JPS63178549A - 極薄基板 - Google Patents
極薄基板Info
- Publication number
- JPS63178549A JPS63178549A JP62008914A JP891487A JPS63178549A JP S63178549 A JPS63178549 A JP S63178549A JP 62008914 A JP62008914 A JP 62008914A JP 891487 A JP891487 A JP 891487A JP S63178549 A JPS63178549 A JP S63178549A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- thin substrate
- substrate
- yttrium oxide
- thin
- extremely thin
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- Granted
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- Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は極薄基板に関し、さらには酸化イツトリウムを
含有するジルコニアからなり、高弾力性を有する極薄基
板に関する。
含有するジルコニアからなり、高弾力性を有する極薄基
板に関する。
［従来の技術］
近年、回路の設計、形成上あるいはシステムの構成上、
厚膜または１膜用基板としては、１５０μｍ程度以下の
極薄基板が望まれることが少なくない。
厚膜または１膜用基板としては、１５０μｍ程度以下の
極薄基板が望まれることが少なくない。
従来よりＩＣ基板材料として汎用されているアルミナ基
板をドクターブレード法で製造した例は多くみられるが
、アルミナ基板は脆く、靭性に乏しいため、極薄化する
と割れ易くなり、印刷、スパッタリング等による回路形
成が難しかった。
板をドクターブレード法で製造した例は多くみられるが
、アルミナ基板は脆く、靭性に乏しいため、極薄化する
と割れ易くなり、印刷、スパッタリング等による回路形
成が難しかった。
特に、このような極薄基板には弾力性が要求されてきて
いるが、従来より用いられているこれらアルミナ基板は
、弾力性を有するものではない。
いるが、従来より用いられているこれらアルミナ基板は
、弾力性を有するものではない。
また、基板としてジルコニア基板を用いることも提案さ
れているが（特開昭５８−６２００３号公報）、この方
法は、ＣＶＤ法により５０μｍ以上のジルコニア薄板を
製造するものであり、用途としてＬＳＩ基板を考慮して
いるが、低廉、簡単でしかも大型のものは製造すること
ができない。
れているが（特開昭５８−６２００３号公報）、この方
法は、ＣＶＤ法により５０μｍ以上のジルコニア薄板を
製造するものであり、用途としてＬＳＩ基板を考慮して
いるが、低廉、簡単でしかも大型のものは製造すること
ができない。
さらに、ドクターブレード法によりジルコニア薄板を製
造することも提案されているが（特開昭６０−４２２７
５号公報）、この薄板の用途は、カミソリ、カッター等
の薄刃（ブレード）であり、基板材料としての用途を示
唆するものではない。しかも、薄板化した場合の良好な
弾力性については何ら開示されていない。
造することも提案されているが（特開昭６０−４２２７
５号公報）、この薄板の用途は、カミソリ、カッター等
の薄刃（ブレード）であり、基板材料としての用途を示
唆するものではない。しかも、薄板化した場合の良好な
弾力性については何ら開示されていない。
［発明が解決しようとする問題点］
本発明はかかる従来技術に鑑み、弾力性に優れ、しかも
高い破壊強度を有する極薄基板を提供することを目的と
す°る。
高い破壊強度を有する極薄基板を提供することを目的と
す°る。
本発明のこの目的は、ドクターブレード法により得られ
る、酸化イツトリウムを含有するジルコニアからなる極
薄基板により達成される。
る、酸化イツトリウムを含有するジルコニアからなる極
薄基板により達成される。
［問題点を解決するための手段］
すなわち本発明は、酸化イツトリウムを２．０〜６．０
モル％含有するジルコニアからなる極薄基板である。
モル％含有するジルコニアからなる極薄基板である。
本発明のＦｉ薄基板には、酸化イツトリウム（Ｙ２０３
＞を２．０〜６．０モル％を含有することが必要であ
り、上記範囲を外れると弾力性に劣る。
＞を２．０〜６．０モル％を含有することが必要であ
り、上記範囲を外れると弾力性に劣る。
また、極薄基板の厚みは、１５０μｍ以下であることが
望ましく、厚みが１５０μｍを越えた場合には、基板と
しての所望の弾力性が得られない。
望ましく、厚みが１５０μｍを越えた場合には、基板と
しての所望の弾力性が得られない。
このような特定範囲の酸化イツトリウムを含有するジル
コニアからなる極薄基板の製造方法としては、ドクター
ブレード法が用いられる。この方法として、例えば平均
粒径１．０μｍ以下、好ましくは０．５μｍ以下の安定
化剤としての酸化イツトリウムが均一に分散した平均結
晶粒径１．２μｍ以下のジルコニア粉末を用い、ドクタ
ーブレード法で焼結後の成形体の厚さが１５０μｍ以下
になるように成形し、次いで必要に応じ乾燥した後、１
３００〜１６００℃で焼結し、基板とする。このような
ドクターブレード法の製造にあっては、ジルコニウムの
平均結晶粒径を調整したり、安定化剤としての酸化イツ
トリウムに加えて、ポリビニルブチラール等の結合剤、
トリオレイン等の解膠剤、可塑剤、メチルエチルケトン
等の有機溶剤を適宜選択し、適量配合することによって
、細かい欠陥や肉厚の不均一がなく、しかも高弾力性を
有する極薄基板が得られる。なお、前述した特開昭５８
−６２００３号公報に開示のＣＶＤ法においては、本発
明の酸化イツトリウムを含有するジルコニアからなる極
薄基板の製造は不可能である。
コニアからなる極薄基板の製造方法としては、ドクター
ブレード法が用いられる。この方法として、例えば平均
粒径１．０μｍ以下、好ましくは０．５μｍ以下の安定
化剤としての酸化イツトリウムが均一に分散した平均結
晶粒径１．２μｍ以下のジルコニア粉末を用い、ドクタ
ーブレード法で焼結後の成形体の厚さが１５０μｍ以下
になるように成形し、次いで必要に応じ乾燥した後、１
３００〜１６００℃で焼結し、基板とする。このような
ドクターブレード法の製造にあっては、ジルコニウムの
平均結晶粒径を調整したり、安定化剤としての酸化イツ
トリウムに加えて、ポリビニルブチラール等の結合剤、
トリオレイン等の解膠剤、可塑剤、メチルエチルケトン
等の有機溶剤を適宜選択し、適量配合することによって
、細かい欠陥や肉厚の不均一がなく、しかも高弾力性を
有する極薄基板が得られる。なお、前述した特開昭５８
−６２００３号公報に開示のＣＶＤ法においては、本発
明の酸化イツトリウムを含有するジルコニアからなる極
薄基板の製造は不可能である。
［実施例１
以下、実施例および比較例に基づき本発明を具体的に説
明する。
明する。
実施例１〜４
酸化イツトリウムを３．０モル％含有するジルコニアグ
リーンシートを鋳込み成形により ４種作成した。この
グリーンシートの厚みは、１５０μｍ以下であった。
リーンシートを鋳込み成形により ４種作成した。この
グリーンシートの厚みは、１５０μｍ以下であった。
このグリーンシートを約１６００℃、１時間以上、大気
中で加熱、焼成し、極薄基板を得た。このようにして得
られた基板の長さは２００Ｍ、幅は１０Ｍ。
中で加熱、焼成し、極薄基板を得た。このようにして得
られた基板の長さは２００Ｍ、幅は１０Ｍ。
厚さは、それぞれ４０μｍ１５０μｍ、１００μｍ１１
３０μｍであった。
３０μｍであった。
この極薄基板を第１図に示す方法により曲げ、折れる時
の限界曲げ巾（Ｈ：ａｗ）を測定した結果を第１表に示
した。
の限界曲げ巾（Ｈ：ａｗ）を測定した結果を第１表に示
した。
第 １ 表
工１」」−
蒸着法によって、ジルコニアからなる長さ２００鯛、巾
１０ＩＩＩＩＲ１厚さ５０μｍの極薄基板を作成した。
１０ＩＩＩＩＲ１厚さ５０μｍの極薄基板を作成した。
この極薄基板に関し、実施例１と同様に限界曲げ巾（Ｈ
）を調べたところ約５００Ｍであった。
）を調べたところ約５００Ｍであった。
衷１」ＬにＪ−
酸化イツトリウムの含有層を２．０モル％、６．０モル
％とした以外は実施例２と同様にして、長さ２００ｍ、
巾１０ｍ、厚さ５０μｍの極薄基板を作成した。
％とした以外は実施例２と同様にして、長さ２００ｍ、
巾１０ｍ、厚さ５０μｍの極薄基板を作成した。
この極薄基板に関し、実施例１と同様に限界曲げ巾（Ｈ
）を測定したところ、第２表に示すごとくであった。な
お、参考のために、実施例２の値も併せて第２表に示し
た。
）を測定したところ、第２表に示すごとくであった。な
お、参考のために、実施例２の値も併せて第２表に示し
た。
第 ２ 表
［発明の効果］
以上のように、酸化イツトリウムを特定量含有するジル
コニア基板からなる本発明の極薄基板は、以下に示すよ
うな効果を秦する。
コニア基板からなる本発明の極薄基板は、以下に示すよ
うな効果を秦する。
１、本発明の極薄基板は、ＩＣ基板として必要な特性を
備え、特に機械的性質においては、他のセラミックス基
板より優れるため、１５０μｍ以下の極薄基板としての
用途は大いに期待できる。
備え、特に機械的性質においては、他のセラミックス基
板より優れるため、１５０μｍ以下の極薄基板としての
用途は大いに期待できる。
２、アルミナ基板は１５０μｍ以下に極薄化すると割れ
易くなり、回路を形成するために印刷やスパッタする際
、ホルダーへの固定やスキージによる加圧等の負荷応力
で割れることがしばしばあるが、本発明の極薄基板は、
この状態でも弾力性があって割れにくく、取扱いが容易
であることから、一般に使用されているアルミナ基板と
代替することによって歩留りの向上が期待できる。
易くなり、回路を形成するために印刷やスパッタする際
、ホルダーへの固定やスキージによる加圧等の負荷応力
で割れることがしばしばあるが、本発明の極薄基板は、
この状態でも弾力性があって割れにくく、取扱いが容易
であることから、一般に使用されているアルミナ基板と
代替することによって歩留りの向上が期待できる。
３、極薄基板の製造はドクターブレード法によるため、
他の方法にくらべ大量生産に好都合で、コスト的メリッ
トが大きい。
他の方法にくらべ大量生産に好都合で、コスト的メリッ
トが大きい。
従って、本発明の極薄基板は、厚膜または薄膜用基板と
して広範な用途を有するものである。
して広範な用途を有するものである。
第１図は、実施例および比較例にお（プる限界曲げ巾（
［」）を測定した状態を示す図。
［」）を測定した状態を示す図。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、酸化イットリウムを２．０〜６．０モル％含有する
ジルコニアからなる極薄基板。 ２、厚みが１５０μｍ以下である特許請求の範囲第１項
記載の極薄基板。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62008914A JPS63178549A (ja) | 1987-01-20 | 1987-01-20 | 極薄基板 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62008914A JPS63178549A (ja) | 1987-01-20 | 1987-01-20 | 極薄基板 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63178549A true JPS63178549A (ja) | 1988-07-22 |
| JPH0468779B2 JPH0468779B2 (ja) | 1992-11-04 |
Family
ID=11705924
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62008914A Granted JPS63178549A (ja) | 1987-01-20 | 1987-01-20 | 極薄基板 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63178549A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5102483A (en) * | 1989-02-27 | 1992-04-07 | Jgc Corporation | Method for production of elongated ceramic sheets |
| US6001761A (en) * | 1994-09-27 | 1999-12-14 | Nippon Shokubai Co., Ltd. | Ceramics sheet and production method for same |
-
1987
- 1987-01-20 JP JP62008914A patent/JPS63178549A/ja active Granted
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5102483A (en) * | 1989-02-27 | 1992-04-07 | Jgc Corporation | Method for production of elongated ceramic sheets |
| US6001761A (en) * | 1994-09-27 | 1999-12-14 | Nippon Shokubai Co., Ltd. | Ceramics sheet and production method for same |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0468779B2 (ja) | 1992-11-04 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
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