JPS63157938U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS63157938U JPS63157938U JP4892887U JP4892887U JPS63157938U JP S63157938 U JPS63157938 U JP S63157938U JP 4892887 U JP4892887 U JP 4892887U JP 4892887 U JP4892887 U JP 4892887U JP S63157938 U JPS63157938 U JP S63157938U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- wafer storage
- storage grooves
- push rod
- carrier
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000037431 insertion Effects 0.000 claims 1
- 238000003780 insertion Methods 0.000 claims 1
Landscapes
- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
- Pile Receivers (AREA)
- Sheets, Magazines, And Separation Thereof (AREA)
Description
第１図乃至第４図は本考案に係る一実施例を示
すもので、第１図は本考案装置の正面図、第２図
は同平面図、第３図はウエハキヤリアの斜視図、
第４図は同断面図である。 １……基台、２……第１のウエハキヤリア、２
ａ……第１のウエハ収納溝、３……第１の支持台
、４……長胴筒、５……押し棒、６……支持部材
、７……第２のウエハキヤリア、７ａ……第２の
ウエハ収納溝、８……短胴筒、９……第２の支持
台、Ａ……ウエハ。
すもので、第１図は本考案装置の正面図、第２図
は同平面図、第３図はウエハキヤリアの斜視図、
第４図は同断面図である。 １……基台、２……第１のウエハキヤリア、２
ａ……第１のウエハ収納溝、３……第１の支持台
、４……長胴筒、５……押し棒、６……支持部材
、７……第２のウエハキヤリア、７ａ……第２の
ウエハ収納溝、８……短胴筒、９……第２の支持
台、Ａ……ウエハ。
Claims (1)
- 複数の第１のウエハ収納溝を形成した第１のウ
エハキヤリアを第１の支持台上に載置し、前記第
１のウエハ収納溝に対向した押し棒を水平動自在
な支持部材に水平方向に突設し、前記第１のウエ
ハキヤリアと前記押し棒との間に、複数の第２の
ウエハ収納溝を形成すると共に、第２の支持台上
に載置した第２のウエハキヤリアを介装し、前記
第１のウエハ収納溝と前記第２のウエハ収納溝と
が個別に対向したことを特徴とするウエハ挿入・
取り出し装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4892887U JPS63157938U (ja) | 1987-04-02 | 1987-04-02 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4892887U JPS63157938U (ja) | 1987-04-02 | 1987-04-02 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63157938U true JPS63157938U (ja) | 1988-10-17 |
Family
ID=30870916
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4892887U Pending JPS63157938U (ja) | 1987-04-02 | 1987-04-02 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63157938U (ja) |
-
1987
- 1987-04-02 JP JP4892887U patent/JPS63157938U/ja active Pending
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