JPS63158792A - 電界発光素子 - Google Patents
電界発光素子Info
- Publication number
- JPS63158792A JPS63158792A JP61307031A JP30703186A JPS63158792A JP S63158792 A JPS63158792 A JP S63158792A JP 61307031 A JP61307031 A JP 61307031A JP 30703186 A JP30703186 A JP 30703186A JP S63158792 A JPS63158792 A JP S63158792A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electroluminescent device
- srs
- zns
- thin film
- layer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Electroluminescent Light Sources (AREA)
- Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、新規な構成を有する電界発光素子に関する。
情報表示デバイスに対する要請の急速な拡大と高速化に
より各種発光デバイスなかんずくカラー化された平面発
光表示デバイスに対する要求が強まっている。かかる表
示デバイスのうち、もっとも期待されているのはm、−
VIまたは■ゎ−V■化合物半導体を活性材料とした薄
膜電界発光素子(EL)である。現在の段階ではMuを
ドープしたlas薄膜を利用することによってオレンジ
色発光のデバイスは実用の段階に到達しているが、カラ
ー表示のために必要な赤色、緑色および青色発光のデバ
イスは輝度が不充分であるなどの理由から実用の段階に
距離がある状況である。
より各種発光デバイスなかんずくカラー化された平面発
光表示デバイスに対する要求が強まっている。かかる表
示デバイスのうち、もっとも期待されているのはm、−
VIまたは■ゎ−V■化合物半導体を活性材料とした薄
膜電界発光素子(EL)である。現在の段階ではMuを
ドープしたlas薄膜を利用することによってオレンジ
色発光のデバイスは実用の段階に到達しているが、カラ
ー表示のために必要な赤色、緑色および青色発光のデバ
イスは輝度が不充分であるなどの理由から実用の段階に
距離がある状況である。
周知のように、ELにおいては高電界によって増倍され
かつ加速された電子が薄膜半導体中の発光中心を衝突励
起し、発光に到らしめるもので、かかる効果を有効に生
起せしめるためには、半導体が同時に良好な電気的特性
すなわち層抵抗・高増倍特性を有するとともに、良好な
発光特性を有することが必要である。しかるにカラー化
のためには、希土類原子(RE)を活性剤として使用す
るのが有利であることが知られており、最近CaSある
いはSrS等のH,−VI化合物半導体にREを含有さ
せた薄膜ELにおいて発光輝度特性の向上が報告されて
いる。しかし現状で得られている輝度は実用上十分なも
のといえないのは前述の通りである。この原因はSrS
などH,−VI化合物半導体の電気的特性がZnSなど
と比較して不十分であることによることが見出された。
かつ加速された電子が薄膜半導体中の発光中心を衝突励
起し、発光に到らしめるもので、かかる効果を有効に生
起せしめるためには、半導体が同時に良好な電気的特性
すなわち層抵抗・高増倍特性を有するとともに、良好な
発光特性を有することが必要である。しかるにカラー化
のためには、希土類原子(RE)を活性剤として使用す
るのが有利であることが知られており、最近CaSある
いはSrS等のH,−VI化合物半導体にREを含有さ
せた薄膜ELにおいて発光輝度特性の向上が報告されて
いる。しかし現状で得られている輝度は実用上十分なも
のといえないのは前述の通りである。この原因はSrS
などH,−VI化合物半導体の電気的特性がZnSなど
と比較して不十分であることによることが見出された。
本発明の目的は、上記の知見にもとすき高輝度でカラー
表示が可能でしかも製作容易な薄膜電界発光素子を提供
することである。
表示が可能でしかも製作容易な薄膜電界発光素子を提供
することである。
本発明は、■ゎ−VIおよび1.−VI化合物半導体を
主要な活性材料とし、交流または直流電界の印加の下で
可視発光を生ぜしめる電界発光素子において、活性領域
をほぼ同一の厚さのZnS結晶層と3備あるいは2価の
希土類イオンを含有したSrSまたはCaS結晶層とを
交互に積層した構造としたことを特徴とする。
主要な活性材料とし、交流または直流電界の印加の下で
可視発光を生ぜしめる電界発光素子において、活性領域
をほぼ同一の厚さのZnS結晶層と3備あるいは2価の
希土類イオンを含有したSrSまたはCaS結晶層とを
交互に積層した構造としたことを特徴とする。
本発明は、電気的特性において優れているZnSと発光
特性において優れているSrSあるいはCaSのIl、
−Vl化合物半導体の両者を機能的に一体化せしめるこ
とにより、電子増倍作用はZoS結晶中で行われ、Sr
S結晶中に注入された高速に加速された電子がRE原子
の励起作用を行なうことにより、ELデバイス輝度の格
段の向上を可能としたものである。
特性において優れているSrSあるいはCaSのIl、
−Vl化合物半導体の両者を機能的に一体化せしめるこ
とにより、電子増倍作用はZoS結晶中で行われ、Sr
S結晶中に注入された高速に加速された電子がRE原子
の励起作用を行なうことにより、ELデバイス輝度の格
段の向上を可能としたものである。
本発明の主要な特徴ならびに利点を一層明らかにするた
め、以下1実施例について説明を行う。
め、以下1実施例について説明を行う。
第1図に示す如く、透明電極1を有する透明ガラス基板
2上に、たとえばY2O3の絶縁薄膜6を形成し、その
上に厚さ100人の高純度のZnSnS上厚さ100人
のRE原子、代表的には1%量のEuをドープしたSr
S膜4を周知の分子線エピタキシャル成長法(MBE法
)あるいは気相エピタキシャル成長法(VPE法)によ
って周期的に約10層程度積層せしめた後、絶縁薄膜6
を形成し、最後にheよりなる背面電極5を形成する。
2上に、たとえばY2O3の絶縁薄膜6を形成し、その
上に厚さ100人の高純度のZnSnS上厚さ100人
のRE原子、代表的には1%量のEuをドープしたSr
S膜4を周知の分子線エピタキシャル成長法(MBE法
)あるいは気相エピタキシャル成長法(VPE法)によ
って周期的に約10層程度積層せしめた後、絶縁薄膜6
を形成し、最後にheよりなる背面電極5を形成する。
この際最も外側の層はZnSとするのが防湿のためから
有利である。絶縁薄膜6の挿入は実用に十分な耐圧をあ
たえるためであり、必ずしも設けなくてもよい。
有利である。絶縁薄膜6の挿入は実用に十分な耐圧をあ
たえるためであり、必ずしも設けなくてもよい。
かかる方法によって製作されたELデバイスは単層のZ
nSまたはSrSから形成されたデバイスと比較して少
なくとも2倍以上の電気・光変換効率を有する。
nSまたはSrSから形成されたデバイスと比較して少
なくとも2倍以上の電気・光変換効率を有する。
同様にして他のRE原子、たとえばSob、Tb、Ce
。
。
TmをSrS結晶中に混入することによって、赤色。
緑色あるいは青色発光のELデバイスを得ることができ
る。はぼ同様な効果はSrSのかわりにCaSなど他の
m、−VIを材料として使用した場合にも実現される。
る。はぼ同様な効果はSrSのかわりにCaSなど他の
m、−VIを材料として使用した場合にも実現される。
かかる構造をとる際の利点は、積層数の多い方が有利で
あり、効果をもたらすためには最小限3層(ZnS層)
は必要である。また、各層の厚さが厚い場合は明確な積
層効果が得られず、更に全体の厚さを一定とした場合に
は積層数が少なくなる問題があり、各層の厚さは100
0Å以下にすることが好ましい。また、本発明において
はZnS層にも不純物が含有さ″れていてもよい。この
場合はZnS層及びIl、−VI化合物半導体層からの
発光の混色が得られる。
あり、効果をもたらすためには最小限3層(ZnS層)
は必要である。また、各層の厚さが厚い場合は明確な積
層効果が得られず、更に全体の厚さを一定とした場合に
は積層数が少なくなる問題があり、各層の厚さは100
0Å以下にすることが好ましい。また、本発明において
はZnS層にも不純物が含有さ″れていてもよい。この
場合はZnS層及びIl、−VI化合物半導体層からの
発光の混色が得られる。
このようにして形成された本発明によるELデバイスに
より電気・光変換効率の改善が可能となり固体デバイス
によるカラー・ディスプレイが実現可能となる。
より電気・光変換効率の改善が可能となり固体デバイス
によるカラー・ディスプレイが実現可能となる。
第1図は本発明の一実施例の電界発光素子の構造を示す
模式的断面図である。 1・・・透明電極、2・・・透明ガラス基板、3・・・
2nS膜、4・・・REを含有するSrS膜、5・・・
背面電極、6・・・v203絶縁薄膜。
模式的断面図である。 1・・・透明電極、2・・・透明ガラス基板、3・・・
2nS膜、4・・・REを含有するSrS膜、5・・・
背面電極、6・・・v203絶縁薄膜。
Claims (1)
- IIb−V I およびIIa−V I 化合物半導体を主要な
活性材料とし、交流または直流電界の印加の下で可視発
光を生ぜしめる電界発光素子において、活性領域をほぼ
同一の厚さのZnS結晶層と3備あるいは2価の希土類
イオンを含有したSrSまたはCaS結晶層とを交互に
積層した多層構造を有する電界発光素子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61307031A JPS63158792A (ja) | 1986-12-22 | 1986-12-22 | 電界発光素子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61307031A JPS63158792A (ja) | 1986-12-22 | 1986-12-22 | 電界発光素子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63158792A true JPS63158792A (ja) | 1988-07-01 |
Family
ID=17964200
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61307031A Pending JPS63158792A (ja) | 1986-12-22 | 1986-12-22 | 電界発光素子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63158792A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0451495A (ja) * | 1990-06-18 | 1992-02-19 | Komatsu Ltd | 薄膜el素子 |
| JPH04229989A (ja) * | 1990-07-18 | 1992-08-19 | Planar Internatl Oy Ltd | エレクトロルミネセントディスプレイコンポーネントのけい光体層 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61267298A (ja) * | 1985-05-20 | 1986-11-26 | 富士通株式会社 | エレクトロルミネセンス素子 |
| JPS6274986A (ja) * | 1985-09-30 | 1987-04-06 | Ricoh Co Ltd | 白色エレクトロルミネツセンス素子 |
-
1986
- 1986-12-22 JP JP61307031A patent/JPS63158792A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61267298A (ja) * | 1985-05-20 | 1986-11-26 | 富士通株式会社 | エレクトロルミネセンス素子 |
| JPS6274986A (ja) * | 1985-09-30 | 1987-04-06 | Ricoh Co Ltd | 白色エレクトロルミネツセンス素子 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0451495A (ja) * | 1990-06-18 | 1992-02-19 | Komatsu Ltd | 薄膜el素子 |
| JPH04229989A (ja) * | 1990-07-18 | 1992-08-19 | Planar Internatl Oy Ltd | エレクトロルミネセントディスプレイコンポーネントのけい光体層 |
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