JPS6315445Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 本考案は、精密工場の防振床架構に係るもので
ある。

半導体製造工場等の精密工場では、床振動をサ
ブミクロンのレベルにまで低くしなければならな
い工程（精密製造機器）がある。また、一方で
は、最近の半導体製品の著しい発展に伴い生産ラ
インの変更や精密製造機器の変更が甚だしくなつ
ており、これらの変更に自由に対処できるフレキ
シビリテイが要求されている。

ところで、従来の防振対策には、床構造を将来
の変更も考えて全般的に剛性高く構築する方法、
床構造を通常の経済的構造に建築しておき、精密
製造機器の設置架台毎にコンクリート等による基
礎を造る方法がとられている。

また、最近では、床構造を通常の経済的構造と
し、防振を要する床部分を下層階及び上層階の床
構造と金属ポール等の繋材で剛に連結して、振動
系の質量及び範囲を大きくし、これによつて衝撃
時の初期の振幅を小さくし、且つ、振動エネルギ
ーを減衰させることが考えられている。

しかし、上記第１の方法では、利用率が低く、
建物が高価となつて、経済性の面で不利であり、
第２の方法では、生産ラインや精密製造機器の変
更の度に多大な改造工事を要して、その都度多く
の工事費がかかり、長期の生産中断を生ずる。

また、第３の方法では、繋材にかなりの強度を
要して、柱を増設するが如き状態となり、強い衝
撃が加わつた場合に他階にまで波及して悪影響を
及ぼし、これを出来るだけ少なくするためには、
出来るだけ多くの階層にまで繋材を連ねる必要が
あつて、、他階の空間の利用率を低下させること
になり、作業の邪魔となる欠点がある。

本考案は、これらのことを考慮し、防振性の高
い床構造を経済的に且つ容易に構築することを目
的とするものである。

而して、本考案は、床構造を通常の経済的構造
で建築し、防振を要する床部分の梁の中間部を上
階または下階の梁とリンク機構により連係し、該
リンク機構に防振ばねを調節自在に装備させて成
り、実質的に有効スパンを短縮させて梁剛性を高
めたものである。

以下、図示の実施例について説明する。

図において、１…は、各階の床版、２…は、各
階の梁、３…は、各階の柱、４は、上下階の梁の
中間部で介在させたリンク機構、５は、該リンク
機構に調節自在に装備させた防振ばねである。

各階の床版１…及び梁２…は、通常の経済的床
構造Ａ…、つまり、一般工場で採用される比較的
剛性の低い簡単な床構造としており、防振を要す
る上階の床構造における梁２の中間部に梁下で複
数のアンカーボルト２１…を植設し、また、下階
の床構造における梁２の中間部梁上にそのアンカ
ーボルト２１…に対面させて複数のアンカーボル
ト２１…を植設している。

リンク機構４は、ガセツトプレート４１１，４
１１を起立して上記の上下のアンカーボルト２１
…，２１…へ装着する２つのベースプレート４
１，４１と、４本のトラス材４２…と、トラス材
中断用の２個のガセツトプレート４３，４３とで
菱形に形成し、２つのベースプレート４１，４１
にそれぞれのアンカーボルト２１…，２１…と対
応させて複数の透孔４１２…，４１２…を穿設し
て成り、而して、２つのベースプレート４１，４
１を、上下のアンカーボルト２１…，２１…へ座
板４４，４４と共に嵌合連係し、ナツト２２…，
２２…を螺合締付けして、上階の梁２の中間部梁
下と下階の梁２の中間部梁上とに各固定し、リン
ク機構４を上下の梁間に介在させる。

防振ばね５は、コイルスプリング５１から成
り、リンク機構４における上記の２個のトラス材
中継用ガセツトプレート４３，４３間に、２本の
スクリユロツド５２，５２、ばね枠５３、２個の
ばね受５４，５４、数個のナツト５５…を以て弾
力調節自在に介在させており、２本のスクリユロ
ツド５２，５２は、それぞれ基端をガセツトプレ
ート４３，４３に連係し、先端にナツト５５…を
各螺合しており、ばね枠５３は、長方形に形成す
ると共に、両側辺中央部に透孔５３１，５３１を
穿設して、一方の透孔に一方のスクリユロツド５
２の先端を可動に挿通し、他方の透孔に他方のス
クリユロツド５２の先端を挿通してナツト５５，
５５により位置調節自在に固定しており、２個の
ばね受５４，５４は、上記コイルスプリング５１
の両端に嵌合して、これらをばね枠５３内に内装
し、一方のばね受５４を一方のスクリユロツド５
２の側でばね枠５３へ固定し、他方のばね受５４
をナツト５５を以て一方のスクリユロツド５２の
先端へ位置調節自在に従つてコイルスプリング５
１の弾力調節自在に連係している。

防振ばね５即ちコイルスプリング５１は、上階
の梁２を下方へ引張る方向、或いは、上方へ押し
上げる方向に弾力を作用させればよく、その張力
または押圧力を数拾乃至数百キログラムに設定す
るとよい。

なお、上述の実施例では、上階及び下階の床構
造を共に床版のものとしているが、下階が土間床
であつてもよい。また、リンク機構４及び防振ば
ね５を防振すべき床構造の下側へ設けているが、
上側へ設けてもよい。更に、防振ばね５にコイル
スプリング２１を用い、スクリユロツド５２，５
２等を使用しているが、板ばね、ワイヤ等を用い
てもよい。

本考案によれば、防振を要する床部分の梁の中
間部を上階または下階の梁とリンク機構により連
係し、該リンク機構に防振ばねを調節自在に装備
させているので、その床部分に加わる振動の振幅
を防振ばねにより大幅に低減でき、且つ、その床
部分の固有振動数を防振ばねにより変えて精密製
造機器との間の共振を排除でき、従つて、床構造
が通常の経済的構造であつても極めて良好に防振
でき、しかも、その床部分の梁を上階または下階
の梁とリンク機構４及び防振ばね５で連結するだ
けでよいから、構造が極めて簡単で施工容易であ
り、生産ライン及び精密製造機器の変更にもこれ
に対応して取付け位置を変えれぱよく、且つ、そ
の位置変えが容易に行える。よつて、構築にも変
更にも工事費が安く、頤る経済的であり、変更に
自由に対処できるフレキシビリテイが得られ、変
更時に長期の生産中断を生ぜず、建物の利用率を
高くでき、他階へ悪影響を及ぼすこともなけれ
ば、他階から悪影響を受けることもなく、所期の
目的を達成できる。

更に、リンク機構を設けて、これに防振ばねを
装備させているから、比較的小型の防振ばねでも
強力に且つ効率よく作用させることができ、実用
上甚だ有益である。

【図面の簡単な説明】

図面は、本考案の実施例で、第１図は、構成要
領図、第２図、第３図は、要部の拡大截断正面図
である。 １……床版、２……梁、３……柱、４……リン
ク機構、５……防振ばね、Ａ……床構造。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 床構造を通常の経済的構造で建築し、防振を要
   する床部分の梁の中間部を上階または下階の梁と
   リンク機構により連係し、該リンク機構に防振ば
   ねを調節自在に装備させたことを特徴とする精密
   工場の防振床架構。