JPS63180810A - 高さ検出方式 - Google Patents
高さ検出方式Info
- Publication number
- JPS63180810A JPS63180810A JP1335587A JP1335587A JPS63180810A JP S63180810 A JPS63180810 A JP S63180810A JP 1335587 A JP1335587 A JP 1335587A JP 1335587 A JP1335587 A JP 1335587A JP S63180810 A JPS63180810 A JP S63180810A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- image
- lens
- position detection
- mirror
- detection sensor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000001514 detection method Methods 0.000 title claims abstract description 21
- 239000002131 composite material Substances 0.000 claims description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 abstract description 6
- 238000012545 processing Methods 0.000 abstract description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 3
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 abstract 1
- 238000003786 synthesis reaction Methods 0.000 abstract 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- 230000001151 other effect Effects 0.000 description 1
- 238000012805 post-processing Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Measurement Of Optical Distance (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（技術分野）
本発明は物体表面の高さを非接触で検出する高さ検出方
式に関する。
式に関する。
（背景技術）
従来、物体表面の高さを光による三角測量（以下、「光
切断」と記述する。）によって検出する場合は、第３図
に示すように、真上からレーザ光源２のレーザ光の如き
光を物体１の表面に照射し、その反射光をレンズ３で位
置検出センサ４上に結像させ、その結像位置により高さ
を検出するようにしていた。しかしながら、この方法は
、検出点以外に物体１′が存在する場合、反射光がその
物体１′によりさえぎられ、レンズ３で像を結像できな
い場合があり、死角が生じるという欠点があった。
切断」と記述する。）によって検出する場合は、第３図
に示すように、真上からレーザ光源２のレーザ光の如き
光を物体１の表面に照射し、その反射光をレンズ３で位
置検出センサ４上に結像させ、その結像位置により高さ
を検出するようにしていた。しかしながら、この方法は
、検出点以外に物体１′が存在する場合、反射光がその
物体１′によりさえぎられ、レンズ３で像を結像できな
い場合があり、死角が生じるという欠点があった。
この欠点をなくすために、第４図に示すように、２方向
から同一点の高さを検出する方式があるが、この場合、
レンズ３Ａ、 ３Ｂ、位置検出センサ４Ａ、 ４Ｂ等の
位置、角度等を２つとも精度良く一致させる必要があり
、構成方法が複雑となる欠点があった。また、２つの位
置検出センサ４Ａ、 ４Ｂからの信号処理についても、
タイミングや処理等が複雑になるという欠点があった。
から同一点の高さを検出する方式があるが、この場合、
レンズ３Ａ、 ３Ｂ、位置検出センサ４Ａ、 ４Ｂ等の
位置、角度等を２つとも精度良く一致させる必要があり
、構成方法が複雑となる欠点があった。また、２つの位
置検出センサ４Ａ、 ４Ｂからの信号処理についても、
タイミングや処理等が複雑になるという欠点があった。
（発明の目的）
本発明は上記の点に鑑み提案されたものであり、その目
的とするところは、１つの位置検出センサを用いるもの
であるにもかかわらず物体の死角を少なくすることがで
き、構成が簡単で信号処理が容易な高さ検出方式を提供
することにある。
的とするところは、１つの位置検出センサを用いるもの
であるにもかかわらず物体の死角を少なくすることがで
き、構成が簡単で信号処理が容易な高さ検出方式を提供
することにある。
（発明の開示）
以下、実施例を示す図面に沿って本発明を詳述する。
物体表面を光切断により検出する場合、第１図（イ）に
示すようにスポット光を走査あるいはライン光を照射し
、ある特定の角度θで結像させれば光切断像が得られる
。走査ラインｌに対し方向Ａから見た像ＡＣを（ロ）に
示す。また、方向Ｂから見た像ＢＧを（ハ）に示す。こ
の２つの図かられかるように物体１の光切断線は直線５
ｌ−Ｓ２に対し対称になっている。ただし、光切断線以
外の像は対称にはなり得ない。ここで、像ＢＧを直線５
ｌ−３２を軸に反転させると光切断線のみが像λＧと同
一の像ＲＢＧが（ニ）の如くできる。像ＲＢＧと像ＡＧ
とを直線５ｌ−Ｓ２が重なるように合成すると（ホ）に
示すように光切断線のみ同一軌跡の像が生成される。こ
の像の光切断線のみを分離すれば、Ａ方向、Ｂ方向の両
方、あるいはどちらが一方の光切断像を得ることが可能
であり、この像をレンズを通して位置検出センサに結像
させれば、第４図に示す構成と同じ結果を得ることがで
きる。
示すようにスポット光を走査あるいはライン光を照射し
、ある特定の角度θで結像させれば光切断像が得られる
。走査ラインｌに対し方向Ａから見た像ＡＣを（ロ）に
示す。また、方向Ｂから見た像ＢＧを（ハ）に示す。こ
の２つの図かられかるように物体１の光切断線は直線５
ｌ−Ｓ２に対し対称になっている。ただし、光切断線以
外の像は対称にはなり得ない。ここで、像ＢＧを直線５
ｌ−３２を軸に反転させると光切断線のみが像λＧと同
一の像ＲＢＧが（ニ）の如くできる。像ＲＢＧと像ＡＧ
とを直線５ｌ−Ｓ２が重なるように合成すると（ホ）に
示すように光切断線のみ同一軌跡の像が生成される。こ
の像の光切断線のみを分離すれば、Ａ方向、Ｂ方向の両
方、あるいはどちらが一方の光切断像を得ることが可能
であり、この像をレンズを通して位置検出センサに結像
させれば、第４図に示す構成と同じ結果を得ることがで
きる。
これを光学的に実現させた一例を第２図に示す。図にお
いて、２はレーザ光源、３はレンズ、４は位置検出セン
サであり、ミラー５，６が走査ライン光平面に平行に設
置され、レーザスポット光照射点０からの光路長が同一
になるような位置にハーフミラ−７が設置されている。
いて、２はレーザ光源、３はレンズ、４は位置検出セン
サであり、ミラー５，６が走査ライン光平面に平行に設
置され、レーザスポット光照射点０からの光路長が同一
になるような位置にハーフミラ−７が設置されている。
しかして、ミラー６により反転した像と、ミラー５によ
り反転し更にハーフミラ−７により元に戻した像との光
学的な合成が行われ、この合成光をレンズ３を通して位
置検出センサ４に結像させることにより、物体１の表面
の高さが検出される。
り反転し更にハーフミラ−７により元に戻した像との光
学的な合成が行われ、この合成光をレンズ３を通して位
置検出センサ４に結像させることにより、物体１の表面
の高さが検出される。
（発明の効果）
以上のように本発明にあっては、光を用いた三角測量に
おいて、物体表面に投光したレーザスポットの像をレー
ザスポットに対し一定角度で相対して見た像のうち、片
方を反転させ、も゛う一方の像と光学的に合成し、その
合成像をレンズを通し１つの位置検出センサに結像させ
ることにより、測定点以外の物体による三角測量の死角
をなくすようにしたので、 （イ）光学的に像を合成するため、１つの位置検出セン
サで物体の死角をなくした三角測量が行える。
おいて、物体表面に投光したレーザスポットの像をレー
ザスポットに対し一定角度で相対して見た像のうち、片
方を反転させ、も゛う一方の像と光学的に合成し、その
合成像をレンズを通し１つの位置検出センサに結像させ
ることにより、測定点以外の物体による三角測量の死角
をなくすようにしたので、 （イ）光学的に像を合成するため、１つの位置検出セン
サで物体の死角をなくした三角測量が行える。
（ロ）簡単な構成で精度の向上が図れ、メンテナンスも
容易となる。
容易となる。
（ハ）信号処理が容易なため、シンプルな後処理回路に
することができる。
することができる。
等の効果がある。
第１図（イ）は本発明の高さ検出方式におけるスキャン
光の説明図、（ロ）は（イ）における方向Ａから見た光
切断像、（ハ）は（イ）における方向Ｂから見た光切断
像、（ニ）は（ハ）の反転画像、（ホ）は（ロ）と（ニ
）の合成画像、第２図は本発明−４＝ を具体化した光学系の構成例、第３図および第４図は従
来の高さ検出方式の説明図である。 １・・・・・・物体、２・・・・・・レーザ光源、３・
・・・・・レンズ、４・・・・・・位置検出センサ、５
，６・・・・・・ミラー、７・・・・・・ハーフミラー
光の説明図、（ロ）は（イ）における方向Ａから見た光
切断像、（ハ）は（イ）における方向Ｂから見た光切断
像、（ニ）は（ハ）の反転画像、（ホ）は（ロ）と（ニ
）の合成画像、第２図は本発明−４＝ を具体化した光学系の構成例、第３図および第４図は従
来の高さ検出方式の説明図である。 １・・・・・・物体、２・・・・・・レーザ光源、３・
・・・・・レンズ、４・・・・・・位置検出センサ、５
，６・・・・・・ミラー、７・・・・・・ハーフミラー
Claims (1)
- 光を用いた三角測量において、物体表面に投光したレー
ザスポットの像をレーザスポットに対し一定角度で相対
して見た像のうち、片方を反転させ、もう一方の像と光
学的に合成し、その合成像をレンズを通し１つの位置検
出センサに結像させることにより、測定点以外の物体に
よる三角測量の死角をなくすことを特徴とした高さ検出
方式。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1335587A JPS63180810A (ja) | 1987-01-22 | 1987-01-22 | 高さ検出方式 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1335587A JPS63180810A (ja) | 1987-01-22 | 1987-01-22 | 高さ検出方式 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63180810A true JPS63180810A (ja) | 1988-07-25 |
Family
ID=11830791
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1335587A Pending JPS63180810A (ja) | 1987-01-22 | 1987-01-22 | 高さ検出方式 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63180810A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02186213A (ja) * | 1989-01-12 | 1990-07-20 | Matsushita Electric Works Ltd | 形状検出装置 |
| JPH0413917A (ja) * | 1990-05-08 | 1992-01-17 | Hamamatsu Photonics Kk | 距離検出器 |
| JP2014035241A (ja) * | 2012-08-08 | 2014-02-24 | Ikegami Tsushinki Co Ltd | ３次元形状計測装置 |
| JP2015132577A (ja) * | 2014-01-15 | 2015-07-23 | 池上通信機株式会社 | 画像ピックアップ構造、該構造を適用した画像ピックアップヘッドおよび３次元形状計測装置 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6036908A (ja) * | 1983-06-22 | 1985-02-26 | エヌ・ヴイ−・オプテイ−シエ インダストリ−“ドウ アウド デイルフト” | 三角測量原理に基づく測定法を用いる、物体表面上の点と基準レベルとの間の距離を非接触的に測定するための測量方法 |
-
1987
- 1987-01-22 JP JP1335587A patent/JPS63180810A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6036908A (ja) * | 1983-06-22 | 1985-02-26 | エヌ・ヴイ−・オプテイ−シエ インダストリ−“ドウ アウド デイルフト” | 三角測量原理に基づく測定法を用いる、物体表面上の点と基準レベルとの間の距離を非接触的に測定するための測量方法 |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02186213A (ja) * | 1989-01-12 | 1990-07-20 | Matsushita Electric Works Ltd | 形状検出装置 |
| JPH0413917A (ja) * | 1990-05-08 | 1992-01-17 | Hamamatsu Photonics Kk | 距離検出器 |
| JP2014035241A (ja) * | 2012-08-08 | 2014-02-24 | Ikegami Tsushinki Co Ltd | ３次元形状計測装置 |
| JP2015132577A (ja) * | 2014-01-15 | 2015-07-23 | 池上通信機株式会社 | 画像ピックアップ構造、該構造を適用した画像ピックアップヘッドおよび３次元形状計測装置 |
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