の測定端である。
置、あるいは、日本マイクロニクス社カタログ、共和理
研社カタログ、ヒューグルエレクトロニクス社カタログ
等に記載の第６図に示す様な基板検査装置があった。第
５図において、（１）はスプリング式プローブピン、（
２）ハブローブピン（１）ト電気的導通を有し、かつ測
定回路へと接続される引出し線、（３）はプローブピン
（１）を固定するための絶縁性を有するプローブピン固
定用基板、（４）は被測定電気回路基板、（５）は被測
定電気回路基板（４）上に形成された電気回路の測定端
である。また第６図において、（１）は板状プローブピ
ン、（２）は板状プローブピン（１）と電気的導通を有
し、かつ測定回路へと接続される引出し線、（３）は板
状プローブピン（１）を回定するための絶縁性を有する
プローブピン固定用基板、（４）は被測定電気回路基板
、（５）は被測定電気回路基板（４）上に形成された電
気回路の測定端である。
次に第５図に示す従来の基板検査装置の構成および動作
について説明する。まず、スプリング式プローブピン（
１）を被測定電気回路基板（４）上の測定端Ｃ５）のピ
ッチに対応するように必要な本数だけプローブピン固定
用基板（３）に埋め込み、固定する。
について説明する。まず、スプリング式プローブピン（
１）を被測定電気回路基板（４）上の測定端Ｃ５）のピ
ッチに対応するように必要な本数だけプローブピン固定
用基板（３）に埋め込み、固定する。
次にプローブピン（１）からの引出し線（２）を測定回
路（図示せず）にはんだ付等で接続し、被測定電気回路
基板（４）の測定端（５）と位置合わせし、プローブピ
ン固定用法板（３）全体又は、被測定基板（４）全体を
押しつける。押しつけることにより、プローブピン（１
）に内蔵されているスプリングがクッション的役割をな
し、プローブピン（１）と被測定基板（４）上の測定端
（５）との電気的導通を得、引出しｔａ （２）により
測定回路へ電電信号が流れ、被測定基板（４）上の電気
回路の断線、短絡・リーク電流等を検出する。
路（図示せず）にはんだ付等で接続し、被測定電気回路
基板（４）の測定端（５）と位置合わせし、プローブピ
ン固定用法板（３）全体又は、被測定基板（４）全体を
押しつける。押しつけることにより、プローブピン（１
）に内蔵されているスプリングがクッション的役割をな
し、プローブピン（１）と被測定基板（４）上の測定端
（５）との電気的導通を得、引出しｔａ （２）により
測定回路へ電電信号が流れ、被測定基板（４）上の電気
回路の断線、短絡・リーク電流等を検出する。
次に第６図に示す従来の基板検査装置の構成および動作
について説明する。先端を細くシ、下方へ屈曲させた金
属製の板状プローブピン（１）を被測定基板（４）上の
測定端（５）のピッチに対応するように必要な数量だけ
プローブピン固定用基板（３）に埋め込み、固定する０
次にプローブピン（１）からの引出し！ＩＡ（２）を測
定回路（図示せず）にはんだ付等で接続し、被測定基板
（４）上の測定端（５）と位置合わせし、プローブピン
固定用基板（３）全体又は、被測定基板（４）全体を押
しつける。押しつけることにより、板状プローブピン（
１）自身の弾性によって、適度な圧力が生じ、板状プロ
ーブピン（１）と被測定基板（４）上の測定端（５）と
の！気的導通を得、引出し線（２）により測定回路へ電
電信号が流れ、被測定基板（４）上の電気回路の断線、
短絡、リーク電流等を検出する。
について説明する。先端を細くシ、下方へ屈曲させた金
属製の板状プローブピン（１）を被測定基板（４）上の
測定端（５）のピッチに対応するように必要な数量だけ
プローブピン固定用基板（３）に埋め込み、固定する０
次にプローブピン（１）からの引出し！ＩＡ（２）を測
定回路（図示せず）にはんだ付等で接続し、被測定基板
（４）上の測定端（５）と位置合わせし、プローブピン
固定用基板（３）全体又は、被測定基板（４）全体を押
しつける。押しつけることにより、板状プローブピン（
１）自身の弾性によって、適度な圧力が生じ、板状プロ
ーブピン（１）と被測定基板（４）上の測定端（５）と
の！気的導通を得、引出し線（２）により測定回路へ電
電信号が流れ、被測定基板（４）上の電気回路の断線、
短絡、リーク電流等を検出する。
第５図のような従来の基板検査装置では、プローブピン
（１）の取付けピッチが最小１龍程度であるため、被測
定基板（４）上の測定端（５）のピッチがそれ以下であ
ると対応できないという問題点がある。
（１）の取付けピッチが最小１龍程度であるため、被測
定基板（４）上の測定端（５）のピッチがそれ以下であ
ると対応できないという問題点がある。
なおプローブピン（１）の配列を千鳥状（ジグザグ状）
にすることも考えられるが測定端（５）の長さに制限が
ある場合はこれも不可能となる。また第６図のような従
来の基板検査装置では、板状プローブピン（１）の数が
増加するとプローブピン固定用基板（３）に固定するピ
ッチが大きいため、直線配列のプローブピン数が限定さ
れるという問題点がある。このように第５図、第６図に
示すような従来の基板検査装置では多ピンかつ微細ピッ
チ（例えば３００ビン＋ ０．８ ｍｔｘピッ千程度）
の測定端（５）を有する電気回路基板（例えば液晶パネ
ルなど）に対しては、１本ずつか、または数本のブロッ
ク毎にプローブピンまたは、被測定基板を移動させる方
式を取らざるをえず、全測定端を一括で測定することが
できないという問題点があった。さらに、第５図。
にすることも考えられるが測定端（５）の長さに制限が
ある場合はこれも不可能となる。また第６図のような従
来の基板検査装置では、板状プローブピン（１）の数が
増加するとプローブピン固定用基板（３）に固定するピ
ッチが大きいため、直線配列のプローブピン数が限定さ
れるという問題点がある。このように第５図、第６図に
示すような従来の基板検査装置では多ピンかつ微細ピッ
チ（例えば３００ビン＋ ０．８ ｍｔｘピッ千程度）
の測定端（５）を有する電気回路基板（例えば液晶パネ
ルなど）に対しては、１本ずつか、または数本のブロッ
ク毎にプローブピンまたは、被測定基板を移動させる方
式を取らざるをえず、全測定端を一括で測定することが
できないという問題点があった。さらに、第５図。
第６図に示す従来の基板評価装置では金属製の鋭利なプ
ローブピン（１）が測定端（５）と接続するため、薄膜
形成の測定端（５）の場合、この測定端（５）を傷つけ
てしまい、基板評価後の実装て支障（例えば熱による割
れ、剥離）をきたすという問題点があった。
ローブピン（１）が測定端（５）と接続するため、薄膜
形成の測定端（５）の場合、この測定端（５）を傷つけ
てしまい、基板評価後の実装て支障（例えば熱による割
れ、剥離）をきたすという問題点があった。
この発明は上記のような問題点を解消するためになされ
たもので、従来不可能であった長尺で微細ピッチ（例え
ば８００ピン、 ０．８朋ピツチ）の測定端を有する電
気回路基板に対しても全端子一括で測定でき、しかも、
被測定電気回路基板の測定端の損傷を極力抑えることの
できる基板検査装置を？埠ることを目的としている。
たもので、従来不可能であった長尺で微細ピッチ（例え
ば８００ピン、 ０．８朋ピツチ）の測定端を有する電
気回路基板に対しても全端子一括で測定でき、しかも、
被測定電気回路基板の測定端の損傷を極力抑えることの
できる基板検査装置を？埠ることを目的としている。
この発明に係る基板検査装置は、破測定電気回路基板の
測定端と対応した配置の導体配線がペースシート端より
突出して形成された可撓性絶縁シート、および先端が尖
状に加工された弾力性を有する加圧押し付け治具を備え
、上記導体配線を上記基板の測定端に位置合せし、上記
加圧押し付け治具によって押圧接触させ、上記導体配線
より電気信号を入力して上記堰板の電気同格の検査を行
うようにしたものである。
測定端と対応した配置の導体配線がペースシート端より
突出して形成された可撓性絶縁シート、および先端が尖
状に加工された弾力性を有する加圧押し付け治具を備え
、上記導体配線を上記基板の測定端に位置合せし、上記
加圧押し付け治具によって押圧接触させ、上記導体配線
より電気信号を入力して上記堰板の電気同格の検査を行
うようにしたものである。
この発明においては、可撓性絶縁シートの導体配線が被
測定電気回路基板の測定端と対応して配置され、両者を
位置合せして加圧押し付け治具によって押圧接触させる
ので測定端の損傷を極力抑えながら両者を確実に電気的
に接触させることができ、しかも微細ピッチで測定端子
数の多い長尺の被測定電気回路基板も迅速に検査するこ
とができる。
測定電気回路基板の測定端と対応して配置され、両者を
位置合せして加圧押し付け治具によって押圧接触させる
ので測定端の損傷を極力抑えながら両者を確実に電気的
に接触させることができ、しかも微細ピッチで測定端子
数の多い長尺の被測定電気回路基板も迅速に検査するこ
とができる。
さらに、導体配線がベースシート端より突出して形成さ
れているので、基板の測定端と導体配線との位置合せが
容易にできる。
れているので、基板の測定端と導体配線との位置合せが
容易にできる。
以下、この発明の一実施例を図をもとに説明する。第１
図はこの発明の一実施例による堰板検査装置の主要部を
示す斜示図であり、第２図はその断面図である１図にお
いて、（ｌｌａ）は例えばポリイミドフィルムなどのペ
ースシー） 、 （ｌｌｃ） ハＨ晶パネルなどの被
測定電気回路基板（４ａ）、（４ｂ）の測定端（５）と
対応した配着の導体配線で、例えば銅箔などよりなり、
ペースシート（Ｉｌａ）端より導体配線（ｌｉｅ）が突
出して形成され可撓性印刷配線板などの可撓性絶縁シー
トを構成している。（ｘｔｄ）は例えばポリイミドフィ
ルムなどで形成された支持用ペースシートであす、ペー
スシート（ｌｌａ）端より突出した導体配線（ｌｉｅ）
の端部を、ベースシ−ト（ｌｌａ）端から所定用離隔て
て配置した例えばポリイミドフィルムなどの支持用ベー
スシート（１１ｄ）に支持している。 （ｌｌｂ）は
ペースシート（ｌｌａ）と支持用ペースシート（ｌｉｄ
）間の間隙、αＧは先端が尖状に加工された弾力性を有
する加圧押し付け治具であり、例えばウレタンゴムなど
の材料よりなる。
図はこの発明の一実施例による堰板検査装置の主要部を
示す斜示図であり、第２図はその断面図である１図にお
いて、（ｌｌａ）は例えばポリイミドフィルムなどのペ
ースシー） 、 （ｌｌｃ） ハＨ晶パネルなどの被
測定電気回路基板（４ａ）、（４ｂ）の測定端（５）と
対応した配着の導体配線で、例えば銅箔などよりなり、
ペースシート（Ｉｌａ）端より導体配線（ｌｉｅ）が突
出して形成され可撓性印刷配線板などの可撓性絶縁シー
トを構成している。（ｘｔｄ）は例えばポリイミドフィ
ルムなどで形成された支持用ペースシートであす、ペー
スシート（ｌｌａ）端より突出した導体配線（ｌｉｅ）
の端部を、ベースシ−ト（ｌｌａ）端から所定用離隔て
て配置した例えばポリイミドフィルムなどの支持用ベー
スシート（１１ｄ）に支持している。 （ｌｌｂ）は
ペースシート（ｌｌａ）と支持用ペースシート（ｌｉｄ
）間の間隙、αＧは先端が尖状に加工された弾力性を有
する加圧押し付け治具であり、例えばウレタンゴムなど
の材料よりなる。
次に検査方法について説明する。まず、可撓性絶縁シー
トのベースシー） （ｌｌａ）端より突出した導体配線
（ＩＩＣ）と、被測定電気回路基板（４）の測定端（５
）との位置合せをする。この場合、間隙部（ｌｌｂ）の
導体配線（ｌｌｃ）の間を通して、その下の測定端（５
）を観察することにより、位置合わせを容易に行なうこ
とができる。続いて、加圧押し付け治具αＱを間隙部（
ｌｌｂ）の導体配線（ｌｌｃ）に押し付けることによっ
て、導体配Ｍ（ｕｃ）と測定端ｔ５）を加圧接触させ、
被検査基板（４）の電気的検査を行なう。
トのベースシー） （ｌｌａ）端より突出した導体配線
（ＩＩＣ）と、被測定電気回路基板（４）の測定端（５
）との位置合せをする。この場合、間隙部（ｌｌｂ）の
導体配線（ｌｌｃ）の間を通して、その下の測定端（５
）を観察することにより、位置合わせを容易に行なうこ
とができる。続いて、加圧押し付け治具αＱを間隙部（
ｌｌｂ）の導体配線（ｌｌｃ）に押し付けることによっ
て、導体配Ｍ（ｕｃ）と測定端ｔ５）を加圧接触させ、
被検査基板（４）の電気的検査を行なう。
以上の動作を行なうより具体的な実施例として例えば第
８図に示す基板検査装置がある。
８図に示す基板検査装置がある。
第３図はこの発明の他の実施例すなわち応用例を示す断
面構成図であり、被測定電気回路基板すなわち被検査基
板（４ａ）、（４ｂ）は液晶セルである。
面構成図であり、被測定電気回路基板すなわち被検査基
板（４ａ）、（４ｂ）は液晶セルである。
被検査基板（４ａｌ、（４ｂ）は固定台αη上に配置さ
れ、その下には螢光管（１８ａ）、光拡散板（１８ｈ）
からなる照明系が配設され、液晶セルを下から照らして
いる。ベースシート（ｌｌａ） 、導体配線（ｌｌｃ）
よりなる可撓性絶縁シートの一部分には、ガヲスエｆキ
シ基板などの非可撓性基板（ｌｉｅ）が補強用として貼
シ合わせてあシ、これらはχ方向・ｙ方向。
れ、その下には螢光管（１８ａ）、光拡散板（１８ｈ）
からなる照明系が配設され、液晶セルを下から照らして
いる。ベースシート（ｌｌａ） 、導体配線（ｌｌｃ）
よりなる可撓性絶縁シートの一部分には、ガヲスエｆキ
シ基板などの非可撓性基板（ｌｉｅ）が補強用として貼
シ合わせてあシ、これらはχ方向・ｙ方向。
２方向、Ｏ方向の調整機能をもつ位置合わせ機構治具体
０１に固定されている。また、可捧性絶縁シートにはコ
ネクター翰が配設されており、コネクター（１）は複数
の接続ケーブルクｐによって、スキャナー１４構をもつ
抵抗測定機または、被検査基板の駆動回路のいずれかで
ある外部回路Φに接続されている。加圧押し付け治具Ｃ
１は絞め付けネジｒｔｓａ）Ｋよって上下移動可能であ
シ、また、ロック機能をもつチョウツガイ（１６ｂ）に
よって可撓性絶縁シートの間隙部（ｌｌｂ）から遠ざけ
ることも可能である。
０１に固定されている。また、可捧性絶縁シートにはコ
ネクター翰が配設されており、コネクター（１）は複数
の接続ケーブルクｐによって、スキャナー１４構をもつ
抵抗測定機または、被検査基板の駆動回路のいずれかで
ある外部回路Φに接続されている。加圧押し付け治具Ｃ
１は絞め付けネジｒｔｓａ）Ｋよって上下移動可能であ
シ、また、ロック機能をもつチョウツガイ（１６ｂ）に
よって可撓性絶縁シートの間隙部（ｌｌｂ）から遠ざけ
ることも可能である。
なお、この図では被測定電気回路基板の測定端を明記し
ていないが、第２図の実施例と同様に配線されているも
のとする。
ていないが、第２図の実施例と同様に配線されているも
のとする。
このように構成されたものにおいて、加圧押し付け治具
０１を間隙部（ｌｌｂ）から遠ざけた伏ルで、図面上方
向から顕微鏡等で観察をしながら、位置合わせ機構治具
体ＯＩを操作することによって、可撓性絶縁シートを被
検査基板（４ａ）、（４ｂ）に対して位置合わせした後
、加圧押し付け治具αＱを間隙部（ＩＲ）上に配置し、
絞め付けネジ（１６ａ）を回すことによって加圧押し付
け治具αＱを導体配線（ＩＩＣ）に押し付け、導体配線
（ｌｌｃ）を被検査基板（１４ａ）上の測定端（図示せ
ず）に電気的に接続する。
０１を間隙部（ｌｌｂ）から遠ざけた伏ルで、図面上方
向から顕微鏡等で観察をしながら、位置合わせ機構治具
体ＯＩを操作することによって、可撓性絶縁シートを被
検査基板（４ａ）、（４ｂ）に対して位置合わせした後
、加圧押し付け治具αＱを間隙部（ＩＲ）上に配置し、
絞め付けネジ（１６ａ）を回すことによって加圧押し付
け治具αＱを導体配線（ＩＩＣ）に押し付け、導体配線
（ｌｌｃ）を被検査基板（１４ａ）上の測定端（図示せ
ず）に電気的に接続する。
外部回路（イ）がスギャナー機能をもつ抵抗測定機であ
る場合、被検査基板（４ａ）、（４ｂ）内配線の断線や
絡短の検査を行なう、外部回路（２）が被検査基板（４
ａ）、（４ｂ）の駆動回路である場合、螢光管（１ｓａ
）を点灯し、駆動信号によって被検査基板（４ａ）、（
４ｂ）に画像を表示させ、画像パターン等を観察するこ
とによって、被検査基板（４ａ）、（４ｂ）の特性検査
を行なう。
る場合、被検査基板（４ａ）、（４ｂ）内配線の断線や
絡短の検査を行なう、外部回路（２）が被検査基板（４
ａ）、（４ｂ）の駆動回路である場合、螢光管（１ｓａ
）を点灯し、駆動信号によって被検査基板（４ａ）、（
４ｂ）に画像を表示させ、画像パターン等を観察するこ
とによって、被検査基板（４ａ）、（４ｂ）の特性検査
を行なう。
なお、上記実施例ではベースシー） （ｌｌａ）端より
突出した導体配線（ｌｌｃ）の端部を支持用ベースシー
） （ｌｉｄ）に支持した可撓性絶縁シートを用いた場
合について説明したが、例えば第４図に示すように支持
用ベースシー） （ｌｉｄ）が無い場合にも、上記実施
例と同様の効果が得られる。
突出した導体配線（ｌｌｃ）の端部を支持用ベースシー
） （ｌｉｄ）に支持した可撓性絶縁シートを用いた場
合について説明したが、例えば第４図に示すように支持
用ベースシー） （ｌｉｄ）が無い場合にも、上記実施
例と同様の効果が得られる。
また、可撓性絶縁シートの導体配線（ｌｌｃ）の少なく
とも被検査基板の測定端（５）との接触部分に金めつき
を施してもよく、この場合、更に、測定端（５）との接
触抵抗が小さくなυ、電気接続の信頼性が向上する効果
も追加される。
とも被検査基板の測定端（５）との接触部分に金めつき
を施してもよく、この場合、更に、測定端（５）との接
触抵抗が小さくなυ、電気接続の信頼性が向上する効果
も追加される。
また、上記実施例では、可撓性絶縁シートのベーヌシー
ト（ｌｌａ）の上側に導体配＃１（ｌｌｃ）を配役した
ものを示したが、導体配線（ｌｌｃ）はベースシー ？
（ｌｌａ）の下側であってもよく、更にカバーフィル
ムを設けてもよい。
ト（ｌｌａ）の上側に導体配＃１（ｌｌｃ）を配役した
ものを示したが、導体配線（ｌｌｃ）はベースシー ？
（ｌｌａ）の下側であってもよく、更にカバーフィル
ムを設けてもよい。
また、上記実症例では、被検査基板（４ａ）・〔４ｂ）
の１辺に可撓性絶縁シートの導体配線（１１ｃ）を加圧
接触させたものを示したが、これは２辺、８辺あるいは
４辺でもよいことはいうまでもない。
の１辺に可撓性絶縁シートの導体配線（１１ｃ）を加圧
接触させたものを示したが、これは２辺、８辺あるいは
４辺でもよいことはいうまでもない。
以上のように、この発明によれば、被測定電気回路基板
の測定端と対応した配置の導体配線がペースシート端よ
り突出して形成された可撓性絶縁シート、および先端が
尖状に加工された弾力性を有する加圧押し付け治具を備
え、上記導体配線を上記基板の測定端に位置合せし、上
記加圧押し付け治具によって押圧接触させ、上記導体配
線より電気信号を入力して上記基板の電気回路の検査を
行うようにしたので、微細ピッチでしかも端子数の多い
長尺の被測定電気回路基板の検査が可能となシ、さらに
、位置合せが容易で信頼性の高い基板検査装置が得られ
る効果がある。
の測定端と対応した配置の導体配線がペースシート端よ
り突出して形成された可撓性絶縁シート、および先端が
尖状に加工された弾力性を有する加圧押し付け治具を備
え、上記導体配線を上記基板の測定端に位置合せし、上
記加圧押し付け治具によって押圧接触させ、上記導体配
線より電気信号を入力して上記基板の電気回路の検査を
行うようにしたので、微細ピッチでしかも端子数の多い
長尺の被測定電気回路基板の検査が可能となシ、さらに
、位置合せが容易で信頼性の高い基板検査装置が得られ
る効果がある。
第１図はこの発明の一実施例による基板検査装置の主要
部を示す斜視図、第２図はその断面図、第８図はこの発
明の他の実施例すなわち応用例による基板検査装置を示
す断面構成図、第４図はこの発明の他の実施例による基
板検査装置の主要部を示す断面図、第５図、＠６図はそ
れぞれ従来の基板検査装置の主要部を示す斜視図である
。 図において、（１）はプローブピン、（４）は被測定電
気回路基板、（５）は測定端、（ｌｌａ）はベーヌシー
ト、（ＩＩＣ）は導体配線、（ｌｉｄ）は支持用ペース
シート、Ｍ ハ加圧押し付ケ治具、（１８ａ） ｈ螢光
管、（１８ｂ）は光拡散板、０１は位置合せ機構治具体
、（１）はコネクター、ｅ２１）は接続ケーブル、（イ
）は外部回路である。 なお、各図中同一符号は同一または相当部分を示すもの
とする。
部を示す斜視図、第２図はその断面図、第８図はこの発
明の他の実施例すなわち応用例による基板検査装置を示
す断面構成図、第４図はこの発明の他の実施例による基
板検査装置の主要部を示す断面図、第５図、＠６図はそ
れぞれ従来の基板検査装置の主要部を示す斜視図である
。 図において、（１）はプローブピン、（４）は被測定電
気回路基板、（５）は測定端、（ｌｌａ）はベーヌシー
ト、（ＩＩＣ）は導体配線、（ｌｉｄ）は支持用ペース
シート、Ｍ ハ加圧押し付ケ治具、（１８ａ） ｈ螢光
管、（１８ｂ）は光拡散板、０１は位置合せ機構治具体
、（１）はコネクター、ｅ２１）は接続ケーブル、（イ
）は外部回路である。 なお、各図中同一符号は同一または相当部分を示すもの
とする。
Claims (5)
- （１）被測定電気回路基板の測定端と対応した配置の導
体配線がベースシート端より突出して形成された可撓性
絶縁シート、および先端が尖状に加工された弾力性を有
する加圧押し付け治具を備え、上記導体配線を上記基板
の測定端に位置合せし、上記加圧押し付け治具によつて
押圧接触させ、上記導体配線より電気信号を入力して上
記基板の電気回路の検査を行うようにした基板検査装置
。 - （２）ベースシート端より突出した導体配線の端部を、
上記ベースシート端から所定距離隔てて配置した支持用
ベースシートに支持した特許請求の範囲第１項記載の基
板検査装置。 - （３）可撓性絶縁シートの導体配線のうち少なくとも被
測定電気回路基板の測定端と接触する部分に金めつきを
施した特許請求の範囲第１項または第２項記載の基板検
査装置。 - （４）導体配線より入力される電気信号はスキャナー機
能を有する抵抗測定機からの測定信号である特許請求の
範囲第１項ないし第８項の何れかに記載の基板検査装置
。 - （５）導体配線より入力される電気信号は被測定電気回
路基板の駆動回路からの駆動信号である特許請求の範囲
第１項ないし第３項の何れかに記載の基板検査装置。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61297073A JPS63149576A (ja) | 1986-12-12 | 1986-12-12 | 基板検査装置 |
| US07/117,616 US4887030A (en) | 1986-12-12 | 1987-11-06 | Testing device for electrical circuit boards |
| US07/369,142 US4943768A (en) | 1986-12-12 | 1989-06-21 | Testing device for electrical circuit boards |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61297073A JPS63149576A (ja) | 1986-12-12 | 1986-12-12 | 基板検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63149576A true JPS63149576A (ja) | 1988-06-22 |
Family
ID=17841856
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61297073A Pending JPS63149576A (ja) | 1986-12-12 | 1986-12-12 | 基板検査装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4887030A (ja) |
| JP (1) | JPS63149576A (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5087877A (en) * | 1991-02-25 | 1992-02-11 | Motorola Inc. | Test contact fixture using flexible circuit tape |
| US5378982A (en) * | 1993-02-25 | 1995-01-03 | Hughes Aircraft Company | Test probe for panel having an overlying protective member adjacent panel contacts |
| US5391082A (en) * | 1993-10-26 | 1995-02-21 | Airhart; Durwood | Conductive wedges for interdigitating with adjacent legs of an IC or the like |
| WO2001087192A1 (en) * | 2000-04-28 | 2001-11-22 | Children's Medical Center Corporation | Tissue engineered stents |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| US3832632A (en) * | 1971-11-22 | 1974-08-27 | F Ardezzone | Multi-point probe head assembly |
| US4056777A (en) * | 1974-08-14 | 1977-11-01 | Electroglas, Inc. | Microcircuit test device with multi-axes probe control |
| FR2418466A1 (fr) * | 1978-02-24 | 1979-09-21 | Telecommunications Sa | Appareil pour etablir des prises de contact temporaires sur des circuits electriques |
| DE3038665C2 (de) * | 1980-10-13 | 1990-03-29 | Riba-Prüftechnik GmbH, 7801 Schallstadt | Prüfeinrichtung zum Überprüfen von mit Leiterbahnen versehenen Leiterplatten |
| DD159371A2 (de) * | 1981-01-09 | 1983-03-02 | Bernd Staudte | Laboratives testgeraet zum pruefen von halbleiterbauelementen |
| CH645730A5 (fr) * | 1982-01-08 | 1984-10-15 | Technobal Sa | Contact d'essai pour le test de circuits imprimes, et tete de contact amovible pour un tel contact d'essai. |
| US4649339A (en) * | 1984-04-25 | 1987-03-10 | Honeywell Inc. | Integrated circuit interface |
-
1986
- 1986-12-12 JP JP61297073A patent/JPS63149576A/ja active Pending
-
1987
- 1987-11-06 US US07/117,616 patent/US4887030A/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US4887030A (en) | 1989-12-12 |
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