JPS63174878A - 精密研磨用研磨材 - Google Patents
精密研磨用研磨材Info
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- JPS63174878A JPS63174878A JP286487A JP286487A JPS63174878A JP S63174878 A JPS63174878 A JP S63174878A JP 286487 A JP286487 A JP 286487A JP 286487 A JP286487 A JP 286487A JP S63174878 A JPS63174878 A JP S63174878A
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- polishing
- layer
- abrasive
- porous layer
- sheet
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は光学レンズ、プリズム、半導体部品、セラミッ
ク材料等の精密研磨に使用するに適した研磨材に関する
ものである。
ク材料等の精密研磨に使用するに適した研磨材に関する
ものである。
従来、光学レンズ、ガラス、半導体部品、金属等の研磨
材として不織布に合成ゴムを含浸固化した硬質シート、
合成ゴムの多孔質シート、皮革、金属繊維束等が使用さ
れている。更に、ガラスや半導体部品の研磨材として、
既に実公昭５２−４５９１８号公報に多孔高分子物質よ
りなる表面層をもったシート状物を研磨布として使用し
、その多孔空間に酸化ゲルマニウムなどの砥粒を強アル
カリに懸濁させたものを水と共に供給しながら研磨する
研磨布。特公昭５４−３０１５８号公報、特公昭５４−
４３２３４号公報および特公昭６０−５５２６４号公報
に繊維絡合不織布にポリウレタンエラストマーなどの高
分子物質を微細な連続気泡状に含有せしめたシート状物
に砥粒を含浸させて研磨布とすることを提案した。
材として不織布に合成ゴムを含浸固化した硬質シート、
合成ゴムの多孔質シート、皮革、金属繊維束等が使用さ
れている。更に、ガラスや半導体部品の研磨材として、
既に実公昭５２−４５９１８号公報に多孔高分子物質よ
りなる表面層をもったシート状物を研磨布として使用し
、その多孔空間に酸化ゲルマニウムなどの砥粒を強アル
カリに懸濁させたものを水と共に供給しながら研磨する
研磨布。特公昭５４−３０１５８号公報、特公昭５４−
４３２３４号公報および特公昭６０−５５２６４号公報
に繊維絡合不織布にポリウレタンエラストマーなどの高
分子物質を微細な連続気泡状に含有せしめたシート状物
に砥粒を含浸させて研磨布とすることを提案した。
従来の研磨材は、砥粒と一体成型した比較的硬度の高い
シート状物であったり、多孔質空間に砥粒懸濁液を含浸
して使用するものであった。このような研磨材では粗研
磨には使用でざるが、仕上研磨や精密研磨に使用すると
被研磨物を傷つけたり、研磨精度が得られなかったり、
研磨むらか生じたりして、高い精度を要求する研磨、小
面積の被研磨物の研磨は難かしいものであった。
シート状物であったり、多孔質空間に砥粒懸濁液を含浸
して使用するものであった。このような研磨材では粗研
磨には使用でざるが、仕上研磨や精密研磨に使用すると
被研磨物を傷つけたり、研磨精度が得られなかったり、
研磨むらか生じたりして、高い精度を要求する研磨、小
面積の被研磨物の研磨は難かしいものであった。
本発明は従来の研磨材では難かしい高い精度を要求する
研磨、仕上用研磨に適した研磨材を提供するにある。
研磨、仕上用研磨に適した研磨材を提供するにある。
本発明は基体の一面にポリウレタンエラストマーを主体
とする重合体からなり、シートの厚み方向に蜂の巣状ま
たは縦割れ状の気孔構造を主体に構成された多孔質層が
付与されてなるシート状物であって、該シート状物の多
孔質層気孔の表面または気孔上層部に、ポリウレタン系
接着剤と粒子の太さざ０．０１〜１０μの範囲で選ばれ
た砥粒からなる組成物が厚ざ１．５ｍｍ以下の層として
形成されていることを特徴とする精密研磨用研磨材であ
る。
とする重合体からなり、シートの厚み方向に蜂の巣状ま
たは縦割れ状の気孔構造を主体に構成された多孔質層が
付与されてなるシート状物であって、該シート状物の多
孔質層気孔の表面または気孔上層部に、ポリウレタン系
接着剤と粒子の太さざ０．０１〜１０μの範囲で選ばれ
た砥粒からなる組成物が厚ざ１．５ｍｍ以下の層として
形成されていることを特徴とする精密研磨用研磨材であ
る。
すなわち、本発明は、基体上にポリウレタンエラストマ
ーを主体とする重合体からなり、シートの厚み方向に蜂
の巣状または縦割れ状の気孔構造の多孔質層を介して砥
粒をポリウレタン接着剤で固定した層を設けたことによ
り、被研磨面にがかる押圧が多孔質層のクッション作用
により均等に作用し、研磨面への型沿い性が良く、かつ
研磨砥粒の不均一な脱落、すなわち粒子の小さい砥粒が
早（脱落し、粒子の大きい砥粒が残る、その結果研磨面
に傷を発生させるというようなことも防止できる。更に
、研磨時に研磨助剤、例えば水、アルカリ研磨液、酸研
磨液、あるいは活性剤研磨液、油状物等を付与する場合
、多孔質層がそれらの保留作用をするので長時間の作業
にも円滑に浸出して研磨むらの発生を防止することがで
きる。
ーを主体とする重合体からなり、シートの厚み方向に蜂
の巣状または縦割れ状の気孔構造の多孔質層を介して砥
粒をポリウレタン接着剤で固定した層を設けたことによ
り、被研磨面にがかる押圧が多孔質層のクッション作用
により均等に作用し、研磨面への型沿い性が良く、かつ
研磨砥粒の不均一な脱落、すなわち粒子の小さい砥粒が
早（脱落し、粒子の大きい砥粒が残る、その結果研磨面
に傷を発生させるというようなことも防止できる。更に
、研磨時に研磨助剤、例えば水、アルカリ研磨液、酸研
磨液、あるいは活性剤研磨液、油状物等を付与する場合
、多孔質層がそれらの保留作用をするので長時間の作業
にも円滑に浸出して研磨むらの発生を防止することがで
きる。
本発明の基体と多孔質層からなるシート状物は繊維質基
体、例えば不織布、織布、編布、起毛した織布、起毛し
た編布またはこれらの布帛にポリウレタンエラストマー
または合成ゴムなどの弾性重合体が含有してなる可撓性
柔軟な基体、プラスチックスシートまたは多孔質プラス
チックスシートなどの可撓性基体の一面に、ポリウレタ
ンエラストマーを主体とする重合体の溶液または分散液
、あるいはそれらの溶液または分散液には必要に応じて
気孔形成を支配する凝固調節剤を添加した組成液として
塗布し、・重合体の非溶剤中で処理して多孔質構造に凝
固し、水洗し、乾燥し、多孔質層表面のスキン層をサン
ドペーパーなどで研削して除去し、多孔質層内部の多孔
質気孔を露出して露出気孔を有するシート状物とするも
ので、本発明で使用するに適したシート状物の製造法は
、例えば特公昭４５−３９６３４号公報、特公昭４７−
３０６２４号公報、特公昭５２−４５７６２号公報に開
示した方法で作ることができる。
体、例えば不織布、織布、編布、起毛した織布、起毛し
た編布またはこれらの布帛にポリウレタンエラストマー
または合成ゴムなどの弾性重合体が含有してなる可撓性
柔軟な基体、プラスチックスシートまたは多孔質プラス
チックスシートなどの可撓性基体の一面に、ポリウレタ
ンエラストマーを主体とする重合体の溶液または分散液
、あるいはそれらの溶液または分散液には必要に応じて
気孔形成を支配する凝固調節剤を添加した組成液として
塗布し、・重合体の非溶剤中で処理して多孔質構造に凝
固し、水洗し、乾燥し、多孔質層表面のスキン層をサン
ドペーパーなどで研削して除去し、多孔質層内部の多孔
質気孔を露出して露出気孔を有するシート状物とするも
ので、本発明で使用するに適したシート状物の製造法は
、例えば特公昭４５−３９６３４号公報、特公昭４７−
３０６２４号公報、特公昭５２−４５７６２号公報に開
示した方法で作ることができる。
次に、多孔質層の気孔表面に塗布して形成する砥粒層は
砥粒として二酸化ケイ素、二酸化ジルコニウム、酸化ア
ルミニウム、二酸化セリウムから選ばれた少なくとも１
種類で、その粒子の大ぎざは被研磨物の硬さ、材質、被
研磨物の平滑面の要求度、精度に応じて選択されるが、
一般には０．０１〜１０μの範囲で選ばれる。また、砥
粒を保持するポリウレタン系接着剤は一液型のポリウレ
タン溶液または分散液であっても、二液型のポリウレタ
ン溶液であってもよいが、ポリウレタン系接着剤の硬さ
を任意に選択することができ、砥粒の分散性および多孔
質シート面との接着性などから二液型のポリウレタン系
接着剤が好ましい。そして接着剤中に占める砥粒の量は
接着剤固形分に対して砥粒の配合量か３０〜８５重量％
の範囲で配合する。粗研磨では砥粒の粒子は大ぎいもの
を多量に配合した組成とするが、仕上げ、精密研磨では
砥粒の粒子は小ざいものを少量配合した組成とすること
によって、一層精度よ（研磨仕上げをすることができる
。
砥粒として二酸化ケイ素、二酸化ジルコニウム、酸化ア
ルミニウム、二酸化セリウムから選ばれた少なくとも１
種類で、その粒子の大ぎざは被研磨物の硬さ、材質、被
研磨物の平滑面の要求度、精度に応じて選択されるが、
一般には０．０１〜１０μの範囲で選ばれる。また、砥
粒を保持するポリウレタン系接着剤は一液型のポリウレ
タン溶液または分散液であっても、二液型のポリウレタ
ン溶液であってもよいが、ポリウレタン系接着剤の硬さ
を任意に選択することができ、砥粒の分散性および多孔
質シート面との接着性などから二液型のポリウレタン系
接着剤が好ましい。そして接着剤中に占める砥粒の量は
接着剤固形分に対して砥粒の配合量か３０〜８５重量％
の範囲で配合する。粗研磨では砥粒の粒子は大ぎいもの
を多量に配合した組成とするが、仕上げ、精密研磨では
砥粒の粒子は小ざいものを少量配合した組成とすること
によって、一層精度よ（研磨仕上げをすることができる
。
そして、砥粒を配合したポリウレタン系接着剤は多孔質
層気孔表面に最終厚さ１．５ｒｒｍ以下の層になる量を
塗布する。この砥粒層は好ましくは多孔質層全体に充填
して形成するのではなく、表面部分ないし気孔上層部に
とどめることが、被研磨部への抑圧の均一性を高めるう
えで好ましい。
層気孔表面に最終厚さ１．５ｒｒｍ以下の層になる量を
塗布する。この砥粒層は好ましくは多孔質層全体に充填
して形成するのではなく、表面部分ないし気孔上層部に
とどめることが、被研磨部への抑圧の均一性を高めるう
えで好ましい。
本発明の研磨材断面構造の模式図を第１図および第２図
に示した。第１図は蜂の巣状気孔構造を主体に構成され
た多孔質層２の表面部分に砥粒層３が付与されてなる研
磨材、１は基体である。第２図は縦割れ状の気孔構造を
主体に構成された多孔質層４の表面部分に砥粒層３が付
与されてなる研磨材、１は基体である。
に示した。第１図は蜂の巣状気孔構造を主体に構成され
た多孔質層２の表面部分に砥粒層３が付与されてなる研
磨材、１は基体である。第２図は縦割れ状の気孔構造を
主体に構成された多孔質層４の表面部分に砥粒層３が付
与されてなる研磨材、１は基体である。
本発明の研磨材は光学レンズ、ガラス、金属、半導体部
品、セラミック材料等の精密研磨あるいは仕上げ研磨に
使用するに適したものである。
品、セラミック材料等の精密研磨あるいは仕上げ研磨に
使用するに適したものである。
以下に本発明の実施態様を実施例で具体的に説明する。
なお、実施例中部および％はことわりのない限り重量に
関するものである。
関するものである。
実施例１
ナイロン繊維の絡合不織布にポリウレタンを含有した基
体の一面に、ポリオキシテトラメチレン系ポリウレタン
溶液の層を湿式凝固法で凝固して、縦長気孔でなる蜂の
巣状の気孔構造の多孔質層を有するシート状物を得、多
孔質表面のスキン層をサンドペーパーでパフィングして
内部気泡を露出せしめ、蜂の巣状表面外観を有する多孔
質層のシート状物ＣＩ）を得た。次いで、ポリオキシプ
ロピレンポリオールとポリイソシアネートと架橋促進剤
からなる二液型ポリウレタン接着剤の酢酸エチル溶液に
固形分１００部に対し、平均粒度ｏ、０２μの二酸化ケ
イ素砥粒粉末４０部を添加して十分に混練した後、上記
シート状物ＣＩ）の多孔質表面にロールフート法で塗膜
厚さ約ｏ、ｓｍｍになる量を塗布し、乾燥し、キュアー
して多孔質層の気孔の表層部に約０．１ｍ浸入した厚さ
約０．２７ｍｍの砥粒層を形成した第１図の模式図に類
似の研磨材を得た。
体の一面に、ポリオキシテトラメチレン系ポリウレタン
溶液の層を湿式凝固法で凝固して、縦長気孔でなる蜂の
巣状の気孔構造の多孔質層を有するシート状物を得、多
孔質表面のスキン層をサンドペーパーでパフィングして
内部気泡を露出せしめ、蜂の巣状表面外観を有する多孔
質層のシート状物ＣＩ）を得た。次いで、ポリオキシプ
ロピレンポリオールとポリイソシアネートと架橋促進剤
からなる二液型ポリウレタン接着剤の酢酸エチル溶液に
固形分１００部に対し、平均粒度ｏ、０２μの二酸化ケ
イ素砥粒粉末４０部を添加して十分に混練した後、上記
シート状物ＣＩ）の多孔質表面にロールフート法で塗膜
厚さ約ｏ、ｓｍｍになる量を塗布し、乾燥し、キュアー
して多孔質層の気孔の表層部に約０．１ｍ浸入した厚さ
約０．２７ｍｍの砥粒層を形成した第１図の模式図に類
似の研磨材を得た。
この研磨材をディスクに張り付けて回転数７００ｒｐｍ
、研磨圧力Ｕ 、 ３ ｈｖ’ａｌで注水しながらシ
リコンウェファ−の仕上研磨を行った。仕上げ後の研磨
面を顕微鏡観察した結果マイクロスクラッチのない極め
て精度の高い良質なウェファ−が得られた。
、研磨圧力Ｕ 、 ３ ｈｖ’ａｌで注水しながらシ
リコンウェファ−の仕上研磨を行った。仕上げ後の研磨
面を顕微鏡観察した結果マイクロスクラッチのない極め
て精度の高い良質なウェファ−が得られた。
しかも研磨布の寿命は従来の研磨用粒子を強アルカリに
懸濁させたものに比較して２〜２．５倍も長くなった。
懸濁させたものに比較して２〜２．５倍も長くなった。
実施例２
実施例１で得たシート状物ＣＩ）の表面に、ポリオキシ
プロピレンポリオールとポリイソシアネートと架橋促進
剤からなる二液型ポリウレタン接着剤の酢酸エチル溶液
に、固形分１００部に対し、平均粒ｉｏ、ｓμの酸化ア
ルミニウム砥粒粉末８０部を添加して十分に混練した後
、ロールコート法で塗膜厚さ約０．５順になる量を塗布
し、乾燥し、キュアーして多孔質層の気孔の表層部に約
０．０８頭浸入した厚さ約０．２９ｍｍの砥粒層を形成
した研磨材を得た。
プロピレンポリオールとポリイソシアネートと架橋促進
剤からなる二液型ポリウレタン接着剤の酢酸エチル溶液
に、固形分１００部に対し、平均粒ｉｏ、ｓμの酸化ア
ルミニウム砥粒粉末８０部を添加して十分に混練した後
、ロールコート法で塗膜厚さ約０．５順になる量を塗布
し、乾燥し、キュアーして多孔質層の気孔の表層部に約
０．０８頭浸入した厚さ約０．２９ｍｍの砥粒層を形成
した研磨材を得た。
この研磨材を研磨テーブルに張り付けて、回転＠ ４
ｕ Ｏｒｐｍ、研磨圧力ｏ 、 ３ｋｙ／ａＡで注水し
ながらメガネレンズの仕上研磨を行った。仕上げ後の研
磨面、クラッチ、クラック、うねり、くもり等のない極
めて精度の高い良質なレンズが得られた。
ｕ Ｏｒｐｍ、研磨圧力ｏ 、 ３ｋｙ／ａＡで注水し
ながらメガネレンズの仕上研磨を行った。仕上げ後の研
磨面、クラッチ、クラック、うねり、くもり等のない極
めて精度の高い良質なレンズが得られた。
比較のために、シート状物ＣＩ）の表面に塗布する砥粒
を含むポリウレタン接着剤組成液を溶剤量を多くして組
成液粘度を低下させ、十分に多孔質層の気孔内部に浸入
させ、乾燥後、再度組成液を塗布し、乾燥し、キュアー
して多孔質層の気孔を砥粒組成物で充填固化した研磨材
とした。
を含むポリウレタン接着剤組成液を溶剤量を多くして組
成液粘度を低下させ、十分に多孔質層の気孔内部に浸入
させ、乾燥後、再度組成液を塗布し、乾燥し、キュアー
して多孔質層の気孔を砥粒組成物で充填固化した研磨材
とした。
この研磨材を研磨テーブルに張り付けて、と記と同じ条
件でメガネレンズの仕上研磨を行った結果、研磨面には
傷が発生し、仕上げ用には使用できなかった。
件でメガネレンズの仕上研磨を行った結果、研磨面には
傷が発生し、仕上げ用には使用できなかった。
本発明の研磨材は被研磨部への押圧の均一性が高く、研
磨面の研磨精度を高めることができるばかりではなく、
砥粒が弾性接着剤により接着されているため、研磨途中
での砥粒分布のかたよりが生じない。更に、砥粒と弾性
接着剤の比率、弾性接着剤の硬さを調節することができ
るため、被研磨物の硬さが硬いものから軟らかいものま
で広範囲の研磨に使用でさると共に、研磨面の精度の高
いものが得られる。
磨面の研磨精度を高めることができるばかりではなく、
砥粒が弾性接着剤により接着されているため、研磨途中
での砥粒分布のかたよりが生じない。更に、砥粒と弾性
接着剤の比率、弾性接着剤の硬さを調節することができ
るため、被研磨物の硬さが硬いものから軟らかいものま
で広範囲の研磨に使用でさると共に、研磨面の精度の高
いものが得られる。
第１図および第２図は本発明の研磨材断面構造の模式図
であり、第１図は蜂の巣状気孔構造を主体に構成された
多孔質層の表面部分に砥粒層が付与されてなる研磨材、
第２図は縦割れ状の気孔構造を主体に構成された多孔質
層の表面部分に砥粒層が付与されてなる研磨材である。
であり、第１図は蜂の巣状気孔構造を主体に構成された
多孔質層の表面部分に砥粒層が付与されてなる研磨材、
第２図は縦割れ状の気孔構造を主体に構成された多孔質
層の表面部分に砥粒層が付与されてなる研磨材である。
Claims (3)
- （１）基体の一面にポリウレタンエラストマーを主体と
する重合体からなり、シートの厚み方向に蜂の巣状また
は縦割れ状の気孔構造を主体に構成された多孔質層が付
与されてなるシート状物であって、該シート状物の多孔
質層気孔の表面または気孔上層部に、ポリウレタン系接
着剤と粒子の大きさ０．０１〜１０μの範囲で選ばれた
砥粒からなる組成物が厚さ１．５ｍｍ以下の層として形
成されていることを特徴とする精密研磨用研磨材。 - （２）砥粒の配合量が３０〜８５重量％である特許請求
の範囲第１項記載の精密研磨用研磨材。 - （３）砥粒が二酸化ケイ素、二酸化ジルコニウム、酸化
アルミニウム、二酸化セリウムから選ばれた少なくとも
１種類である特許請求の範囲第１項または第２項記載の
精密研磨用研磨材。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP286487A JPH0722899B2 (ja) | 1987-01-08 | 1987-01-08 | 精密研磨用研磨材 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP286487A JPH0722899B2 (ja) | 1987-01-08 | 1987-01-08 | 精密研磨用研磨材 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63174878A true JPS63174878A (ja) | 1988-07-19 |
| JPH0722899B2 JPH0722899B2 (ja) | 1995-03-15 |
Family
ID=11541234
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP286487A Expired - Lifetime JPH0722899B2 (ja) | 1987-01-08 | 1987-01-08 | 精密研磨用研磨材 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0722899B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06114748A (ja) * | 1992-10-01 | 1994-04-26 | Riken Korandamu Kk | 研磨布 |
| EP1177861A3 (de) * | 2000-08-01 | 2002-10-23 | Peter Jöst | Schleifband für eine Bandschleifmaschine |
| US6575821B2 (en) | 2000-08-01 | 2003-06-10 | Joest Peter | Abrasive belt for a belt grinding machine |
| KR100538196B1 (ko) * | 2001-10-09 | 2005-12-22 | 니혼 미크로 코팅 가부시끼 가이샤 | 클리닝 시트 |
-
1987
- 1987-01-08 JP JP286487A patent/JPH0722899B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06114748A (ja) * | 1992-10-01 | 1994-04-26 | Riken Korandamu Kk | 研磨布 |
| EP1177861A3 (de) * | 2000-08-01 | 2002-10-23 | Peter Jöst | Schleifband für eine Bandschleifmaschine |
| US6575821B2 (en) | 2000-08-01 | 2003-06-10 | Joest Peter | Abrasive belt for a belt grinding machine |
| KR100538196B1 (ko) * | 2001-10-09 | 2005-12-22 | 니혼 미크로 코팅 가부시끼 가이샤 | 클리닝 시트 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0722899B2 (ja) | 1995-03-15 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |