JPS6316111Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 本考案は互いの対向端を中間リングを介してろ
う付けされた絶縁筒からなる真空スイツチバルブ
の前記中間リングの改良に関する。

第１図は従来の製造方法による真空機器の一例
である真空スイツチバルブを真空炉内に設置した
状態を示す側断面図である。

１は真空炉、２，３は絶縁筒、４，６は端蓋、
５はろう材、７は中間リング、８は支持金具、９
は中間シールド、１０はベローズ、１１はベロー
ズカバー、１２は可動電極棒、１３は固定電極
棒、１２ａ，１３ａは接点、１４は排気口、１５
は加熱ヒータである。

真空炉１内で真空スイツチバルブ（以下バルブ
と称す）の総合組立およびろう付けを行うに当つ
て、あらかじめろう付けまたは溶接しておく部品
としては、接点１２ａと可動電極棒１２、接点１
３ａと固定電極棒１３、ベローズ１０とベローズ
カバー１１、支持金具の一端に中間シールド９、
他端に中間リング７がある。このようにして溶接
またはろう付けが行われた構成部品は図示するご
とく真空炉１内で総合組立を行う。すなわち端蓋
６上にはろう材５を介してベローズカバー１１が
固着されている側を上部にしてベローズ１０を配
置し、さらにろう材５を介して可動電極棒１２を
ベローズカバー１１の中心部に設けられた可動電
極棒１２径より大きい孔に挿入する。なお可動電
極棒１２はベローズカバー１１の孔から抜け落ち
ないように所定の箇所でこの穴より大きくして異
径となつている。

つぎに絶縁筒３はろう材５を介して端蓋６上に
配設し、この絶縁筒３の上端はろう材５を介して
中間リング７を配設し、この中間リング７の上端
にはろう材５を介して絶縁筒２を配設する。さら
に絶縁筒２の上端にはろう材５を介して端蓋４を
配設する。この端蓋４の中心部に接点１３ａより
大きい孔が設けられており、この孔からろう材５
を介して接点１２ａと対向させるように固定電極
棒１３を上部から挿入して配設する。

以上のようにバルブの構成部品総合組立が完了
した後は、排気ポンプ（図示せず）によつて排気
口１４から排気させ、10^-4Torr以下の高真空に
排気させる。このように排気を続けながら真空炉
１内全体の温度を上昇させるために、真空炉１の
壁部に設置された加熱ヒータ１５の電源を入れ
る。その後各構成部品から脱ガスを十分行つた後
は極力短時間で、ろう付け温度まで上昇させて、
ろう付けを行つてバルブを製造していた。

しかしながらこのようなバルブの構造では、バ
ルブ内の排気系路として各構成部品を仮組立した
際、ろう材５を介してろう付けする部分の隙間か
ら排気さる方法しかなく、この部分に生ずる隙間
は非常に狭く、かつ、小さいため排気に対して長
時間を要していた。また一定容量の排気速度をも
つ大容量真空炉において、複数個のバルブを製造
する場合は一括して大容量真空炉内の真空度を測
定しているが、前記のようなバルブ構造ではろう
付けを行なう隙間がそれぞれ異つているため脱ガ
スの排気時間が一定でなく、バルブ製造経験上の
勘を頼りに時間設定を決定しなければならなかつ
た。その結果バルブの製品に真空度のバラツキが
生じ、品質管理上好ましい結果ではなかつた。

本考案は上述したような欠点を取り除くために
なされたもので、中間フランジの側面に排気のた
めの複数個の孔または長孔をあけて、この孔から
十分に脱ガス行つた後に、中間フランジ側面が絶
縁筒内面に沿つて入り込むように嵌合して排気時
間の短縮と真空度のバラツキを解消するようにし
た真空スイツチバルブを提供せんとするものであ
る。

第２図は本考案の一実施例で真空スイツチバル
ブを真空炉内に設置し、脱ガス中で排気用孔を開
いた状態を示す側断面図である。なお第２図およ
び第３図において本考案の説明に必要な部品のみ
符号を付し、他の部品は第１図の部品と同一また
は相当部分であるので符号を省略する。

８′は支持金具、９′は中間シールド、１５′は
加熱小ヒータ、１６は所定の位置に複数個の孔ま
たは長穴の排気用孔１７を有する中間フランジで
ある。

第２図において、第１図との相違点は支持金具
８′の一端に溶接する中間シールド９′の位置が、
この中間シールド９′の上側で溶接され、支持金
具８′の他端には中間フランジ１６が溶接され、
この中間フランジ１６の側面の所定位置には複数
個の孔または長孔の排気用孔１７が設けられてい
る。加熱小ヒータ１５′は加熱ヒータ１５のろう
付け範囲に比べ、中間フランジ１６部分に限定さ
れ、かつ、中間フランジ１６に近接して設置され
ている。したがつて絶縁筒３と中間フランジ１６
の嵌合とろう付けは脱ガス後実施されるのでこの
個所を除いた部分はあらかじめ中間組立がなされ
ている。

中間フランジ１６は絶縁筒３の内面に沿うよう
配置され、排気ポンプ（図示せず）によつて排気
口１４から排気されるとともに、本考案の中間フ
ランジ１６の側面に設けられた排気用孔１７から
脱ガスが行なわれるが、その後の工程は第３図に
より説明する。

第３図は本考案の一実施例で真空スイツチバル
ブを真空炉内に設置し、脱ガスが十分行われた
後、排気用孔を閉じた状態を示す側断面図であ
る。

真空炉１内部全体の温度を上昇させるためこの
真空炉１の壁部に設置した加熱ヒータ１５を入れ
つつ十分脱ガスを行つた後は、中間フランジ１６
の側面に設けられた排気用孔１７のある側面を絶
縁筒３の内面に沿つて降下さて嵌合する。その後
ろう付けを行うために加熱小ヒータ１５′の電源
が入り、絶縁筒３の上部にあらかじめ設置された
ろう材５が溶解してろう付けが完了する。

以上のように本考案は中間フランジの側面に排
気用孔を設け、この孔から脱ガスを行つた後、こ
の側面を絶縁筒内面に接するように中間フランジ
を嵌合して一対の絶縁筒の端部でろう付へを行つ
たものである。

なお、中間フランジの側面が絶縁筒の内面に接
するように嵌合して形成したことは、固定電極棒
の軸心に対し、可動電極棒の軸心が一直線上に並
ぶように偏心を生じさせないためである。

本考案の構造によれば、脱ガスに必要とす時間
が従来の構造よりも著しく短縮され、かつ、完全
にバルブ内の脱ガスができるようになつたので、
省エネ対策および品質管理の上で実用上の効果は
大である。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来の製造方法による真空機器の一例
である真空スイツチバルブを真空炉内に設置した
状態を示す側断面図、第２図は本考案の一実施例
で真空スイツチバルブを真空炉内に設置し、脱ガ
ス中で排気用孔を開いた状態を示す側断面図、第
３図は本考案の一実施例で真空スイツチバルブを
真空炉内に設置し、脱ガスが十分行われた後、排
気用孔を閉じた状態を示す側断面図である。 １……真空炉、２，３……絶縁筒、５……ろう
材、７……中間リング、８，８′……支持金具、
９，９′……中間シールド、１４……排気口、１
５……加熱ヒータ、１５′……加熱小ヒータ、１
６……中間フランジ、１７……排気用孔。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 互いの対向端を中間フランジを介してろう付け
   された一対の絶縁筒と、該絶縁筒内に収納される
   一対の電極棒と、該一対の電極棒の先端部にそれ
   ぞれ固着され、かつ、前記絶縁筒内で接離自在な
   接点と、該接点を包囲して前記絶縁筒内に収納さ
   れる中間シールドと、前記一対の電極棒の少なく
   とも一方がベローズを介して可動自在に前記絶縁
   筒内の端蓋に気密に貫通される真空スイツチバル
   ブにおいて、前記中間フランジの側面に排気用の
   孔をあけるとともに、その側面が前記絶縁筒内面
   に沿つて入り込むように嵌合させたことを特徴と
   する真空スイツチバルブ。