JPS63172902A

JPS63172902A - 金属箔の厚さ測定装置

Info

Publication number: JPS63172902A
Application number: JP547487A
Authority: JP
Inventors: Kenjiro Nishida; 西田　健二郎
Original assignee: Yokogawa Electric Corp
Current assignee: Yokogawa Electric Corp
Priority date: 1987-01-13
Filing date: 1987-01-13
Publication date: 1988-07-16

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〈産業上の利用分野〉本発明は、金Ｉｉｌ箔の厚さ測定手段の改良に関する。

〈従来技術〉第３図、第４図に基いて従来技術の一例を説明する。第
３図は接触式の厚さ測定の概念図であり、厚さｄを有す
る被測定金属箔１を、測定装置１Ｆ２の接触子２０１．
２０２で挟持し、一方の位置を基準とした他方の接触子
の移動距離を精密なスケール機能で読み取るものである
。

第４図の例は、対向配置された光学式の距離測定装置３
．４の間に被測定金属箔１を配置し、各測定装置から金
屑箔表面まで間距離Ｉｔ　、１２の測定値より厚さｄを
演Ωする。

・〈発明が解決しようとする問題点〉しかしながら、接触式の場合は、接触子の過加重により
金属箔を傷付けたり、その接触部分が折れ曲がったりす
る欠点がある。

また、光学式の場合は、金属箔が撓んだり歪んだりして
光の当るスポットが平らな面でない場合には測定誤差が
生ずる欠点がある。

本発明は従来技術のこの様な問題点を解消できる金属箔
の厚さ測定装置の提供を目的とする。

く問題点を解決するための手段〉本発明の構成上の特徴は、厚さ及び抵抗率が一様で幅方
向の距離が既知の矩形状金属箔の長手方向の一定距離を
隔てた２点間に一定電流を流す定電流手段と、上記２点
間の電位差を測定する電位差計手段と、上記定電流並び
に上記電位差測定値に基づいて上記金ａ箔の厚さを篩用
する演算手段とを具備せしめた点にある。

く作用〉本発明によれば、厚さが一様で幅が既知の矩形形金腐箔
の長手方向に一定距離を隔てて供給される定電流による
電位差が測定され、この測定値並びに既知のデータより
厚さが演算される。

ぐ実施例〉第１図に基いて本発明の詳細な説明する。被を有すると
共に、幅方向の距離Ｗ並びに抵抗率が既知の値を有する
。

５は被測定金属箔１を水平に載せて支持する絶縁材の支
持台であり、その両端のフック５０１゜５０２により金
属箔の両端部を挟持−して固定するど共に、金属箔をそ
の長手方向に弱い力で引っ張り、撓まないようにしてい
る。

６は一定電流■を発信する定電流源、７および８は探子
棒であり、金属箔表面の長手方向の一定距離！を隔てた
２点△、Ｂに接触して定電流■をＡ、８間に供給する。

９は電位差計であり、電流ＩによりＡ、８間に発生する
電位差ＶＡＢを測定するために、Ａ、Ｂ点よりは長手方
向外側の近傍点間の電位を入力づる。

次に第２図により本発明の詳細な説明する。

一般に電気抵抗と抵抗率は比例し、導体の抵抗は、導体
の長さに比例し、断面積に反比例する。従って、長さ！
、断面積Ｓ、抵抗率ρの導体の抵抗Ｒは次式で表される
。

Ｒ−ρ・ｌ／Ｓ　　　　　　　　　　　　　　（１）一
方、第２図に示す金属箔１において、Ａ、８間の電位差
がＶＡＢｓ電流が■とするとＡ、８間の抵抗ＲＡＢは、ＲＡａ＝Ｖａａ／Ｉ　　　　　　　　　　　（２）とな
る。また薄い金属箔を立方体と考えれば、その断面積Ｓ
は、金属箔の厚さを６１幅をＷとしたとき、Ｓ−ｄ−ｗ　　　　　　　　　　　　　　　　（３）で
ある。従って、（２）、（３）式を（１）式に代入する
ことにより、ｄ、＝ρ・！・■／■ＡＢ−Ｗ　　　　　　（４）を得
る。（４）式において、ρ、ｉ’、Ｉ、Ｗは上述したよ
うにすべて既知の値であるから、電位差ＶＡＢを測定す
ることにより（４）式の演算を実行すれば厚さｄを算出
することが可能である。

例として金属箔がアルミニウムの場合、抵抗率はρ−２
，７５Ｘ１０’　　Ω１）である。ここで、定電流をｌ
＝２．００μ　、Ａ、８間距離を１’　＝　７−５　ｃ
ｍ　１幅をｗ−７，５（１１１の場合の電位差がｉ、ｏ
ｏｘ　ｉｏ°３（■）であったとしたときの厚さｄは、
ｄ−５，５ｘ１０“Ｓ（ｍ）−５５，０（μｍ）となる
。

本発明は、厚さを求める目的のほか、厚さが既知で抵抗
率が未知の場合の抵抗率測定にも利用が可能である。す
なわら、（１）式、（４）式に基づいて抵抗率ρは、 ρ−ｄ−Ｗ−ｖＡＢ／ｌ・■　　　　　　　（５）とな
るので、抵抗率の測定も可能である。

なお、探子棒７．８の位置は、金属箔の両端部側一杯に
離すことも可能であり、要は！が正確に把握できれば目
的を達成することができる。

〈発明の効果〉以上説明したように、本発明によれば定電流源と電位差
計により金属箔の厚さを正確に演算測定することが可能
であり、従来技術の問題点を解消することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の実施例を示す構成図、第２図はその動
作説明図、第３図、第４図は従来技術の一例を示す構成
図である。１・・・被測定金属箔　　５・・・支持台　　６・・・
定電流源　　７．８・・・探子棒　　９・・・電位差計
　　１０・・・厚さ演算手段一一一一二、−

Claims

【特許請求の範囲】

厚さ及び抵抗率が一様で幅方向の距離が既知の矩形状金
属箔の長手方向の一定距離を隔てた２点間に一定電流を
流す定電流手段と、上記２点間の電位差を測定する電位
差計手段と、上記定電流並びに上記電位差測定値に基づ
いて上記金属箔の厚さを算出する演算手段とよりなる金
属箔の厚さ測定装置。