JPS63154152U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図〜第３図は本考案の定盤修正装置の一実
施例を示す図であり、第１図は平面図、第２図は
正面図、第３図ａは修正リングの底面図および同
図ｂは同図ａのＸ_３―Ｘ_３線断面図である。第４
図は研摩装置を示す正面図であり、第５図は上定
盤の底面図である。第６図は従来の定盤修正装置
を示す模式平面図である。 ２……上定盤、２ａ……真空吸着部、２ａ_１…
…真空吸着面、１０……定盤修正装置、１１……
修正用定盤、１２……修正用リング、１２ａ……
収納部、１２ｄ……周側面、１３……ローラ部、
１３ａ……ローラ、１４……支持具。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 研摩装置の上定盤及び下定盤のうち何れか一方
   が被研摩物を固定する手段により被研摩物が固定
   される被研摩物固定定盤であり、前記被研摩物固
   定定盤の被研摩物に当接する当接面を修正する定
   盤修正装置において、前記被研摩物固定定盤の当
   接面を修正する修正用定盤と、前記修正用定盤上
   に載置され、前記被研摩物固定定盤を収納する収
   納部を設けた修正用リングと、前記修正用リング
   の周側面に当接するローラを有する、支持具によ
   り支持された少なくとも２つのローラ部とを具備
   し、前記修正用リングの収納部内に前記被研摩物
   固定定盤を収納し、前記被研摩物に当接する当接
   面を前記修正用定盤に当接し、前記修正用定盤を
   回転し、前記修正用リング及び前記ローラを自転
   し、かつ前記被研摩物固定定盤を自転することを
   特徴とする定盤修正用装置。