JPS63170934U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS63170934U JPS63170934U JP6332287U JP6332287U JPS63170934U JP S63170934 U JPS63170934 U JP S63170934U JP 6332287 U JP6332287 U JP 6332287U JP 6332287 U JP6332287 U JP 6332287U JP S63170934 U JPS63170934 U JP S63170934U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- resist
- spin coater
- rotating head
- suction fan
- dripped onto
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000003595 mist Substances 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Coating Apparatus (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例に係るスピンコータ
装置の外観斜視図、第２図はその要部の断面図、
第３図は本考案の他の実施例に係るスピンコータ
装置の外観斜視図、第４図は従来装置の説明図で
ある。 １，７……回転ヘツド、４，９……被塗体、５
，１０……吸引フアン、７……滴下ノズル。
装置の外観斜視図、第２図はその要部の断面図、
第３図は本考案の他の実施例に係るスピンコータ
装置の外観斜視図、第４図は従来装置の説明図で
ある。 １，７……回転ヘツド、４，９……被塗体、５
，１０……吸引フアン、７……滴下ノズル。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 回転ヘツドに水平面内で回転自在に取着される
被塗体上にレジスト滴下ノズルが配置され、該ノ
ズルより前記被塗体上に滴下されるレジストが前
記回転ヘツドの回転遠心力により該被塗体面上に
塗布されるスピンコータ装置において、 前記被塗体上に吸引フアンが対向配置され、該
吸引フアンの吸引力により前記被塗体上に滴下さ
れたレジストの霧散ミストが吸引排気されるよう
に構成されてなることを特徴とするスピンコータ
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6332287U JPS63170934U (ja) | 1987-04-24 | 1987-04-24 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6332287U JPS63170934U (ja) | 1987-04-24 | 1987-04-24 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63170934U true JPS63170934U (ja) | 1988-11-07 |
Family
ID=30898437
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6332287U Pending JPS63170934U (ja) | 1987-04-24 | 1987-04-24 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63170934U (ja) |
-
1987
- 1987-04-24 JP JP6332287U patent/JPS63170934U/ja active Pending
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS5965763U (ja) | 噴霧装置の回転型霧化頭 | |
| JPS63170934U (ja) | ||
| JPS63167727U (ja) | ||
| JPS62132776U (ja) | ||
| JPS605456U (ja) | 塗料飛散防止装置 | |
| JPS58124254U (ja) | 回転霧化静電塗装装置 | |
| JPH02118926U (ja) | ||
| JPS5897835U (ja) | スピンナコ−タ− | |
| JPH03119472U (ja) | ||
| JPH0161975U (ja) | ||
| JPS5847976Y2 (ja) | スピンナ−用治具 | |
| JPS61102261U (ja) | ||
| JPH049689U (ja) | ||
| JPH0399431U (ja) | ||
| JPH0212485U (ja) | ||
| JPH03109676U (ja) | ||
| JPS62131433U (ja) | ||
| JPH0322697U (ja) | ||
| JPS6191370U (ja) | ||
| JPS62164958U (ja) | ||
| JPS6428975U (ja) | ||
| JPS62118545U (ja) | ||
| JPH0167735U (ja) | ||
| JPS639129U (ja) | ||
| JPS5982577U (ja) | 回転式塗布装置 |