JPS63154884A - 内部分流逆流冷却式多段ル−ツ型真空ポンプ - Google Patents
内部分流逆流冷却式多段ル−ツ型真空ポンプInfo
- Publication number
- JPS63154884A JPS63154884A JP61300150A JP30015086A JPS63154884A JP S63154884 A JPS63154884 A JP S63154884A JP 61300150 A JP61300150 A JP 61300150A JP 30015086 A JP30015086 A JP 30015086A JP S63154884 A JPS63154884 A JP S63154884A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- housing
- pump section
- pump
- gas
- flow path
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C29/00—Component parts, details or accessories of pumps or pumping installations, not provided for in groups F04C18/00 - F04C28/00
- F04C29/04—Heating; Cooling; Heat insulation
- F04C29/042—Heating; Cooling; Heat insulation by injecting a fluid
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C18/00—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids
- F04C18/08—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing
- F04C18/12—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing of other than internal-axis type
- F04C18/126—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing of other than internal-axis type with radially from the rotor body extending elements, not necessarily co-operating with corresponding recesses in the other rotor, e.g. lobes, Roots type
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Applications Or Details Of Rotary Compressors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、内部分流逆流冷却式多段ルーツ型真空ポンプ
に関する。本発明は吸込圧力が、大気圧から１０−’Ｔ
ｏｒｒレベルまでの領域において、高圧縮比状態で運転
され運転時の温度が比較的高温となる逆流冷却式多段ル
ーツ型真空ポンプに適用されることができる。
に関する。本発明は吸込圧力が、大気圧から１０−’Ｔ
ｏｒｒレベルまでの領域において、高圧縮比状態で運転
され運転時の温度が比較的高温となる逆流冷却式多段ル
ーツ型真空ポンプに適用されることができる。
一般に、一対のロータがそれらを包括するハウジングと
微少な隙間を保ちながら回転し、気体の吸込、吐出を行
うルーツ型真空ポンプ等においては、できる限りその隙
間を微少に保ち運転することが、高性能なポンプを実現
するうえで重要となる。従来、特に高圧縮比状態で運転
され、その圧線熱により運転時の温度が比較的高温とな
る多段ルーツ型真空ポンプ等においては、予め予想され
る運転時のロータとハウジングの温度に基づき隙間の設
定が行われるが、ハウジングは、直接外気と接している
ためポンプ運転時のハウジングの温度は、周囲の温度変
化の影響を受ける。このため設定隙間は、この周囲温度
の変化によるハウジングの熱ａ ｐＡｆｉの変化分を考
慮した値となり、できる限り微少な隙間を実現する上で
障害となってきた。
微少な隙間を保ちながら回転し、気体の吸込、吐出を行
うルーツ型真空ポンプ等においては、できる限りその隙
間を微少に保ち運転することが、高性能なポンプを実現
するうえで重要となる。従来、特に高圧縮比状態で運転
され、その圧線熱により運転時の温度が比較的高温とな
る多段ルーツ型真空ポンプ等においては、予め予想され
る運転時のロータとハウジングの温度に基づき隙間の設
定が行われるが、ハウジングは、直接外気と接している
ためポンプ運転時のハウジングの温度は、周囲の温度変
化の影響を受ける。このため設定隙間は、この周囲温度
の変化によるハウジングの熱ａ ｐＡｆｉの変化分を考
慮した値となり、できる限り微少な隙間を実現する上で
障害となってきた。
従来この周囲温度の変化が隙間に及ぼす影響を出来る限
り小さくすると同時にポンプの冷却を行うために、ハウ
ジングの外周部に水冷用ジャケットを設けこれに流す冷
却水を温度センサー等を設は流量又は温度を制御するこ
とにより、ハウジングの温度を出来る限り一定に保こと
か試みられているが、温度センサーや冷却水の流量又は
温度の制御装置が必要となるため、有利ではない。
り小さくすると同時にポンプの冷却を行うために、ハウ
ジングの外周部に水冷用ジャケットを設けこれに流す冷
却水を温度センサー等を設は流量又は温度を制御するこ
とにより、ハウジングの温度を出来る限り一定に保こと
か試みられているが、温度センサーや冷却水の流量又は
温度の制御装置が必要となるため、有利ではない。
また従来第８図に示すように、ルーツ型真空ポンプにお
いて、ポンプ運転時のハウジングの温度が、外気への放
熱により、内部のロータの温度より低くなり、ハウジン
グの熱膨張量が、ロータの熱膨張量に比較し小さくなる
ことから、ハウジングとロータ間の隙間が減少し、接触
を引き起す事を防止するために、ポンプのハウジング１
０１の外周部にジャケット１０３を設け、ジャケット１
０３の一端を吐出口１１２に連通ずる開放口１３１を設
け、圧縮熱により温度が上昇した吐出気体を、ロータに
よる流れの乱れにより、ジャケット１０３内を循環させ
、ハウジングの温度をロータの温度と等しい温度に保と
うとする試みが行なわれているが、ジャケットの開放口
が一箇所であり、吐出気体が充分にジャケット内を流れ
ず、充分な効果が得られない。
いて、ポンプ運転時のハウジングの温度が、外気への放
熱により、内部のロータの温度より低くなり、ハウジン
グの熱膨張量が、ロータの熱膨張量に比較し小さくなる
ことから、ハウジングとロータ間の隙間が減少し、接触
を引き起す事を防止するために、ポンプのハウジング１
０１の外周部にジャケット１０３を設け、ジャケット１
０３の一端を吐出口１１２に連通ずる開放口１３１を設
け、圧縮熱により温度が上昇した吐出気体を、ロータに
よる流れの乱れにより、ジャケット１０３内を循環させ
、ハウジングの温度をロータの温度と等しい温度に保と
うとする試みが行なわれているが、ジャケットの開放口
が一箇所であり、吐出気体が充分にジャケット内を流れ
ず、充分な効果が得られない。
また従来第９図に示すように、ジャケットの一部からポ
ンプの吐出管路へ、外部配管１０４を設け、吐出気体が
ジャケット内に流入しやすくする事が試みられているが
、外部配管が必要となり、また外部配管の上流側と下流
側の圧力差が小さいため充分な気体の流量が確保されず
、有利ではない。
ンプの吐出管路へ、外部配管１０４を設け、吐出気体が
ジャケット内に流入しやすくする事が試みられているが
、外部配管が必要となり、また外部配管の上流側と下流
側の圧力差が小さいため充分な気体の流量が確保されず
、有利ではない。
また従来第１０図に示すように、一般に逆流冷却式多段
ルーツ型真空ポンプにおいては、各ポンプ区分の吐出口
と次段のポンプ区分の吸込口を連結する連結管路が設け
られ、この連結管路には、冷却器が設けられ、この冷却
器の下流側の連結管路からは、前段側の各ポンプ区分へ
逆流冷却用気体を導く逆流管路が分岐し配管されるもの
が、提案されている。（特開昭５９−１１５４８９＞第
１０図に示されている３段ルーツ型真空ポンプにおいて
は、第１ポンプ区分２０１の吐出口２１４と第２ポンプ
区分２０４の吸込口２４３は、連結管路２３１゜２３２
、２３３により連結し、連結管路２３１と２３２の間
に冷却器２３６を設け、連結管路２３２から分岐し第１
ポンプ区分２０１のハウジングへ逆流冷却用気体を導く
逆流管路２３４ 、２３５が設けられている。第２ポン
プ区分２０４の吐出口２４４と第３ポンプ区分２０７の
吸込口２７３は、連結管路２６１ 、２６２ 、２６３
により連結し、連結管路２６１と２６２の間に冷却器２
６６を設け、連結管路２６２から分岐し第２ポンプ区分
２０４のハウジングへ逆流冷却用気体を導く逆流管路２
６４ 、２６５が設けられている。第３ポンプ区分２０
７の吐出口２７４に吐出管路２８１と２８２を連結し、
吐出管路２８１と２８２の間に冷却器２８５を設け、吐
出管路２８２から分岐し第３ポンプ区分２０７のハウジ
ングに連結する逆流配管２８３ 、２８４が設けられる
。
ルーツ型真空ポンプにおいては、各ポンプ区分の吐出口
と次段のポンプ区分の吸込口を連結する連結管路が設け
られ、この連結管路には、冷却器が設けられ、この冷却
器の下流側の連結管路からは、前段側の各ポンプ区分へ
逆流冷却用気体を導く逆流管路が分岐し配管されるもの
が、提案されている。（特開昭５９−１１５４８９＞第
１０図に示されている３段ルーツ型真空ポンプにおいて
は、第１ポンプ区分２０１の吐出口２１４と第２ポンプ
区分２０４の吸込口２４３は、連結管路２３１゜２３２
、２３３により連結し、連結管路２３１と２３２の間
に冷却器２３６を設け、連結管路２３２から分岐し第１
ポンプ区分２０１のハウジングへ逆流冷却用気体を導く
逆流管路２３４ 、２３５が設けられている。第２ポン
プ区分２０４の吐出口２４４と第３ポンプ区分２０７の
吸込口２７３は、連結管路２６１ 、２６２ 、２６３
により連結し、連結管路２６１と２６２の間に冷却器２
６６を設け、連結管路２６２から分岐し第２ポンプ区分
２０４のハウジングへ逆流冷却用気体を導く逆流管路２
６４ 、２６５が設けられている。第３ポンプ区分２０
７の吐出口２７４に吐出管路２８１と２８２を連結し、
吐出管路２８１と２８２の間に冷却器２８５を設け、吐
出管路２８２から分岐し第３ポンプ区分２０７のハウジ
ングに連結する逆流配管２８３ 、２８４が設けられる
。
第１０図の逆流冷却式多段ルーツ型真空ポンプにおいて
は、逆流冷却用気体を導く逆流管路は、ポンプの外部配
管として各段間の連結管路から分岐し配管されている。
は、逆流冷却用気体を導く逆流管路は、ポンプの外部配
管として各段間の連結管路から分岐し配管されている。
このため外部配管が比較的複雑となり、ポンプの小型化
、配管の製作費の点において必ずしも有利ではない。更
に逆流管路は、板厚の比較的薄い可撓管等の配管材料に
より製作されるため、騒音発生源の一つとなる。また、
ハウジングは、直接外気と接しているため、ポンプ運転
時のハウジングの温度は、周囲の温度変化の影響を無視
しえず、ロータとハウジングの隙間の設定は、この周囲
温度の変化によるハウジングの熱膨張量の変化分を考慮
した値となり、できる限り微少な隙間を実現する上で問
題となる。このため、この隙間を通して漏れる気体の量
をできる限り少なくし、高性能なポンプを実現すること
が望まれている。
、配管の製作費の点において必ずしも有利ではない。更
に逆流管路は、板厚の比較的薄い可撓管等の配管材料に
より製作されるため、騒音発生源の一つとなる。また、
ハウジングは、直接外気と接しているため、ポンプ運転
時のハウジングの温度は、周囲の温度変化の影響を無視
しえず、ロータとハウジングの隙間の設定は、この周囲
温度の変化によるハウジングの熱膨張量の変化分を考慮
した値となり、できる限り微少な隙間を実現する上で問
題となる。このため、この隙間を通して漏れる気体の量
をできる限り少なくし、高性能なポンプを実現すること
が望まれている。
本発明の目的は、前述の従来形における問題点に鑑み、
特別な制御装置等を使用せずに、ポンプ運転時のハウジ
ングの温度をポンプ周囲温度の変化にかかわらず安定に
保つことにより、ポンプ周囲温度の変化によるハウジン
グの熱膨張量の変化量を小さく抑え、運転中のポンプに
おけるロータの外周及び両端面とハウジング間の隙間の
変化量を少なくし、その結果、ロータとハウジングの接
触を引き起すことなしに隙間をより微少に設定すること
を可能とし、この隙間を通して漏れる気体の量を減少せ
しめ、逆流冷却式多段ルーツ型真空ポンプとしての性能
の向上をはかることにある。
特別な制御装置等を使用せずに、ポンプ運転時のハウジ
ングの温度をポンプ周囲温度の変化にかかわらず安定に
保つことにより、ポンプ周囲温度の変化によるハウジン
グの熱膨張量の変化量を小さく抑え、運転中のポンプに
おけるロータの外周及び両端面とハウジング間の隙間の
変化量を少なくし、その結果、ロータとハウジングの接
触を引き起すことなしに隙間をより微少に設定すること
を可能とし、この隙間を通して漏れる気体の量を減少せ
しめ、逆流冷却式多段ルーツ型真空ポンプとしての性能
の向上をはかることにある。
また本発明の他の目的は、従来、外部配管としてなされ
ていた、逆流冷却用気体を導く逆流管路を無くすことに
より、外部配管を簡略化し、ポンプの小型化、配管の製
作費の低減を実現すると共に、逆流管路から生じていた
騒音を減少せしめ、ポンプの騒音低減をはかることにあ
る。
ていた、逆流冷却用気体を導く逆流管路を無くすことに
より、外部配管を簡略化し、ポンプの小型化、配管の製
作費の低減を実現すると共に、逆流管路から生じていた
騒音を減少せしめ、ポンプの騒音低減をはかることにあ
る。
〔問題点を解決するための手段、及び作用〕本発明にお
いては、ルーツ型真空ポンプが複数のポンプ区分により
形成され、各ポンプ区分に共通の２個の軸が設けられ、
これらの軸に支承されるロータが設けられ、各ポンプ区
分を構成しロータを内蔵するハウジングには、吸込口、
吐出口が設けられ、該ハウジングの外周部には、吸込口
に連通ずる外周気体流路と、ハウジング内部に逆流冷却
用気体を導く流入口に連通ずる外周気体流路が設けられ
、該外周気体流路の間には、隔壁が設けられ、隣接する
各ポンプ区分を仕切る仕切壁には、前段のポンプ区分に
おけるハウジング内部に逆流冷却用気体を導く流入口に
連通ずる外周気体流路と、次段のポンプ区分における吸
込口に連通ずる外周気体流路とを連通ずる連通口が設け
られ、各ポンプ区分の吐出口と次段のポンプ区分の吸込
口を連結する連結管路が設けられ、該連結管路には、冷
却器が設けられていることを特徴とする内部分流逆流冷
却式多段ルーツ型真空ポンプが提供される。
いては、ルーツ型真空ポンプが複数のポンプ区分により
形成され、各ポンプ区分に共通の２個の軸が設けられ、
これらの軸に支承されるロータが設けられ、各ポンプ区
分を構成しロータを内蔵するハウジングには、吸込口、
吐出口が設けられ、該ハウジングの外周部には、吸込口
に連通ずる外周気体流路と、ハウジング内部に逆流冷却
用気体を導く流入口に連通ずる外周気体流路が設けられ
、該外周気体流路の間には、隔壁が設けられ、隣接する
各ポンプ区分を仕切る仕切壁には、前段のポンプ区分に
おけるハウジング内部に逆流冷却用気体を導く流入口に
連通ずる外周気体流路と、次段のポンプ区分における吸
込口に連通ずる外周気体流路とを連通ずる連通口が設け
られ、各ポンプ区分の吐出口と次段のポンプ区分の吸込
口を連結する連結管路が設けられ、該連結管路には、冷
却器が設けられていることを特徴とする内部分流逆流冷
却式多段ルーツ型真空ポンプが提供される。
本発明による真空ポンプの作用は、以下の通りである。
各ポンプ区分の吸込口から吸い込まれた気体は、吸込口
において、各ポンプ区分で圧縮される気体と前段のポン
プ区分へ逆流する逆流冷却用気体とに分れる。
において、各ポンプ区分で圧縮される気体と前段のポン
プ区分へ逆流する逆流冷却用気体とに分れる。
各ポンプ区分で圧縮される気体は、外周気体流路を通り
逆流冷却用気体の流入口から各ポンプ区分のハウジング
内に流入する次段のポンプ区分からの逆流冷却用気体に
より圧縮され、吐出口から吐き出される。吐き出された
気体は、連結管路を通り冷却器に入り、安定で且つ適当
な温度に冷却され、連結管路を通って次段のポンプ区分
の吸込口から吸い込まれる。
逆流冷却用気体の流入口から各ポンプ区分のハウジング
内に流入する次段のポンプ区分からの逆流冷却用気体に
より圧縮され、吐出口から吐き出される。吐き出された
気体は、連結管路を通り冷却器に入り、安定で且つ適当
な温度に冷却され、連結管路を通って次段のポンプ区分
の吸込口から吸い込まれる。
他方、前段のポンプ区分へ逆流する逆流冷却用気体は、
前段のポンプ区分の吸込圧力と吐出圧力の圧力差により
充分な流量が確保され、ロータを内蔵するハウジングの
温度を安定で且つ適当な温度に保ちながら、各ポンプ区
分のハウジングの外周部に設けられた外周気体流路を通
り、各ポンプ区分と前段のポンプ区分を仕切る仕切壁の
連通口を経て、前段のポンプ区分の外周気体流路からハ
ウジング内部へ流入し、前段の吸込口から吸い込まれた
気体の温度の上昇を低く抑えながら圧縮し、吐出口から
吐き出される。以上のｆｊ用が各ポンプ区分において順
次行われる。
前段のポンプ区分の吸込圧力と吐出圧力の圧力差により
充分な流量が確保され、ロータを内蔵するハウジングの
温度を安定で且つ適当な温度に保ちながら、各ポンプ区
分のハウジングの外周部に設けられた外周気体流路を通
り、各ポンプ区分と前段のポンプ区分を仕切る仕切壁の
連通口を経て、前段のポンプ区分の外周気体流路からハ
ウジング内部へ流入し、前段の吸込口から吸い込まれた
気体の温度の上昇を低く抑えながら圧縮し、吐出口から
吐き出される。以上のｆｊ用が各ポンプ区分において順
次行われる。
本発明の一実施例として、第１ポンプ区分１、第二ポン
プ区分４、第３ポンプ区分７．３持つ逆流冷却式３段ル
ーツ型真空ポンプの構成図が第１図に示されている。第
２図は、第１図に示されるポンプ本体の■−■断面図で
あり、第３図は、■−■断面図、第４図は、■−■断面
図、第５図は、Ｖ−■断面図、第６図は、■−Ｖ＋断面
図、第７図は、■−■断面図である。
プ区分４、第３ポンプ区分７．３持つ逆流冷却式３段ル
ーツ型真空ポンプの構成図が第１図に示されている。第
２図は、第１図に示されるポンプ本体の■−■断面図で
あり、第３図は、■−■断面図、第４図は、■−■断面
図、第５図は、Ｖ−■断面図、第６図は、■−Ｖ＋断面
図、第７図は、■−■断面図である。
本ポンプ装置の構成について説明すると以下の通りであ
る。
る。
第１図において、隔壁２で第１ポンプ区分１と第２ポン
プ区分４に区切られ、隔壁５で第２ポンプ区分４と第３
ポンプ区分７に区切られており・、第２図において、第
１シヤフＩ・９１と第２シヤフト９２は、各ポンプ区分
を貫通して軸受ｔＲ構９４で支承され、タイミングギヤ
セット９３で互いに反対方向に回転するように組込まれ
ている。第１シヤフト９１は、軸封ｎ構９５を貫通し電
動機により駆動されることができる。また、第１図にお
いて、第１ポンプ区分１の吐出口１４と第２ポンプ区分
４の吸込口４３は、連結管ｉ？ｇ３１ 、３２で連結し
、連結管路３１ 、３２の間に冷却器３６を設ける。
プ区分４に区切られ、隔壁５で第２ポンプ区分４と第３
ポンプ区分７に区切られており・、第２図において、第
１シヤフＩ・９１と第２シヤフト９２は、各ポンプ区分
を貫通して軸受ｔＲ構９４で支承され、タイミングギヤ
セット９３で互いに反対方向に回転するように組込まれ
ている。第１シヤフト９１は、軸封ｎ構９５を貫通し電
動機により駆動されることができる。また、第１図にお
いて、第１ポンプ区分１の吐出口１４と第２ポンプ区分
４の吸込口４３は、連結管ｉ？ｇ３１ 、３２で連結し
、連結管路３１ 、３２の間に冷却器３６を設ける。
第２ポンプ区分４の吐出口４４と第３ポンプ区分７の吸
込ロア３は、連結管路６１と６２で連結し、連結管路６
１と６２の間に冷却器６６を設ける。
込ロア３は、連結管路６１と６２で連結し、連結管路６
１と６２の間に冷却器６６を設ける。
第３ポンプ区分７の吐出ロア４に吐出管路８１と８２を
連結し、吐出管路８１と８２の間に冷却器８５を設け、
吐出管路８２から分岐し第３ポンプ区分７のハウジング
７１に連結する逆流配管８３゜８４が設けられる。
連結し、吐出管路８１と８２の間に冷却器８５を設け、
吐出管路８２から分岐し第３ポンプ区分７のハウジング
７１に連結する逆流配管８３゜８４が設けられる。
各ポンプ区分の構造について説明すると以下の通りであ
る。
る。
第３図において、第１ポンプ区分１は、吸込口１３と吐
出口１４と逆流冷却用気体の流入口１５Ａ。
出口１４と逆流冷却用気体の流入口１５Ａ。
１５Ｂを有し、外周部に吸込口１３と連通ずる外周気体
流路１６Ａ 、 １６Ｂと逆流冷却用気体の流入口１５
Ａ 、 １５Ｂにそれぞれ連通する外周気体流路１７Ａ
。
流路１６Ａ 、 １６Ｂと逆流冷却用気体の流入口１５
Ａ 、 １５Ｂにそれぞれ連通する外周気体流路１７Ａ
。
１７Ｂを有し、外周気体流路１６Ａ 、 １６Ｂと１７
Ａ。
Ａ。
１７Ｂの間には隔壁１８Ａ 、 １８Ｂを有するハウジ
ング１１と一対の軸９１ 、９２に支承されるロータ１
２がら成る。
ング１１と一対の軸９１ 、９２に支承されるロータ１
２がら成る。
第５図において、第２ポンプ区分４は、吸込口４３と吐
出口４４と逆流冷却用気体の流入口４５Ａ。
出口４４と逆流冷却用気体の流入口４５Ａ。
４５Ｂを有し、外周部に吸込口４３と連通ずる外周気体
流路４６Ａ 、 ４６Ｂと逆流冷却用気体の流入口４５
Ａ 、 ４５Ｂにそれぞれ連通する外周気体流路４７Ａ
。
流路４６Ａ 、 ４６Ｂと逆流冷却用気体の流入口４５
Ａ 、 ４５Ｂにそれぞれ連通する外周気体流路４７Ａ
。
４７Ｂを有し、外周気体流路４６Ａ 、 ４６Ｂと４７
Ａ。
Ａ。
４７Ｂの間には隔壁４８Ａ 、 ４８Ｂを有するハウジ
ング４１と一対の軸９１ 、９２に支承されるロータ４
２がら成る。
ング４１と一対の軸９１ 、９２に支承されるロータ４
２がら成る。
第７図において、第３ポンプ区分７は、吸込ロア３と吐
出ロア４と逆流冷却用気体の流入ロア５Ａ。
出ロア４と逆流冷却用気体の流入ロア５Ａ。
７５Ｂを有し、外周部に吸込ロア３と連通ずる外周気体
流路７８Ａ、７６Ｂと逆流冷却用気体の流入ロア５Ａ
、 ７５Ｂにそれぞれ連通する外周気体流路７７Ａ。
流路７８Ａ、７６Ｂと逆流冷却用気体の流入ロア５Ａ
、 ７５Ｂにそれぞれ連通する外周気体流路７７Ａ。
７７Ｂを有し、外周気体流路７６Ａ、７６Ｂと７７Ａ。
７７Ｂの間には隔壁７８Ａ、７８Ｂを有し、また外周気
体流路７７Ａ 、 ７７Ｂの外壁には逆流冷却用気体流
入ロア９Ａ 、 ７９Ｂを有するハウジング７１と一対
の軸９１ 、９２に支承されるロータ７２がら成る。
体流路７７Ａ 、 ７７Ｂの外壁には逆流冷却用気体流
入ロア９Ａ 、 ７９Ｂを有するハウジング７１と一対
の軸９１ 、９２に支承されるロータ７２がら成る。
各仕切壁について説明すると下記の通りである。
第４図において、第１・第２ポンプ区分間の仕切壁２は
、第２ポンプ区分４のハウジング４１の外周気体流路４
６Ａ 、 ４６Ｂと第１ポンプ区分１のハウジングの外
周気体流路１７Ａ 、 １７Ｂを連通ずる仕切壁の連通
口２１Ａ 、 ２１Ｂを有する。
、第２ポンプ区分４のハウジング４１の外周気体流路４
６Ａ 、 ４６Ｂと第１ポンプ区分１のハウジングの外
周気体流路１７Ａ 、 １７Ｂを連通ずる仕切壁の連通
口２１Ａ 、 ２１Ｂを有する。
第６図において、第２、第３ポンプ区分間の仕切壁５は
、第３ポンプ区分のハウジング７１の外周気体流路７６
Ａ 、 ７６Ｂと第２ポンプ区分４のハウジング４１の
外周気体流路４７Ａ 、 ４７Ｂを連通ずる仕切壁の連
通口５１Ａ、５１Ｂを有する。
、第３ポンプ区分のハウジング７１の外周気体流路７６
Ａ 、 ７６Ｂと第２ポンプ区分４のハウジング４１の
外周気体流路４７Ａ 、 ４７Ｂを連通ずる仕切壁の連
通口５１Ａ、５１Ｂを有する。
本ポンプ装置の動作を第１図〜第７国を用いて説明する
と下記の通りである。
と下記の通りである。
第１ポンプ区分１において、第１図及び第３図に示すよ
うに、気体は、吸込口１３から吸込気体Ｇ１３として吸
込まれ、ロータ１２ 、１２の動作にもとづき移送され
るが、このとき該気体は外周気体流路１７Ａ 、 １７
Ｂを通り逆流冷却用気体の流入口１５Ａ。
うに、気体は、吸込口１３から吸込気体Ｇ１３として吸
込まれ、ロータ１２ 、１２の動作にもとづき移送され
るが、このとき該気体は外周気体流路１７Ａ 、 １７
Ｂを通り逆流冷却用気体の流入口１５Ａ。
１５Ｂからハウジング１１の内部に流入する第２ポンプ
区分からの逆流冷却用気体ＲＩＡ 、ＲＩＢにより逆流
圧縮され、吐出口１４から吐出気体Ｇ１４として吐出さ
れる。該吐出された気体は連結管路３１を通って冷却器
３６に入り、安定で且つ適切な温度に冷却され連結管路
３２を通って第２ポンプ区分４の吸込口４３から吸込気
体Ｇ４３として吸込まれる。
区分からの逆流冷却用気体ＲＩＡ 、ＲＩＢにより逆流
圧縮され、吐出口１４から吐出気体Ｇ１４として吐出さ
れる。該吐出された気体は連結管路３１を通って冷却器
３６に入り、安定で且つ適切な温度に冷却され連結管路
３２を通って第２ポンプ区分４の吸込口４３から吸込気
体Ｇ４３として吸込まれる。
第２ポンプ区分４において、第１図及び第５図に示すよ
うに、吸込気体Ｇ４３は、吸込口４３で第２ポンプ区分
４で圧縮される気体Ｇ４２と第１ボンプ区分ｌへ転送さ
れる逆流冷却用気体ＲＩＡ 。
うに、吸込気体Ｇ４３は、吸込口４３で第２ポンプ区分
４で圧縮される気体Ｇ４２と第１ボンプ区分ｌへ転送さ
れる逆流冷却用気体ＲＩＡ 。
ＲＩＢとに分れる。
第２ポンプ区分で圧縮される気体Ｇ４２は、ロータ４２
、４２の動作にもとづき移送されるが、このとき該気
体は外周気体流路４７Ａ 、 ４７Ｂを通り逆流冷却用
気体の流入口４５Ａ 、 ４５Ｂからハウジング４１の
内部に流入する第３ポンプ区分からの逆流冷却用気体Ｒ
４Ａ、Ｒ４Ｂにより逆流圧縮され、吐出０４４からの吐
出気＃Ｇ４４として吐出される。該吐出された気体は連
結管路６１を通って冷却器６６に入り、安定で且つ適切
な温度に冷却され、連結管路６２を通って第３ポンプ区
分７の吸込ロア３から吸込気体Ｇ７３として吸込まれる
。
、４２の動作にもとづき移送されるが、このとき該気
体は外周気体流路４７Ａ 、 ４７Ｂを通り逆流冷却用
気体の流入口４５Ａ 、 ４５Ｂからハウジング４１の
内部に流入する第３ポンプ区分からの逆流冷却用気体Ｒ
４Ａ、Ｒ４Ｂにより逆流圧縮され、吐出０４４からの吐
出気＃Ｇ４４として吐出される。該吐出された気体は連
結管路６１を通って冷却器６６に入り、安定で且つ適切
な温度に冷却され、連結管路６２を通って第３ポンプ区
分７の吸込ロア３から吸込気体Ｇ７３として吸込まれる
。
他方、逆流冷却用気体ＲＩＡ、ＲＩＢは、ロータを内蔵
するハウジングの温度を安定で且つ適切な温度に保ちな
がら第２ポンプ区分４の外周気体流路４６Ａ 、 ４６
Ｂを通り、第４図に示す第１・第２ポンプ区分間の仕切
壁２の連通口２１Ａ、２１Ｂを経て、第３図に示す第１
ポンプ区分１の外周気体流ＦＩ？ｆ１７Ａ 、 １７Ｂ
に到り、逆流冷却用気体の流入口１５Ａ 、 １５Ｂか
ら第１ポンプ区分のハウジング１１の内部に流入し、吸
込気体Ｇ１３を温度の上昇を低く抑えながら逆流圧縮し
吐出気体Ｇ１４として吐出される。
するハウジングの温度を安定で且つ適切な温度に保ちな
がら第２ポンプ区分４の外周気体流路４６Ａ 、 ４６
Ｂを通り、第４図に示す第１・第２ポンプ区分間の仕切
壁２の連通口２１Ａ、２１Ｂを経て、第３図に示す第１
ポンプ区分１の外周気体流ＦＩ？ｆ１７Ａ 、 １７Ｂ
に到り、逆流冷却用気体の流入口１５Ａ 、 １５Ｂか
ら第１ポンプ区分のハウジング１１の内部に流入し、吸
込気体Ｇ１３を温度の上昇を低く抑えながら逆流圧縮し
吐出気体Ｇ１４として吐出される。
第３ポンプ区分７において、第１図及び第７図に示すよ
うに、吸込気体Ｇ７３は、吸込ロア３で第３ポンプ区分
７で圧縮される気体Ｇ７２と第２ポンプ区分４へ転送さ
れる逆流冷却用気体Ｒ４Ａ 。
うに、吸込気体Ｇ７３は、吸込ロア３で第３ポンプ区分
７で圧縮される気体Ｇ７２と第２ポンプ区分４へ転送さ
れる逆流冷却用気体Ｒ４Ａ 。
Ｒ４Ｂとに分れる。
第３ポンプ区分で圧縮される気体Ｇ７２は、ロータ７２
、７２の動作にもとづき移送されるが、このとき該気
体は外周気体流路７７Ａ 、 ７７Ｂを通り逆流冷却用
気体の流入ロア５Ａ 、 ７５Ｂからハウジング７１の
内部に流入する吐出管路からの逆流冷却用気体Ｒ７Ａ
、Ｒ７Ｂにより逆流圧縮され、吐出ロア４からの吐出気
体Ｇ７４として吐出される。該吐出された気体は連結管
路８１を通って冷却器８５に入り、安定で且つ適切な温
度に冷却され、吐出口管路８２を通って一部は、外気に
吐出され、一部は、吐出口管路８２から分岐された逆流
管路８３ 、８４へ流入する。逆流管路へ流入した気体
Ｒ７Ａ 、 Ｒ７Ｂは第３ポンプ区分７の外周気体流路
への流入ロア９Ａ。
、７２の動作にもとづき移送されるが、このとき該気
体は外周気体流路７７Ａ 、 ７７Ｂを通り逆流冷却用
気体の流入ロア５Ａ 、 ７５Ｂからハウジング７１の
内部に流入する吐出管路からの逆流冷却用気体Ｒ７Ａ
、Ｒ７Ｂにより逆流圧縮され、吐出ロア４からの吐出気
体Ｇ７４として吐出される。該吐出された気体は連結管
路８１を通って冷却器８５に入り、安定で且つ適切な温
度に冷却され、吐出口管路８２を通って一部は、外気に
吐出され、一部は、吐出口管路８２から分岐された逆流
管路８３ 、８４へ流入する。逆流管路へ流入した気体
Ｒ７Ａ 、 Ｒ７Ｂは第３ポンプ区分７の外周気体流路
への流入ロア９Ａ。
７９Ｂを通って外周気体流路７７Ａ 、 ７７Ｂに入り
ハウジングの温度を安定で且つ適当な温度に保ちながら
逆流冷却用気体の流入ロア５Ａ 、 ７５Ｂを経て第３
ポンプ区分７のハウジング７１の内部に流入する。
ハウジングの温度を安定で且つ適当な温度に保ちながら
逆流冷却用気体の流入ロア５Ａ 、 ７５Ｂを経て第３
ポンプ区分７のハウジング７１の内部に流入する。
該流入した気体は第３ポンプ区分７で圧縮される気体Ｇ
７２を温度の上昇を低く抑えながら逆流圧縮し、吐出気
体Ｇ７４として吐出される。
７２を温度の上昇を低く抑えながら逆流圧縮し、吐出気
体Ｇ７４として吐出される。
他方、逆流冷却用気体Ｒ４Ａ、Ｒ４Ｂは、ハウジング内
２度を安定て且つ適切な温度に保ちながら第３ポンプ区
分７の外周気体流路７６Ａ、７６Ｂを通り、第６図に示
す第２・第３ポンプ区分間の仕切壁５の連通口５１Ａ、
５１Ｂを経て、第５図に示す第２ポンプ区分４の外周気
体流路４７Ａ 、 ４７Ｂに到り逆流冷却用気体の流入
口４５Ａ 、 ４５Ｂから第２ポンプ区分４のハウジン
グ４１の内部に流入し第２ポンプ区分４で圧縮される気
体Ｇ４２を温度の上昇を低く抑えながら逆流圧縮し吐出
気体Ｇ４４として吐出される。
２度を安定て且つ適切な温度に保ちながら第３ポンプ区
分７の外周気体流路７６Ａ、７６Ｂを通り、第６図に示
す第２・第３ポンプ区分間の仕切壁５の連通口５１Ａ、
５１Ｂを経て、第５図に示す第２ポンプ区分４の外周気
体流路４７Ａ 、 ４７Ｂに到り逆流冷却用気体の流入
口４５Ａ 、 ４５Ｂから第２ポンプ区分４のハウジン
グ４１の内部に流入し第２ポンプ区分４で圧縮される気
体Ｇ４２を温度の上昇を低く抑えながら逆流圧縮し吐出
気体Ｇ４４として吐出される。
このように、本発明による逆流冷却式多段ルーツ型真空
ポンプにおいては、各ポンプ区分の吸込口から吸い込ま
れた気体は、吸込口において、各ポンプ区分で圧縮され
る気体と前段のポンプ区分へ転送される逆流冷却用気体
とに分れる。
ポンプにおいては、各ポンプ区分の吸込口から吸い込ま
れた気体は、吸込口において、各ポンプ区分で圧縮され
る気体と前段のポンプ区分へ転送される逆流冷却用気体
とに分れる。
この分れた気体のうち各ポンプ区分で圧縮される気体は
、外周気体流路を通り逆流冷却用気体の流入口から各ポ
ンプ区分のハウジング内に流入する次段のポンプ区分か
らの逆流冷却用気体により逆流圧縮され、吐出口から吐
出される。吐出された気体は、連結管路を通り冷却器に
入り、安定で且つ適切な温度に冷却され、連結管路を通
って次段のポンプ区分の吸込口から吸込まれる。他方、
該分れた気体のうち、前段のポンプ区分へ転送される逆
流冷却用気体は、前段のポンプ区分の吸込圧力と吐出圧
力の圧力差により充分な流量が確保され、ロータを内蔵
するハウジングの温度を安定で且つ適切な温度に保ちな
がら、各ポンプ区分のハウジングの外周部に設けられた
外周気体流路を通り、各ポンプ区分と前段のポンプ区分
を仕切る仕切壁の連通口を経て、前段のポンプ区分の外
周気体流路からハウジング内部へ流入し、前段の吸込口
から吸い込まれた気体の温度の上昇を低く抑えながら逆
流圧縮し、吐出口から吐出される。以上の作用が各ポン
プ区分において順次行われる９〔発明の効果〕 本発明によれば、高圧縮比状態で運転され、運転時の温
度が比鮫的高温となる、逆流冷却式多段ルーツ型真空ポ
ンプにおいて、各ポンプ区分の吸込圧力と吐出圧力の圧
力差により充分な流量が確保され、冷却器により安定で
且つ適当な温度に冷却された逆流冷却用気体を各ポンプ
区分のハウジングの外周部に設けられた外周気体流路と
仕切壁の連通口を通してハウジングの内部に流入させる
ことにより、ポンプ運転時のハウジングの温度をポンプ
周囲温度の変化にかかわらず安定に保つことが可能とな
る。このため、ポンプ周囲温度の変化によるハウジング
の熱膨張量の変化量が小さく抑えられ、運転中のポンプ
におけるロータの外周及び両側面とハウジング間の隙間
の変化量な少なくすることが可能となる。その結果、ロ
ータとハウジングの接触を引き起すことなしに、隙間を
より微少に設定することが可能となり、この隙間を通し
て漏れる気体の量を減少させることが可能となり、逆流
冷却式多段ルーツ型真空ポンプとしての性能が向上する
。
、外周気体流路を通り逆流冷却用気体の流入口から各ポ
ンプ区分のハウジング内に流入する次段のポンプ区分か
らの逆流冷却用気体により逆流圧縮され、吐出口から吐
出される。吐出された気体は、連結管路を通り冷却器に
入り、安定で且つ適切な温度に冷却され、連結管路を通
って次段のポンプ区分の吸込口から吸込まれる。他方、
該分れた気体のうち、前段のポンプ区分へ転送される逆
流冷却用気体は、前段のポンプ区分の吸込圧力と吐出圧
力の圧力差により充分な流量が確保され、ロータを内蔵
するハウジングの温度を安定で且つ適切な温度に保ちな
がら、各ポンプ区分のハウジングの外周部に設けられた
外周気体流路を通り、各ポンプ区分と前段のポンプ区分
を仕切る仕切壁の連通口を経て、前段のポンプ区分の外
周気体流路からハウジング内部へ流入し、前段の吸込口
から吸い込まれた気体の温度の上昇を低く抑えながら逆
流圧縮し、吐出口から吐出される。以上の作用が各ポン
プ区分において順次行われる９〔発明の効果〕 本発明によれば、高圧縮比状態で運転され、運転時の温
度が比鮫的高温となる、逆流冷却式多段ルーツ型真空ポ
ンプにおいて、各ポンプ区分の吸込圧力と吐出圧力の圧
力差により充分な流量が確保され、冷却器により安定で
且つ適当な温度に冷却された逆流冷却用気体を各ポンプ
区分のハウジングの外周部に設けられた外周気体流路と
仕切壁の連通口を通してハウジングの内部に流入させる
ことにより、ポンプ運転時のハウジングの温度をポンプ
周囲温度の変化にかかわらず安定に保つことが可能とな
る。このため、ポンプ周囲温度の変化によるハウジング
の熱膨張量の変化量が小さく抑えられ、運転中のポンプ
におけるロータの外周及び両側面とハウジング間の隙間
の変化量な少なくすることが可能となる。その結果、ロ
ータとハウジングの接触を引き起すことなしに、隙間を
より微少に設定することが可能となり、この隙間を通し
て漏れる気体の量を減少させることが可能となり、逆流
冷却式多段ルーツ型真空ポンプとしての性能が向上する
。
また本発明によれば、外部配管としてなされていた逆流
配管が不要となることから、ポンプの小型化、配管製作
費の低減が可能となり、また外周気体流路を有するハウ
ジングを鋳物製とすることができるため、逆流管路が板
厚の比較的薄い可撓管等の配管材料により製作されて騒
音発生源の一つとなっていた場合に比して騒音発生量が
少なく、ポンプの騒音低減が可能である。
配管が不要となることから、ポンプの小型化、配管製作
費の低減が可能となり、また外周気体流路を有するハウ
ジングを鋳物製とすることができるため、逆流管路が板
厚の比較的薄い可撓管等の配管材料により製作されて騒
音発生源の一つとなっていた場合に比して騒音発生量が
少なく、ポンプの騒音低減が可能である。
第１図は、本発明の一実施例として逆流冷却式３段ルー
ツ型真空ポンプの構成図、第２図は、第１図に示される
ポンプ本体の■−■断面図であり、第３図は、■−■断
面図、第４図は、ＩＶ−ＩＶ断面図、第５図は、Ｖ−■
断面図、第６図は、ＶＩ−ＶＩ断面図、第７図は、■−
■断面図、であり、第８図及び第９図は、従来のルーツ
型真空ポンプの一実施例、第１０図は、従来の逆流冷却
式多段ルーツ型真空ポンプの一実施例として３段ルーツ
型真空ポンプの概要図、を示したものである。 〔符号の説明〕 １・・・第１ポンプ区分、 １１・・・ハウジング、
１２・・・ロータ、 １３・・・吸込口、１
４・・・吐出口、 １５Ａ 、 １５Ｂ・・・逆流冷却用気体の流入口、１
６Ａ 、 １６Ｂ・・・吸込口に連通ずる外周気体流路
、１７Ａ 、 １７Ｂ・・・逆流冷却用気体の流入口に
連通ずる外周気体流路、 １８Ａ 、 １８Ｂ・・・外周気体流路の隔壁、２・・
・第１・第２ポンプ区分間仕切壁、２１Ａ、２１Ｂ・・
・仕切壁の連通口、３・・・第１・第２ボン１区分闇管
路、３１ 、３２・・・連結管路、 ３６・・・冷却器、 ４・・・第２ポンプ区分、４
１・・・ハウジング、 ４２・・・ロータ、４３・・・
吸込口、 ４４・・・吐出口、 ４５Ａ 、 ４５Ｂ・・・逆流冷却用気体の流入口、４
６Ａ 、 ４６Ｂ・・・吸込口に連通ずる外周気体流路
、４７Ａ 、 ４７Ｂ・・・逆流冷却用気体の流入口に
連通ずる外周気体流路、 ４８Ａ 、 ４８Ｂ・・・外周気体流路の隔壁、５・・
・第２・第３ポンプ区分間仕切壁、５１Ａ、５１Ｂ・・
・仕切壁の連通口、６・・・第２・第３ポンプ区分間管
路、６１ 、６２・・・連結管路、 ６６・・・冷
却器、７・・・第３ポンプ区分、 ７１・・・ハウジ
ング、７２・・・ロータ、 ７３・・・吸込
口、７４・・・吐出口、 ４５Ａ 、 ４５Ｂ・・・逆流冷却用気体の流入口、４
６Ａ 、 ４６Ｂ・・・吸込口に連通ずる外周気体流路
、４７Ａ 、 ４７Ｂ・・・逆流冷却用気体の流入口に
連通ずる外周気体流路、 ４８Ａ 、 ４８Ｂ・・・外周気体流路の隔壁、７９Ａ
、 ７９Ｂ・・・外周気体流路への逆流冷却用気体の
流入口、 ８・・・第３ポンプ区分吐出管路、 ８１ 、８２・・・吐出管路、 ８３・・・逆流管
路、８５・・・冷却器、 ９１・・・第１シヤ
フト、９２・・・第２シヤフト、 ９３・・・タイミングギヤセット、 ９４・・・軸受機構、 ９５・・・軸封機構、
Ｇ１３・・・第１ポンプ区分の吸込気体、Ｇ１４・・・
第１ポンプ区分の吐出気体、Ｇ４２・・・第２ポンプ区
分で圧縮される気体、Ｇ４３・・・第２ポンプ区分の吸
込気体、Ｇ４４・・・第２ポンプ区分の吐出気体、Ｇ７
２・・・第３ポンプ区分で圧縮される気体、Ｇ７３・・
・第３ポンプ区分の吸込気体、Ｇ７４・・・第３ポンプ
区分の吐出気体、ＲＩＡ、ＲＩＢ・・・第１ポンプ区分
へ流入する逆流冷却用気体、 Ｒ４Ａ、Ｒ４Ｂ・・・第２ポンプ区分へ流入する逆流冷
却用気体、 Ｒ７Ａ、Ｒ７Ｂ・・・第３ポンプ区分へ流入する逆流冷
却用気体、 １０１・・・ハウジング、 １１１・・・吸込口、１
１２・・・吐出口、 １０２・・・ロータ、１０
３・・・ジャケット、 １３１・・・ジャケットの開放口、 １０４・・・外部配管、 ２０１・・・第１ポンプ
区分、２１３・・・吸込口、 ２１４・・・吐出
口、２０３・・・第１・第２ポンプ区分間管路、２３１
、２３２ 、２３３・・・連結管路、２３４ 、２３
５・・・逆流管路、 ２３６・・・冷却器、 ２０４・・・第２ポンプ
区分、２４３・・・吸込口、 ２４４・・・吐出
口、２０６・・・第２・第３ポンプ区分間管路、２６１
、２６２ 、２６３・・・連結管路、２６４、．２６
５・・・逆流管路、 ２６６・・・冷却器、 ２０７・・・第３ポンプ
区分、２７３・・・吸込口、 ２７４・・・吐出
口、２０８・・・第３ポンプ区分間吐出管路、２８１
、２８２・・・吐出管路、 ２８３ 、２８４・・・逆流管路、 ２８５・・・冷却器。
ツ型真空ポンプの構成図、第２図は、第１図に示される
ポンプ本体の■−■断面図であり、第３図は、■−■断
面図、第４図は、ＩＶ−ＩＶ断面図、第５図は、Ｖ−■
断面図、第６図は、ＶＩ−ＶＩ断面図、第７図は、■−
■断面図、であり、第８図及び第９図は、従来のルーツ
型真空ポンプの一実施例、第１０図は、従来の逆流冷却
式多段ルーツ型真空ポンプの一実施例として３段ルーツ
型真空ポンプの概要図、を示したものである。 〔符号の説明〕 １・・・第１ポンプ区分、 １１・・・ハウジング、
１２・・・ロータ、 １３・・・吸込口、１
４・・・吐出口、 １５Ａ 、 １５Ｂ・・・逆流冷却用気体の流入口、１
６Ａ 、 １６Ｂ・・・吸込口に連通ずる外周気体流路
、１７Ａ 、 １７Ｂ・・・逆流冷却用気体の流入口に
連通ずる外周気体流路、 １８Ａ 、 １８Ｂ・・・外周気体流路の隔壁、２・・
・第１・第２ポンプ区分間仕切壁、２１Ａ、２１Ｂ・・
・仕切壁の連通口、３・・・第１・第２ボン１区分闇管
路、３１ 、３２・・・連結管路、 ３６・・・冷却器、 ４・・・第２ポンプ区分、４
１・・・ハウジング、 ４２・・・ロータ、４３・・・
吸込口、 ４４・・・吐出口、 ４５Ａ 、 ４５Ｂ・・・逆流冷却用気体の流入口、４
６Ａ 、 ４６Ｂ・・・吸込口に連通ずる外周気体流路
、４７Ａ 、 ４７Ｂ・・・逆流冷却用気体の流入口に
連通ずる外周気体流路、 ４８Ａ 、 ４８Ｂ・・・外周気体流路の隔壁、５・・
・第２・第３ポンプ区分間仕切壁、５１Ａ、５１Ｂ・・
・仕切壁の連通口、６・・・第２・第３ポンプ区分間管
路、６１ 、６２・・・連結管路、 ６６・・・冷
却器、７・・・第３ポンプ区分、 ７１・・・ハウジ
ング、７２・・・ロータ、 ７３・・・吸込
口、７４・・・吐出口、 ４５Ａ 、 ４５Ｂ・・・逆流冷却用気体の流入口、４
６Ａ 、 ４６Ｂ・・・吸込口に連通ずる外周気体流路
、４７Ａ 、 ４７Ｂ・・・逆流冷却用気体の流入口に
連通ずる外周気体流路、 ４８Ａ 、 ４８Ｂ・・・外周気体流路の隔壁、７９Ａ
、 ７９Ｂ・・・外周気体流路への逆流冷却用気体の
流入口、 ８・・・第３ポンプ区分吐出管路、 ８１ 、８２・・・吐出管路、 ８３・・・逆流管
路、８５・・・冷却器、 ９１・・・第１シヤ
フト、９２・・・第２シヤフト、 ９３・・・タイミングギヤセット、 ９４・・・軸受機構、 ９５・・・軸封機構、
Ｇ１３・・・第１ポンプ区分の吸込気体、Ｇ１４・・・
第１ポンプ区分の吐出気体、Ｇ４２・・・第２ポンプ区
分で圧縮される気体、Ｇ４３・・・第２ポンプ区分の吸
込気体、Ｇ４４・・・第２ポンプ区分の吐出気体、Ｇ７
２・・・第３ポンプ区分で圧縮される気体、Ｇ７３・・
・第３ポンプ区分の吸込気体、Ｇ７４・・・第３ポンプ
区分の吐出気体、ＲＩＡ、ＲＩＢ・・・第１ポンプ区分
へ流入する逆流冷却用気体、 Ｒ４Ａ、Ｒ４Ｂ・・・第２ポンプ区分へ流入する逆流冷
却用気体、 Ｒ７Ａ、Ｒ７Ｂ・・・第３ポンプ区分へ流入する逆流冷
却用気体、 １０１・・・ハウジング、 １１１・・・吸込口、１
１２・・・吐出口、 １０２・・・ロータ、１０
３・・・ジャケット、 １３１・・・ジャケットの開放口、 １０４・・・外部配管、 ２０１・・・第１ポンプ
区分、２１３・・・吸込口、 ２１４・・・吐出
口、２０３・・・第１・第２ポンプ区分間管路、２３１
、２３２ 、２３３・・・連結管路、２３４ 、２３
５・・・逆流管路、 ２３６・・・冷却器、 ２０４・・・第２ポンプ
区分、２４３・・・吸込口、 ２４４・・・吐出
口、２０６・・・第２・第３ポンプ区分間管路、２６１
、２６２ 、２６３・・・連結管路、２６４、．２６
５・・・逆流管路、 ２６６・・・冷却器、 ２０７・・・第３ポンプ
区分、２７３・・・吸込口、 ２７４・・・吐出
口、２０８・・・第３ポンプ区分間吐出管路、２８１
、２８２・・・吐出管路、 ２８３ 、２８４・・・逆流管路、 ２８５・・・冷却器。
Claims (1)
- ルーツ型真空ポンプが複数のポンプ区分により形成され
、各ポンプ区分に共通の２個の軸が設けられ、これらの
軸に支承されるロータが設けられ、各ポンプ区分を構成
しロータを内蔵するハウジングを有するケーシングには
、吸込口、吐出口が設けられ、該ハウジングの外周部に
は、吸込口に連通する外周気体流路と、ハウジング内部
に逆流冷却用気体を導く流入口に連通する外周気体流路
が設けられ、該外周気体流路の間には、隔壁が設けられ
、隣接する各ポンプ区分を仕切る仕切壁には、前段のポ
ンプ区分におけるハウジング内部に逆流冷却用気体を導
く流入口に連通する外周気体流路と、次段のポンプ区分
における吸込口に連通する外周気体流路、とを連通する
連通口が設けられ、各ポンプ区分の吐出口と次段のポン
プ区分の吸込口を連結する連結管路が設けられ、該連結
管路には冷却器が設けられていることを特徴とする内部
分流逆流冷却式多段ルーツ型真空ポンプ。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61300150A JPH0733834B2 (ja) | 1986-12-18 | 1986-12-18 | ロータ内蔵ハウジングの外周温度が安定化された内部分流逆流冷却多段式の三葉式真空ポンプ |
| DE8787305381T DE3767145D1 (de) | 1986-12-18 | 1987-06-17 | Mehrfach-roots-vakuumpumpe mit innenverteilter rueckstromkuehlung. |
| EP87305381A EP0272767B1 (en) | 1986-12-18 | 1987-06-17 | Multi-section roots vacuum pump of reverse flow cooling type with internal flow division arrangement |
| CA000540348A CA1292729C (en) | 1986-12-18 | 1987-06-23 | Multi-section roots vacuum pump of reverse flow cooling type with internal flow division arrangement |
| US07/065,409 US4789314A (en) | 1986-12-18 | 1987-06-23 | Multi-section roots vacuum pump of reverse flow cooling type with internal flow division arrangement |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61300150A JPH0733834B2 (ja) | 1986-12-18 | 1986-12-18 | ロータ内蔵ハウジングの外周温度が安定化された内部分流逆流冷却多段式の三葉式真空ポンプ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63154884A true JPS63154884A (ja) | 1988-06-28 |
| JPH0733834B2 JPH0733834B2 (ja) | 1995-04-12 |
Family
ID=17881346
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61300150A Expired - Fee Related JPH0733834B2 (ja) | 1986-12-18 | 1986-12-18 | ロータ内蔵ハウジングの外周温度が安定化された内部分流逆流冷却多段式の三葉式真空ポンプ |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4789314A (ja) |
| EP (1) | EP0272767B1 (ja) |
| JP (1) | JPH0733834B2 (ja) |
| CA (1) | CA1292729C (ja) |
| DE (1) | DE3767145D1 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010059872A (ja) * | 2008-09-04 | 2010-03-18 | Shinmaywa Industries Ltd | 多段ルーツ式流体機械 |
| KR101195984B1 (ko) | 2010-10-08 | 2012-10-30 | 디에이치엠(주) | 진공펌프 |
Families Citing this family (32)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0347706B1 (de) * | 1988-06-24 | 1992-04-15 | Siemens Aktiengesellschaft | Mehrstufiges Vakuumpumpenaggregat |
| JP2691168B2 (ja) * | 1988-09-05 | 1997-12-17 | 株式会社宇野澤組鐵工所 | 冷却水路を内蔵する逆流冷却式多段ロータリー形真空ポンプ |
| FR2638788B1 (fr) * | 1988-11-07 | 1994-01-28 | Alcatel Cit | Pompe a vide du type roots multietage |
| FR2638786B1 (fr) * | 1988-11-07 | 1990-12-07 | Cit Alcatel | Pompe roots multietagee et procede de montage d'une telle pompe |
| US5131817A (en) * | 1990-03-22 | 1992-07-21 | The Nash Engineering Company | Two-stage pumping system |
| EP0448750B1 (de) * | 1990-03-27 | 1996-05-01 | Leybold Aktiengesellschaft | Mehrstufige trockenverdichtende Vakuumpumpe und Verfahren zu ihrem Betrieb |
| JP2537696B2 (ja) * | 1990-09-21 | 1996-09-25 | 株式会社荏原製作所 | 多段真空ポンプ |
| DE4219268C2 (de) * | 1992-06-12 | 1994-06-09 | Ardenne Anlagentech Gmbh | Anordnung zur Vakuumerzeugung |
| US5209647A (en) * | 1992-06-17 | 1993-05-11 | Dresser-Rand Company | Straight cylinder gas compressor with a reduced diameter compression chamber |
| DE4233142A1 (de) * | 1992-10-02 | 1994-04-07 | Leybold Ag | Verfahren zum Betrieb einer Klauenvakuumpumpe und für die Durchführung dieses Betriebsverfahrens geeignete Klauenvakuumpumpe |
| DE4234169A1 (de) * | 1992-10-12 | 1994-04-14 | Leybold Ag | Verfahren zum Betrieb einer trockenverdichteten Vakuumpumpe sowie für dieses Betriebsverfahren geeignete Vakuumpumpe |
| CN2301559Y (zh) * | 1996-12-16 | 1998-12-23 | 山东省章丘鼓风机厂 | 一种用于罗茨鼓风机和泵的多叶型叶轮 |
| CN1094174C (zh) * | 1997-11-20 | 2002-11-13 | 山东省章丘鼓风机厂 | 带逆流装置的多叶型叶轮正（负）压罗茨风机结构 |
| US6123526A (en) * | 1998-09-18 | 2000-09-26 | Industrial Technology Research Institute | Multistage pump and method for assembling the pump |
| JP3758550B2 (ja) | 2001-10-24 | 2006-03-22 | アイシン精機株式会社 | 多段真空ポンプ |
| GB0310615D0 (en) * | 2003-05-08 | 2003-06-11 | Boc Group Plc | Improvements in seal assemblies |
| JP4218756B2 (ja) * | 2003-10-17 | 2009-02-04 | 株式会社荏原製作所 | 真空排気装置 |
| TWI237093B (en) * | 2003-10-23 | 2005-08-01 | Ind Tech Res Inst | Multi-staged vacuum pump |
| CN100416103C (zh) * | 2004-06-30 | 2008-09-03 | 海巴（巴拿马）鼓风机公司 | 高压罗茨鼓风机 |
| JP2007321655A (ja) * | 2006-06-01 | 2007-12-13 | Anlet Co Ltd | ルーツ式真空ポンプ |
| GB0620144D0 (en) * | 2006-10-11 | 2006-11-22 | Boc Group Plc | Vacuum pump |
| KR100773358B1 (ko) * | 2006-11-17 | 2007-11-05 | 삼성전자주식회사 | 유체 노즐을 갖는 진공펌프 및 배기 시스템 |
| GB2487376A (en) * | 2011-01-19 | 2012-07-25 | Edwards Ltd | Two material pump stator for corrosion resistance and thermal conductivity |
| JP5677202B2 (ja) * | 2011-06-02 | 2015-02-25 | 株式会社荏原製作所 | 真空ポンプ |
| US20140161655A1 (en) * | 2011-07-08 | 2014-06-12 | Edward L. Simonds | Pump |
| DE202011104491U1 (de) * | 2011-08-17 | 2012-11-20 | Oerlikon Leybold Vacuum Gmbh | Wälzkolbenpumpe |
| CN103104496A (zh) * | 2011-11-11 | 2013-05-15 | 中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司 | 一种真空泵水冷结构 |
| CN103511282B (zh) * | 2013-10-08 | 2016-03-30 | 杭州新安江工业泵有限公司 | 带转子冷却结构的罗茨泵 |
| US9574558B2 (en) * | 2014-03-14 | 2017-02-21 | Woodward, Inc. | High pressure gear pump with dual wall housing |
| CN104005954B (zh) * | 2014-06-20 | 2016-06-15 | 淄博景曜真空设备有限公司 | 一种立式罗茨干式真空泵 |
| CN116488365B (zh) * | 2023-04-13 | 2023-10-20 | 北京通嘉宏瑞科技有限公司 | 定子及其制作方法和真空泵 |
| CN119641640A (zh) * | 2025-02-20 | 2025-03-18 | 山东明天机械集团股份有限公司 | 一种冷却输送管道系统及双级罗茨风机逆流冷却方法 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US2489887A (en) * | 1946-07-11 | 1949-11-29 | Roots Connersville Blower Corp | Rotary pump |
| JPS5163506U (ja) * | 1974-11-15 | 1976-05-19 | ||
| JPS59115489A (ja) * | 1982-12-23 | 1984-07-03 | Unozawagumi Tekkosho:Kk | 逆流冷却式多段ル−ツ型真空ポンプ |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR541986A (fr) * | 1920-10-07 | 1922-08-04 | Dispositif destinés à assurer l'étanchéité du rotor des machines avec piston rotatif | |
| US2906448A (en) * | 1954-10-28 | 1959-09-29 | W C Heraus G M B H | Roots type vacuum pumps |
| US3535058A (en) * | 1969-01-02 | 1970-10-20 | Verbol J Devine | Method and apparatus for compressing a fluid |
| US3667874A (en) * | 1970-07-24 | 1972-06-06 | Cornell Aeronautical Labor Inc | Two-stage compressor having interengaging rotary members |
| JPS61197793A (ja) * | 1985-02-26 | 1986-09-02 | Ebara Corp | 多段複葉型真空ポンプにおける冷却方法 |
-
1986
- 1986-12-18 JP JP61300150A patent/JPH0733834B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1987
- 1987-06-17 EP EP87305381A patent/EP0272767B1/en not_active Expired
- 1987-06-17 DE DE8787305381T patent/DE3767145D1/de not_active Expired - Fee Related
- 1987-06-23 US US07/065,409 patent/US4789314A/en not_active Expired - Lifetime
- 1987-06-23 CA CA000540348A patent/CA1292729C/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US2489887A (en) * | 1946-07-11 | 1949-11-29 | Roots Connersville Blower Corp | Rotary pump |
| JPS5163506U (ja) * | 1974-11-15 | 1976-05-19 | ||
| JPS59115489A (ja) * | 1982-12-23 | 1984-07-03 | Unozawagumi Tekkosho:Kk | 逆流冷却式多段ル−ツ型真空ポンプ |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010059872A (ja) * | 2008-09-04 | 2010-03-18 | Shinmaywa Industries Ltd | 多段ルーツ式流体機械 |
| KR101195984B1 (ko) | 2010-10-08 | 2012-10-30 | 디에이치엠(주) | 진공펌프 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0733834B2 (ja) | 1995-04-12 |
| EP0272767B1 (en) | 1990-12-27 |
| DE3767145D1 (de) | 1991-02-07 |
| CA1292729C (en) | 1991-12-03 |
| EP0272767A3 (en) | 1988-09-21 |
| US4789314A (en) | 1988-12-06 |
| EP0272767A2 (en) | 1988-06-29 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS63154884A (ja) | 内部分流逆流冷却式多段ル−ツ型真空ポンプ | |
| JP2691168B2 (ja) | 冷却水路を内蔵する逆流冷却式多段ロータリー形真空ポンプ | |
| US3228587A (en) | Liquid-ring gas pumps | |
| JP4201522B2 (ja) | 多段ルーツポンプ | |
| JP4684301B2 (ja) | 改良された水噴射スクリュー圧縮機要素 | |
| JPH0658278A (ja) | 多段スクリュー式真空ポンプ | |
| US7722332B2 (en) | Composite dry vacuum pump having roots rotor and screw rotor | |
| JPS60216089A (ja) | スクリユ−真空ポンプ | |
| US5244352A (en) | Multi-stage vacuum pump installation | |
| US6659743B2 (en) | Scroll fluid machine having multistage compressing part | |
| JP2002130156A (ja) | 多段式流体圧縮部を備えたスクロール流体機械 | |
| CN111365254B (zh) | 用于优化内部空间的压缩机 | |
| GB1003961A (en) | Improvements in two stage screw rotor machines | |
| US5660535A (en) | Method of operating a claw-type vacuum pump and a claw-type vacuum pump suitable for carrying out the method | |
| US6530753B2 (en) | Screw compressor with a fluid contracting bypass | |
| JPS6217389A (ja) | 機械ポンプ | |
| US5743719A (en) | Oil-free scroll vacuum pump having a gas ballast part | |
| WO2004083643A1 (en) | Positive-displacement vacuum pump | |
| JP2003083273A (ja) | ドライ真空ポンプ | |
| JP3139183B2 (ja) | 排気再循環装置 | |
| JPS61152990A (ja) | スクリユ−真空ポンプ | |
| CN113757163B (zh) | 气悬浮压缩机的供气系统和制冷系统 | |
| EP1096110A1 (en) | Nozzle chamber warming-up structure for a steam turbine | |
| JPS61234290A (ja) | 多段スクリユ−真空ポンプ装置 | |
| JP2933352B2 (ja) | 多段ルーツ型真空ポンプ |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |