JPS63180190U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS63180190U JPS63180190U JP1987068067U JP6806787U JPS63180190U JP S63180190 U JPS63180190 U JP S63180190U JP 1987068067 U JP1987068067 U JP 1987068067U JP 6806787 U JP6806787 U JP 6806787U JP S63180190 U JPS63180190 U JP S63180190U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- laser
- calculating
- coordinates
- processing device
- focal position
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Description
第１図はこの発明を実施する装置の概要を示す
概略図、第２図はこの発明の手順を説明するため
の斜視図である。 図中、２……ＸＹテーブル、６……Ｚ方向駆動
装置（調整手段）、１０……ＣＰＵ（第１の演算
手段、第２の演算手段、制御手段）、Ａ……素材
。
概略図、第２図はこの発明の手順を説明するため
の斜視図である。 図中、２……ＸＹテーブル、６……Ｚ方向駆動
装置（調整手段）、１０……ＣＰＵ（第１の演算
手段、第２の演算手段、制御手段）、Ａ……素材
。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 レーザービームを用いて素材表面を微細加工す
るレーザー加工装置に於いて、 上記素材を載置するＸＹテーブルと、 レーザーの焦点位置を調整できる調整手段と、 ３次元的に計測された被加工域を含む素材面上
の３点の座標をを用いて平面方程式 Ｚ＝ａＸ＋ｂＹ＋ｃ の係数を得るための第１の演算手段と、 加工走査において、該係数とＸＹステージの現
在座標とから、上記式に基づいて焦点位置を演算
する第２の演算手段と、 上記第２の演算手段に基づいて上記調整手段を
作動させる制御手段と よりなるレーザー加工装置に於ける焦点位置調整
機構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987068067U JPS63180190U (ja) | 1987-05-07 | 1987-05-07 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987068067U JPS63180190U (ja) | 1987-05-07 | 1987-05-07 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63180190U true JPS63180190U (ja) | 1988-11-21 |
Family
ID=30907545
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1987068067U Pending JPS63180190U (ja) | 1987-05-07 | 1987-05-07 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63180190U (ja) |
-
1987
- 1987-05-07 JP JP1987068067U patent/JPS63180190U/ja active Pending
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